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1. 发明申请

WO2004029544A1 INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置，
公开(公告)号：WO2004029544A1
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/DE2003/001032
申请日：2003-03-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MARCHAL, Dominique , DUVOISIN, Marc-Henri , BREIDER, Dominique , DRABAREK, Pawel
发明人： MARCHAL, Dominique , DUVOISIN, Marc-Henri , BREIDER, Dominique , DRABAREK, Pawel
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02065 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B9/0209
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Erfassen der Form, der Rauheit oder des Abstandes der Oberfläche eines Messobjektes (8) mit einem Modulationsinterferometer (2), dem von einer Strahlungsquelle (1) kurzkohärente Strahlung zugeführt wird und das einen ersten Strahlteiler (2.3) zum Aufteilen der zugeführten Strahlung in einen über einen ersten Arm geführten ersten Teilstrahl (2.1) und einen über einen zweiten Arm geführten zweiten Teilstrahl (2.1') aufweist, von denen der eine gegenüber dem anderen mittels einer Modulationseinrichtung (2.2, 2.2') in seiner Licht-Phase oder Lichtfrequenz verschoben wird und eine Verzögerungsstrecke (2.9') durchläuft, und die anschliessend an einem weiteren Strahlteiler (2.10) des Modulationsinterferomters (2) vereinigt werden.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉测量装置，用于检测具有调制干涉仪（2），该辐射源（1）短相干辐射的被供给的形状，粗糙度或测量对象（8）的表面的距离，并且（一个第一分束器2.3 ）（用于分离馈辐射成经由第一臂的第一部分光束2.1）和被引导的经由第二臂第二部分光束（2.1制导“），其中的一个相对于另一个（由调制装置2.2，2.2的手段”中）它的光相位或光频率偏移，并通过一个延迟路径（2.9“），并且随后在Modulationsinterferomters（2）的进一步的分束器（2.10）相结合。

2. 发明申请

WO2004029543A2 INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置，
公开(公告)号：WO2004029543A2
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/DE2003/001029
申请日：2003-03-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MARCHAL, Dominique , DUVOISIN, Marc-Henri , BREIDER, Dominique , DRABAREK, Pawel
发明人： MARCHAL, Dominique , DUVOISIN, Marc-Henri , BREIDER, Dominique , DRABAREK, Pawel
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02002 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B9/02064 , G01B9/0209 , G01B2290/45
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Erfassen der Form, der Rauheit oder des Abstandes der Oberfläche eines Messobjektes (8) mit einem Modulationsinterferometer (2), dem von einer Strahlungsquelle (1) kurzkohärente Strahlung zugeführt wird und das einen ersten Strahlteiler (2.3) zum Aufteilen der zugeführten Strahlung in einen über einen ersten Arm geführten ersten Teilstrahl (2.1) und einen über einen zweiten Arm geführten zweiten Teilstrahl (2.1') aufweist, von denen der eine gegenüber dem anderen mittels einer Modulationseinrichtung (2.2, 2.2') in seiner Licht-Phase oder Lichtfrequenz verschoben wird und eine Verzögerungsstrecke (2.9') durchläuft, und die anschließend an einem weiteren Strahlteiler (2.10) des Modulationsinterferomters (2) vereinigt werden, mit einer von dem Modulationsinterferometer (2) räumlich getrennten und mit dieser über eine Lichtleitfaseranordnung (6) gekoppelten oder koppelbaren Messsonde (3), in der die vereinigten Teilstrahlen in einem gemeinsamen Arm in einem teildurchlässigen Bereich (3.3) in einen Messstrahl und einen Referenzstrahl aufgeteilt und in der der an der Oberfläche reflektierte Messstrahl (r 1 (t)) und der an einer Referenzebene reflektierte Referenzstrahl (r 2 (t)) überlagert werden, und mit einer Empfängervorrichtung (4) und einer Auswerteeinheit (5) zum Umwandeln der ihr zugeleiteten Strahlung in elektrische Signale und zum Auswerten der Signale auf der Grundlage einer Phasendifferenz. Ein günstiger Aufbau für zuverlässige Messungen auch in engen Hohlräumen ergibt sich dadurch, dass der teildurchlässige Bereich (3.3) mittels einer bezüglich der optischen Sondenachse (3.5) unter einem Austrittswinkel (a) schrägen Austrittsfläche (3.31) einer Sondenfaser (3.1) und einer ebenfalls bezüglich der optischen Sondenachse (3.5) unter einem Eintrittswinkel ( β ) schrägen Eintrittsfläche (3.32) eines objektseitig folgenden Faserabschnitts (3.2) gebildet ist, wobei zwischen der Austrittsfläche (3.31) und der Eintrittsfläche (3.32) ein keilförmiger Spalt gebildet ist._
摘要翻译：本发明涉及一种干涉测量装置，用于检测具有调制干涉仪（2），该辐射源（1）短相干辐射的被供给的形状，粗糙度或测量对象（8）的表面的距离，并且（一个第一分束器2.3 ）（用于分离馈辐射成经由第一臂的第一部分光束2.1）和被引导的经由第二臂第二部分光束（2.1制导“），其中的一个相对于另一个（由调制装置2.2，2.2的手段”中）它的光相位或光频率偏移，并通过一个延迟路径（2.9“）通过，并随后在所述Modulationsinterferomters（2）的进一步的分束器（2.10）合并，用调制干涉仪的一个空间上分离的（2）和与该一光纤（6）联接或可联接测量探针（3），其中，所述已经在一个部分透射区域（3.3）的公共臂纯化的子光束分成测量光束和参考光束，并且其中，所述反射的测量光束的表面上（R 1（t））和反射的光在基准平面参考光束（R 2（t））的重叠和与接收器装置（4）以及评估单元（5），用于将提供给它转换成电信号的辐射和相位差的基础上评估该信号。一个有利的结构，即使在从所述事实窄空腔结果可靠的测量，一个探针纤维（3.1）中的出射角度的部分透射区域（3.3）由一个相对于所述光学探头轴（3.5）的装置（A）倾斜的出射面（3.31），并相对于一个同样以入射角（测试版）倾斜入口表面（3.32）光学探头轴（3.5）是继纤维段（3.2），物体侧形成的出口面（3.31）和形成的楔形间隙ist._入射面（3.32）之间，由此

