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    • 9. 发明专利
    • Nichtflüchtige Speicher mit Ketten von gestapelten resistiven Speicherzellen eines NAND-Typs und Verfahren zum Fertigen derselben
    • DE102008034003B4
    • 2022-02-10
    • DE102008034003
    • 2008-07-21
    • SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
    • KOH GWAN-HYEOBHA DAE-WON
    • G11C13/02G11C11/00G11C16/02H01L27/10
    • Nichtflüchtiger Speicher mit:einem Substrat (1);einer Isolierschicht (11, 15, 33, 45, 57; 11, 15, 111, 123, 135) an dem Substrat (1);einer Mehrzahl von in Reihe geschalteten resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3), die in der Isolierschicht (11, 15, 33, 45, 57; 11, 15, 111, 123, 135) gestapelt sind, derart, dass sich eine erste (CL1) der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) auf dem Substrat (1) befindet und sich eine nächste (CL2) der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) auf der ersten (CL1) der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) befindet, um eine Kette (STR1, STR2) von resistiven Speicherzellen eines NAND-Typs zu definieren; undeiner Bitleitung (61, 139), die sich an der Isolierschicht (11, 15, 33, 45, 57; 11, 15, 111, 123, 135) befindet und mit einer letzten (CL3) der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) elektrisch verbunden ist,wobei mindestens eine der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) folgende Merkmale aufweist:eine Schaltvorrichtung (SW1, SW2, SW3), die eine Körperstruktur (17b, 35b, 47b) mit einer Source-Region (17s, 35s, 47s), einer Kanalregion (17c, 35c, 47c) und einer Drain-Region (17d, 35d, 47d), die in der Isolierschicht (11, 15, 33, 45, 57; 11, 15, 111, 123, 135) gestapelt sind, und eine Gate-Elektrode (23, 37, 49) an einer Seitenwand der Körperstruktur (17b, 35b, 47b) aufweist; undein Datenspeicherelement, das parallel zu der Schaltvorrichtung (SW1, SW2, SW3) geschaltet ist, wobei das Datenspeicherelement folgende Merkmale aufweist:eine untere Elektrode (27, 39, 51; 103, 115, 127), die von der Körperstruktur (17b, 35b, 47b) der Schaltvorrichtung (SW1, SW2, SW3) beabstandet ist;einen variablen Widerstand (29, 41, 53; 107, 119, 131) an der unteren Elektrode (27, 39, 51; 103, 115, 127); undeine obere Elektrode (31, 43, 55; 109, 121, 133) an dem variablen Widerstand (29, 41, 53; 107, 119, 131),wobei sich die obere Elektrode (31; 109) der ersten (CL1) der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) an der unteren Elektrode (39; 115) und der Körperstruktur (35b) der nächsten (CL2) der Mehrzahl von resistiven Speicherzellen (CL1, CL2, CL3) in der Kette (STR1, STR2) von resistiven Speicherzellen eines NAND-Typs befindet.