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    • 2. 发明申请
    • INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG
    • 干涉测量装置,
    • WO2004029543A2
    • 2004-04-08
    • PCT/DE2003/001029
    • 2003-03-28
    • ROBERT BOSCH GMBHMARCHAL, DominiqueDUVOISIN, Marc-HenriBREIDER, DominiqueDRABAREK, Pawel
    • MARCHAL, DominiqueDUVOISIN, Marc-HenriBREIDER, DominiqueDRABAREK, Pawel
    • G01B9/02
    • G01B11/2441G01B9/02002G01B9/0205G01B9/02057G01B9/02064G01B9/0209G01B2290/45
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Erfassen der Form, der Rauheit oder des Abstandes der Oberfläche eines Messobjektes (8) mit einem Modulationsinterferometer (2), dem von einer Strahlungsquelle (1) kurzkohärente Strahlung zugeführt wird und das einen ersten Strahlteiler (2.3) zum Aufteilen der zugeführten Strahlung in einen über einen ersten Arm geführten ersten Teilstrahl (2.1) und einen über einen zweiten Arm geführten zweiten Teilstrahl (2.1') aufweist, von denen der eine gegenüber dem anderen mittels einer Modulationseinrichtung (2.2, 2.2') in seiner Licht-Phase oder Lichtfrequenz verschoben wird und eine Verzögerungsstrecke (2.9') durchläuft, und die anschließend an einem weiteren Strahlteiler (2.10) des Modulationsinterferomters (2) vereinigt werden, mit einer von dem Modulationsinterferometer (2) räumlich getrennten und mit dieser über eine Lichtleitfaseranordnung (6) gekoppelten oder koppelbaren Messsonde (3), in der die vereinigten Teilstrahlen in einem gemeinsamen Arm in einem teildurchlässigen Bereich (3.3) in einen Messstrahl und einen Referenzstrahl aufgeteilt und in der der an der Oberfläche reflektierte Messstrahl (r 1 (t)) und der an einer Referenzebene reflektierte Referenzstrahl (r 2 (t)) überlagert werden, und mit einer Empfängervorrichtung (4) und einer Auswerteeinheit (5) zum Umwandeln der ihr zugeleiteten Strahlung in elektrische Signale und zum Auswerten der Signale auf der Grundlage einer Phasendifferenz. Ein günstiger Aufbau für zuverlässige Messungen auch in engen Hohlräumen ergibt sich dadurch, dass der teildurchlässige Bereich (3.3) mittels einer bezüglich der optischen Sondenachse (3.5) unter einem Austrittswinkel (a) schrägen Austrittsfläche (3.31) einer Sondenfaser (3.1) und einer ebenfalls bezüglich der optischen Sondenachse (3.5) unter einem Eintrittswinkel ( β ) schrägen Eintrittsfläche (3.32) eines objektseitig folgenden Faserabschnitts (3.2) gebildet ist, wobei zwischen der Austrittsfläche (3.31) und der Eintrittsfläche (3.32) ein keilförmiger Spalt gebildet ist._
    • 本发明涉及一种干涉测量装置,用于检测具有调制干涉仪(2),该辐射源(1)短相干辐射的被供给的形状,粗糙度或测量对象(8)的表面的距离,并且(一个第一分束器2.3 )(用于分离馈辐射成经由第一臂的第一部分光束2.1)和被引导的经由第二臂第二部分光束(2.1制导“),其中的一个相对于另一个(由调制装置2.2,2.2的手段”中) 它的光相位或光频率偏移,并通过一个延迟路径(2.9“)通过,并随后在所述Modulationsinterferomters(2)的进一步的分束器(2.10)合并,用调制干涉仪的一个空间上分离的(2)和与该一 光纤(6)联接或可联接测量探针(3),其中,所述已经 在一个部分透射区域(3.3)的公共臂纯化的子光束分成测量光束和参考光束,并且其中,所述反射的测量光束的表面上(R 1(t))和反射的光在基准平面参考光束(R 2(t))的重叠 和与接收器装置(4)以及评估单元(5),用于将提供给它转换成电信号的辐射和相位差的基础上评估该信号。 一个有利的结构,即使在从所述事实窄空腔结果可靠的测量,一个探针纤维(3.1)中的出射角度的部分透射区域(3.3)由一个相对于所述光学探头轴(3.5)的装置(A)倾斜的出射面(3.31),并相对于一个同样 以入射角(测试版)倾斜入口表面(3.32)光学探头轴(3.5)是继纤维段(3.2),物体侧形成的出口面(3.31)和形成的楔形间隙ist._入射面(3.32)之间,由此
    • 9. 发明公开
    • INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG
    • EP1546646A1
    • 2005-06-29
    • EP03720249.6
    • 2003-03-28
    • Robert Bosch GmbH
    • MARCHAL, DominiqueDUVOISIN, Marc-HenriBREIDER, DominiqueDRABAREK, Pawel
    • G01B9/02
    • G01B9/02065G01B9/0205G01B9/02057G01B9/0209
    • The invention relates to an interferometric measuring device for detecting the shape, roughness, and distance of the surface of an object (8) to be measured by means of a modulation interferometer (2) to which short coherent radiation is supplied by a source of radiation (1) and which comprises a first beam splitter (2.3) for splitting the supplied radiation into a first partial beam (2.1) that is guided across a first arm and a second partial beam (2.1') that is guided across a second arm. The light phase or light frequency of one of said partial beams is shifted relative to the other partial beam by means of a modulation device (2.2, 2.2'), said partial beam traveling across a delay loop (2.9'), whereupon the partial beams are reunited at another beam splitter (2.10) of the modulation interferometer (2).
    • 本发明涉及一种干涉测量装置,其用于通过调制干涉仪(2)检测待测物体(8)的表面的形状,粗糙度和距离,所述调制干涉仪(2)通过辐射源 (1)并且包括第一分束器(2.3),用于将所提供的辐射分成引导越过第一臂的第一部分光束(2.1)和引导越过第二臂的第二部分光束(2.1')。 借助于调制装置(2.2,2.2')使所述部分光束之一的光相位或光频率相对于另一部分光束偏移,所述部分光束在延迟环路(2.9')上行进,由此部分光束 在调制干涉仪(2)的另一个分束器(2.10)处重新聚集。