3. 发明申请

WO2004029543A3 INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置，
公开(公告)号：WO2004029543A3
公开(公告)日：2004-06-17
申请号：PCT/DE0301029
申请日：2003-03-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MARCHAL DOMINIQUE , DUVOISIN MARC-HENRI , BREIDER DOMINIQUE , DRABAREK PAWEL
发明人： MARCHAL DOMINIQUE , DUVOISIN MARC-HENRI , BREIDER DOMINIQUE , DRABAREK PAWEL
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G01B9/00 , G01B11/00
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02002 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B9/02064 , G01B9/0209 , G01B2290/45
摘要： The invention relates to an interferometric measuring device for detecting the shape, roughness, and distance of the surface of an object (8) to be measured by means of a modulation interferometer (2) to which short coherent radiation is supplied by a source of radiation (1) and which comprises a first beam splitter (2.3) for splitting the supplied radiation into a first partial beam (2.1) that is guided across a first arm and a second partial beam (2.1') that is guided across a second arm. The light phase or light frequency of one of said partial beams is shifted relative to the other partial beam by means of a modulation device (2.2, 2.2'), said partial beam traveling across a delay loop (2.9'), whereupon the partial beams are reunited at another beam splitter (2.10) of the modulation interferometer (2). The inventive interferometric measuring device also comprises a measuring probe (3) which is spatially separated from the modulation interferometer (2) and is or can be coupled thereto via a light-conducting fiber array (6). The reunited partial beams are split into a measuring beam and a reference beam in a partially permeable area (3.3) of a common arm of said measuring probe (3), and the measuring beam (r1(t)) reflected on the surface and the reference beam (r2(t)) reflected on a reference plane are superimposed therein. Said interferometric measuring device further comprises a receiver device (4) and an evaluation unit (5) for converting the radiation directed thereto into electrical signals and evaluating said signals based on a phase difference. A favorable design for taking reliable measurements even in tight hollow spaces is created by the fact that the partially permeable area (3.3) is formed by means of an exit area (3.31) of a probe fiber (3.1), which is slanted relative to the optical probe axis (3.5) by an exit angle (a), and an entrance area (3.32) of a fiber section that follows in the direction of the object, said entrance area also being slanted relative to the optical probe axis (3.5) by an entrance angle (ss). A cuneiform gap is formed between the exit area (3.31) and the entrance area (3.32).
摘要翻译：本发明涉及一种干涉测量装置，用于检测具有调制干涉仪（2），其包括一个第一分束器（2.1）和第二Treilstrahl（2.1“）的形状，粗糙度或测量对象（8）的表面的距离，和随后在进一步的分束器（2.10）合并，在空间上分离，并用此通过测量探针（3）中，n在处于一个部分透射区域（3.3）的公共臂与Modulationsinterferomter之一的组合部分光束（2）的测量光束和参考光束被划分。以下的纤维段的teildurchlässisge区域（3.3）由一个相对于在探针纤维（3.1）的出射角度倾斜出射面（3.31）光学探头轴（3.5）的装置和同样相对于在对象侧的入射角倾斜入射面（3.32）光学探头轴（3.5）（3.2）形成，所述出射表面（3.31）之间形成，其中，所述出射面（3.31）和入射面zwsichen形成（3.32）的楔形间隙。

