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1. 发明申请

WO2009043738A2 SENSORELEMENT 审中-公开
标题翻译：传感器元件
公开(公告)号：WO2009043738A2
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/EP2008/062525
申请日：2008-09-19
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ZOELLIN, Jochen , FRANKE, Axel , TEEFFELEN, Kathrin , LEINENBACH, Christina
发明人： ZOELLIN, Jochen , FRANKE, Axel , TEEFFELEN, Kathrin , LEINENBACH, Christina
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/084
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Sensorelement zum Erfassen von Beschleunigungen in drei Raumrichtungen vorgeschlagen, das zuverlässige Messergebnisse liefert und sich zudem in kleiner Bauform und kostengünstig realisieren lässt. Das Sensorelement (10) umfasst mindestens eine in drei Raumrichtungen auslenkbare seismischen Masse (11), eine Membranstruktur (12), die als Aufhängung für die seismische Masse (11) fungiert, und mindestens eine feststehende Gegenelektrode (15) zum kapazitiven Erfassen der Auslenkungen der Membranstruktur (12). Erfindungsgemäß umfasst die Membranstruktur (12) mindestens vier elektrisch voneinander getrennte Elektrodenbereiche (14a bis 14d), die über die seismische Masse (11) mechanisch gekoppelt sind.
摘要翻译：利用本发明，用于检测在空间的三个方向的加速度的传感器元件，所以建议提供可靠的结果，并且还可以在小尺寸和便宜的实现。所述传感器元件（10）包括至少一个可偏转的三个空间方向上振动质量（11），膜结构（12），其功能是作为悬浮液的振动质量（11），和至少一个固定的反电极（15）用于电容感测的偏转膜结构（12）。根据本发明的膜结构（12）包括机械地联接到所述振动质量（11）的至少四个电隔离的电极区域（14a至14d）。

2. 发明申请

WO2010139498A1 BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：用微机械麦克风结构和方法为组件
公开(公告)号：WO2010139498A1
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/EP2010/054583
申请日：2010-04-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , REICHENBACH, Frank , BUCK, Thomas , ZOELLIN, Jochen , LAERMER, Franz , SCHOLZ, Ulrike , TEEFFELEN, Kathrin , LEINENBACH, Christina
发明人： REICHENBACH, Frank , BUCK, Thomas , ZOELLIN, Jochen , LAERMER, Franz , SCHOLZ, Ulrike , TEEFFELEN, Kathrin , LEINENBACH, Christina
IPC分类号： H04R19/00 , B81C1/00
CPC分类号： H04R19/005 , Y10T428/31663
摘要： Es werden ein Bauelement mit einer stabilen aber akustisch empfindlichen Mikrofonstruktur vorgeschlagen sowie und ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zu dessen Herstellung. Dieses Mikrofonbauelement umfasst eine akustisch aktive Membran (11), die als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators fungiert, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (12), das als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators fungiert, und Mittel zum Erfassen und Auswerten der Kapazitätsänderungen des Mikrofonkondensators. Die Membran (11) ist in einer Membranschicht (3) über dem Halbleitersubstrat (1) des Bauelements realisiert und überspannt eine Schallöffnung (13) in der Substratrückseite. Das Gegenelement (12) ist in einer weiteren Schicht (5) über der Membran (11) ausgebildet. Erfindungsgemäß erstreckt sich diese weitere Schicht (5) im wesentlichen über die gesamte Bauelementfläche und gleicht Niveauunterschiede aus, so dass die gesamte Bauelementoberfläche entsprechend dieser weiteren Schicht (5) weitgehend eben ist. Dadurch kann eine Folie auf den Schichtaufbau der im Waferverbund freigelegten Mikrofonstrukturen aufgebracht werden, die die Vereinzelung der erfindungsgemäßen Bauelemente in einem Standard-Sägeprozess ermöglicht.
摘要翻译：它提出了一个稳定的，但声音敏感的麦克风的结构以及和用于生产其的简单且成本有效的方法的部件。该话筒装置包括声学活性膜（11），其充当麦克风电容器的偏转电极，固定声透射反元件（12），其充当麦克风电容器的对电极的装置，以及用于检测和评估在麦克风电容器的电容的变化。所述膜（11）在部件（1）在半导体衬底上的膜层（3）被实现，并跨越在基板后侧的声音开口（13）。所述计数元件（12）形成在在所述膜（11）进一步的层（5）。根据本发明，该另外的层（5）基本上在整个器件表面延伸，并且补偿在水平的差异，从而使整个装置的表面是根据该进一步的层（5）是基本平坦的。从而可应用于在晶片复合麦克风结构露出的层结构，膜，其允许根据本发明在一个标准的锯切过程中各组分的分离。

3. 发明申请

WO2012143151A1 MIKROELEKTROMECHANISCHE SCHALLDETEKTIONSVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN 审中-公开
标题翻译：微机电声音检测装置及方法用于生产这样的
公开(公告)号：WO2012143151A1
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：PCT/EP2012/052831
申请日：2012-02-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ZOELLIN, Jochen , SCHOLZ, Ulrike , EHRENPFORDT, Ricardo
发明人： ZOELLIN, Jochen , SCHOLZ, Ulrike , EHRENPFORDT, Ricardo
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81C2203/0154 , G01H11/06 , H01L2224/48091 , H01L2924/15151 , H01L2924/16151 , H01L2924/16195 , H01L2924/1815 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R2499/11 , H01L2924/00014
摘要： Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Schalldetektionsvorrichtung, umfassend ein Substrat, ein Gehäuse, zumindest eine Öffnung zum Durchtritt von Schall und ein mikroelektromechanisches Element zur Schallaufnahme, wobei das Gehäuse mittels Molden derart ausgebildet ist, ein Frontvolumen und ein Rückvolumen zur Schalldetektion durch das mikroelektromechanische Element als Hohlräume bereitzustellen. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Herstellung einer mikroelektromechanischen Schalldetektionsvorrichtung sowie Verwendungen einer Schalldetektionsvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种微机电声音检测装置，其包括一基板，一壳体，至少一个开口，用于声音的通道，和用于拾取声音，其中所述壳体由莫尔登，前容积，并通过所述微机电元件作为空隙用于声音检测后容积构成的微机电元件提供。本发明还涉及一种用于制造微机电音检测装置，并使用声音检测装置。

4. 发明申请

WO2011082861A1 BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：用微机械麦克风结构和方法为组件
公开(公告)号：WO2011082861A1
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：PCT/EP2010/066854
申请日：2010-11-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ZOELLIN, Jochen , GROSSE, Axel , GEHL, Bernhard
发明人： ZOELLIN, Jochen , GROSSE, Axel , GEHL, Bernhard
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005
摘要： Es werden Maßnahmen zur Verbesserung der akustischen Eigenschaften eines in Opferschichttechnologie gefertigten Mikrofonbauelements vorgeschlagen. Die mikromechanische Mikrofonstruktur eines solchen Bauelements (10) ist in einem Schichtaufbau realisiert und umfasst mindestens eine durch den Schalldruck auslenkbare Membran, die in einer Membranschicht realisiert ist, sowie ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (12) für die Membran, das in einer dicken Funktionsschicht über der Membranschicht realisiert ist und mit Durchgangsöffnungen (13) zur Schalleinleitung versehen ist. Erfindungsgemäß sind die Durchgangsöffnungen (13) zur Schalleinleitung über dem Mittelbereich der Membran angeordnet, während über dem Randbereich der Membran akustisch weitestgehend passive Perforationsöffnungen (14) im Gegenelement (12) ausgebildet sind.
摘要翻译：它提出了措施以改善在牺牲层技术麦克风装置制造的声学性质。这样的成分的微机械麦克风结构（10）中的层结构被实现，并包括由上述声压的膜，其在膜层来实现至少一个可偏转，以及固定声透射反元件（12），用于该膜，在厚的功能层的上述薄膜层实现，并与通孔（13）被设置用于声音输入。根据本发明的用于声音输入的通道开口（13）与膜片的中心部分被布置，而是在配合元件（12）的膜声学很大程度上被动穿孔开口（14）的边缘区域。

5. 发明申请

WO2010086061A1 MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR MIT VERTIKALER MEMBRANAUFHÄNGUNG 审中-公开
标题翻译：带竖膜悬浮液的微观力学压力传感器
公开(公告)号：WO2010086061A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/EP2009/066891
申请日：2009-12-11
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BUCK, Thomas , ZOELLIN, Jochen , GEHL, Bernhard
发明人： BUCK, Thomas , ZOELLIN, Jochen , GEHL, Bernhard
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B3/0054 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , G01L9/0073 , H04R7/18 , H04R19/04 , H04R31/006
摘要： Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Sensor zur Erfassung einer Druckgröße, insbesondere einer Schalldruckgröße, sowie ein Verfahren zur Herstellung dieses Sensors. Dabei weist der Sensor ein Substrat, eine Membran, ein von der Membran beabstandetes Gegenelement und einen ersten Hohlraum auf. Die Membran ist dabei derart gestaltet, dass sie sich vollständig im dem ersten Hohlraum befindet und lediglich mit wenigstens einem Verbindungselement an dem Gegenelement befestigt ist.
摘要翻译：本发明描述了用于检测一个压力变量，尤其是声压幅值，以及用于制造该传感器的方法的微机械传感器。在这种情况下，该传感器包括基板，膜，从膜的反元件和第一腔隔开。该膜被设计为使得它完全位于所述第一空腔内，并仅与计数元件上的至少一个连接元件固定。