4. 发明申请

WO2005008173A1 OPTISCHE MESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：光学测量装置
公开(公告)号：WO2005008173A1
公开(公告)日：2005-01-27
申请号：PCT/DE2004/001038
申请日：2004-05-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LINDNER, Michael , DRABAREK, Pawel , OFEN, Rolf , DUVOISIN, Marc-Henri , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： LINDNER, Michael , DRABAREK, Pawel , OFEN, Rolf , DUVOISIN, Marc-Henri , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02065 , G01B9/02003 , G01B9/02027 , G01B9/0209 , G01B2290/30 , G01B2290/45
摘要： Die erfindungsgemässe optische Messeinrichtung (1) ist mit mindestens einer optischen Ausgabeeinheit (11) zur Ausgabe mindestens eines optischen Ausgangssignals und mindestens einer optischen Empfangseinheit (71) zum Empfang eines optischen Messsignals, die zu einer Zuordnung des mindestens einen optischen Messsignals zu mindestens einem der optischen Ausgangssignale mittels eines optischen Multiplexers (31) ausgebildet ist, versehen. Der Multiplexer wird durch Faserkoppler oder durch Strahlteiler in Verbindung einem Gitter oder einem Linsenarray realisiert. Die Ausgabeeinheit enthält mehrere über Faser angekoppelte Interferometer (11) zur Messung der Reflexion eines Objekts, um z.B. dessen Oberflächenbeschaffenheit zu bestimmen.
摘要翻译：本发明的光学测量装置（1）具有至少一个视觉输出单元（11），用于接收光的测量信号输出至少一个光输出信号和至少一个光接收单元（71），从而导致所述至少一个光学测量信号的指派到光中的至少一个通过光学多路复用器（31）来形成输出信号被提供。多路复用器由光纤耦合器或分束器组合的网格，或透镜阵列来实现。输出单元包括多个通过光纤干涉仪（11），耦合用于测量物体的反射率，以例如以确定其表面纹理。

5. 发明申请

WO2009135550A1 MOBILES MESSSYSTEM UND MESSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：移动测量系统和测量方法
公开(公告)号：WO2009135550A1
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：PCT/EP2008/067122
申请日：2008-12-09
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , VISEL, Benjamin , RICHARD, Matthieu , BONNY, Joel , DUVOISIN, Marc-Henri , JACKISCH, Sebastian
发明人： VISEL, Benjamin , RICHARD, Matthieu , BONNY, Joel , DUVOISIN, Marc-Henri , JACKISCH, Sebastian
IPC分类号： G01C3/02 , G01C15/00 , G01S17/08 , G01B21/20
CPC分类号： G01C3/02 , G01C15/002 , G01S7/003 , G01S7/4972 , G01S17/42 , G01S17/87
摘要： Mobiles Messsystem zum Erfassen von Profilschnitten eines Objektes und/oder Raumes, umfassend zumindest eine berührungsfrei arbeitende Abstandsmesseinrichtung, eine Schwenkeinrichtung zum Verschwenken der Abstandsmesseinrichtung um eine erste Achse und eine Höhenverstelleinrichtung zum Verstellen der Höhe der Abstandsmesseinrichtung, wobei die Abstandsmesseinrichtung zusammen mit der Schwenkeinrichtung um eine zweite Achse verschwenkbar ist, die sich quer zur ersten Achse erstreckt.
摘要翻译：用于检测对象和/或空间的轮廓截面的移动系统，其包括至少一个非接触式距离测量装置，用于枢转所述距离测量装置绕第一轴线和用于调节所述距离测量单元的高度的高度调节装置的枢转装置，所述距离测量与所述枢转装置一起表示第二至是横向延伸到所述第一轴线枢转轴线。

6. 发明申请

WO2009135549A1 MOBILES MESSSYSTEM UND MESSVERFAHREN ZUM ERFASSEN VON PROFILSCHNITTEN ODER KONTUREN 审中-公开
标题翻译：移动测量系统和测量法检查性剖或轮廓
公开(公告)号：WO2009135549A1
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：PCT/EP2008/067120
申请日：2008-12-09
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , VISEL, Benjamin , RICHARD, Matthieu , BONNY, Joel , DUVOISIN, Marc-Henri , JACKISCH, Sebastian
发明人： VISEL, Benjamin , RICHARD, Matthieu , BONNY, Joel , DUVOISIN, Marc-Henri , JACKISCH, Sebastian
IPC分类号： G01C3/02 , G01C15/00 , G01S17/08 , G01B21/20
CPC分类号： G01C15/004 , G01C3/02 , G01C15/00 , G01S7/4813 , G01S17/42
摘要： Mobiles Messsystem zum Erfassen von Profilschnitten eines Objektes und/oder Raumes, umfassend zumindest eine drehfest angeordnete und berührungsfrei arbeitende Abstandsmesseinrichtung, eine erste Umlenkeinrichtung oder Teileinrichtung, die ein von der Abstandsmesseinrichtung emittiertes Messsignal umlenkt oder in verschiedene Richtungen aufteilt, eine Schwenkeinrichtung zum Verschwenken der Umlenkeinrichtung oder Teileinrichtung um eine erste Achse und eine Höhenverstelleinrichtung zum Verstellen der Höhe der Umlenkeinrichtung oder Teileinrichtung.
摘要翻译：用于检测对象和/或空间的轮廓截面的移动系统，包括：至少一个旋转固定地布置并且非接触式距离测量装置，其偏转从所述距离测量装置测量的信号发射或分成不同的方向上的光，用于回转偏转或旋转装置中的第一偏转或部分装置分割装置绕第一轴线和用于调节偏转装置或子设备的高度的高度调节装置。

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