6. 发明申请

WO2013011114A2 BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：微机械麦克风结构的施工要素
公开(公告)号：WO2013011114A2
公开(公告)日：2013-01-24
申请号：PCT/EP2012/064251
申请日：2012-07-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ZOELLIN, Jochen , LAERMER, Franz , DALEY, Mike , SCHELLING, Christoph
发明人： ZOELLIN, Jochen , LAERMER, Franz , DALEY, Mike , SCHELLING, Christoph
CPC分类号： H04R7/06 , B81B3/0051 , B81B2201/0257 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2201/003
摘要： Es werden Möglichkeiten zur Realisierung eines substratseitigen Überlastschutzes für die Membranstruktur eines Mikrofonbauelements mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur vorgeschlagen, der die Dämpfungseigenschaften der Mikrofonstruktur möglichst wenig beinträchtigt. Die Mikrofon struktur umfasst eine Membranstruktur (2) mit mindestens einer akustisch aktiven Membran (11), die in einer Membranschicht über einem Halbleitersubstrat (1) ausgebildet ist. Sie überspannt mindestens eine Schallöffnung (13) in der Substratrückseite. Ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (14) ist im Schichtaufbau des Bauelements (10) über der Membranschicht ausgebildet. Erfindungsgemäß sind am äußeren Randbereich der Membranstruktur (2) zumindest Fortsätze (17) ausgebildet, die über den Randbereich der Schallöffnung (13) hinausragen, so dass der Randbereich der Schallöffnung (13) als substratseitiger Anschlag für die Membranstruktur (2) fungiert.
摘要翻译：
有M＆ouml;用于实现基板侧导航用途的可能性berlastschutzes˚F导航用途ř提出具有d＆AUML的微机械麦克风结构的麦克风组件的膜结构; M＆ouml麦克风结构的阻尼特性;尽可能少beintr BEAR chtigt。该麦克风结构包括具有至少一个声学活性膜（11）的膜结构（2），该声学活性膜形成在半导体衬底（1）上方的膜层中。它跨越衬底背面的至少一个声音开口（13）。在膜层上方的装置（10）的层结构中形成固定的声学上可透射的反向元件（14）。发明＆AUML;大街是在＆AUML;膜结构u的ROAD旧的边缘区域（2）至少续＆AUML;梓（17）形成，所述导航运用在声音＆OUML的边缘区域中;突出开口（13），从而使声＆OUML的边缘区域中;开口（13）作为底物侧停止膜结构（2）的作用。

7. 发明申请

WO2010086206A1 BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SOLCHEN MIKROFONBAUELEMENTS 审中-公开
标题翻译：随着对操作这样的麦克风元件微机械麦克风结构和方法COMPONENT
公开(公告)号：WO2010086206A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/EP2010/050208
申请日：2010-01-11
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ARIAS-DRAKE, Alberto , BUCK, Thomas , ZOELLIN, Jochen , RAMOS-MARTOS, Juan , LAERMER, Franz , RAGEL-MORALES, Antonio , CEBALLOS-CACERES, Joaquin , MORA-GUTIERREZ, Jose M.
发明人： ARIAS-DRAKE, Alberto , BUCK, Thomas , ZOELLIN, Jochen , RAMOS-MARTOS, Juan , LAERMER, Franz , RAGEL-MORALES, Antonio , CEBALLOS-CACERES, Joaquin , MORA-GUTIERREZ, Jose M.
IPC分类号： H04R3/00 , H04R19/01 , G01R29/12
CPC分类号： H04R3/007 , H04R19/016
摘要： Es wird ein Konzept für ein MEMS-Mikrofon vorgeschlagen, das auf einem relativ niedrigen Spannungsniveau betrieben werden kann und dennoch eine vergleichsweise hohe Empfindlichkeit aufweist. Neben einer mikromechanischen Mikrofonstruktur mit einer akustisch aktiven Membran, die als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators (1) fungiert, und einem feststehenden akustisch durchlässigen Gegenelement, das als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators (1) fungiert, umfasst das erfindungsgemäße Bauelement dazu: Mittel zum Anlegen eines hochfrequenten Taktsignals (2) an den Mikrofonkondensator (1) und zum Anlegen des invertierten Taktsignals (2') an einen einstellbaren aber akustisch nicht aktiven Kompensationskondensator (7), einen integrierenden Operationsverstärker (3), der die Summe des Stromflusses durch den Mikrofonkondensator (1) und des Stromflusses durch den Kompensationskondensator (7) aufintegriert, einen mit dem Taktsignal (2) synchronisierten Demodulator (4) für das Ausgangssignal des integrierenden Operationsverstärkers (3) und einen Tiefpassfilter, um aus dem Ausgangssignal des Demodulators (4) ein den Kapazitätsänderungen des Mikrofonkondensators (1) entsprechendes Mikrofonsignal zu gewinnen.
摘要翻译：它提出了一种用于MEMS麦克风，其可在相对低的电压电平下操作，并且仍然具有相对高的灵敏度的概念。除了微机械麦克风结构与声学活性膜，其充当麦克风电容器（1）的可偏转电极，以及用作（1）根据本发明用于此目的的包括装置的麦克风电容器的相对电极的固定声可渗透元件：用于将一高频时钟信号（2）到麦克风电容器（1）和（2“），用于将所述可调节的而不是声学活性补偿电容器反相时钟信号（7），一个积分运算放大器（3），其是电流流动的通过麦克风电容器的总和（1）和通过所述补偿电容器（7）的电流流动集成，同步一个与时钟信号（2）解调器（4）的积分运算放大器（3），并从解调器的输出信号的低通滤波器的输出（4）（在麦克风电容器的电容的变化之一 1）赢得相应的麦克风信号。

8. 发明申请

WO2015071006A1 LEITERPLATTE FÜR DIE MONTAGE EINES MIKROFONBAUTEILS UND MIKROFONMODUL MIT EINER DERARTIGEN LEITERPLATTE 审中-公开
标题翻译：电路板上的元件安装麦克风和麦克风模块，这种电路板
公开(公告)号：WO2015071006A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/069393
申请日：2014-09-11
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： ZOELLIN, Jochen , EHRENPFORDT, Ricardo , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： H05K1/18
CPC分类号： H04R1/04 , H04R31/00 , H04R31/006 , H04R2201/003 , H05K1/0296 , H05K1/111 , H05K1/181 , H05K2201/09072 , H05K2201/10083 , Y02P70/611
摘要： Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, durch die das Rückvolumen eines Mikrofonbauelements unabhängig von dessen Verpackung realisiert werden kann. Im Rahmen eines Mikrofonmoduls (100) wird dazu eine Leiterplatte (10) für die 2nd-Level Montage mindestens eines Mikrofonbauteils (20) verwendet, in deren Oberfläche mindestens eine Anschlussöffnung (12) ausgebildet ist, die in einen Hohlraum (11) im Schichtaufbau der Leiterplatte (10) mündet. Außerdem ist die Leiterplattenoberfläche mit der Anschlussöffnung (12) für eine dichtende Montage des Mikrofonbauteils (20) über der Anschlussöffnung (12) konfiguriert, so dass das Mikrofonbauteil (20) über die Anschlussöffnung (12) in der Leiterplattenoberfläche akustisch an den Hohlraum (11) in der Leiterplatte (10) angeschlossen ist und dieser Hohlraum (11) als Rückseitenvolumen für das Mikrofonbauteil (20) fungiert.
摘要翻译：存在通过其可以不管其包装来实现的麦克风组件的后容积提出的措施。作为麦克风模块（100）的电路板（10），用于所述第二级组件的一部分被用于至少一个麦克风部件（20），在其表面的至少一个连接开口（12）中的层结构的腔体（11）形成印刷电路板（10）。此外，与用于连接开口（12）上方的麦克风组件（20）的密封组件的连接开口（12）在电路板表面上，使得通过在所述电路板的表面声学到空腔中的连接开口（12）的麦克风部件（20）（11）被配置被连接在所述电路板（10）和所述腔（11）充当后容积为麦克风部件（20）。

9. 发明公开

EP2700248A1 MIKROELEKTROMECHANISCHE SCHALLDETEKTIONSVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN 有权
标题翻译：微机电声音检测装置及方法用于生产这样的
公开(公告)号：EP2700248A1
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：EP12708095.0
申请日：2012-02-20
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： ZOELLIN, Jochen , SCHOLZ, Ulrike , EHRENPFORDT, Ricardo
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81C2203/0154 , G01H11/06 , H01L2224/48091 , H01L2924/15151 , H01L2924/16151 , H01L2924/16195 , H01L2924/1815 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R2499/11 , H01L2924/00014
摘要： The invention relates to a microelectromechanical sound detection apparatus, comprising a substrate, a housing, at least one opening for sound to pass through and a microelectromechanical element for picking up sound, wherein the housing is produced by means of moulding such as to provide a front volume and a rear volume for sound detection by means of the microelectromechanical element as cavities. The invention likewise relates to a method for producing a microelectromechanical sound detection apparatus and also to uses for a sound detection apparatus.

10. 发明申请

WO2014121955A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT EINER MEMBRANSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：与膜结构的微机械结构
公开(公告)号：WO2014121955A1
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：PCT/EP2014/050038
申请日：2014-01-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： ZOELLIN, Jochen , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/0163 , B81B2203/0307 , B81B2203/04
摘要： Es wird ein Konzept für die Realisierung von mikromechanischen Bauelementen mit einer weitgehend spannungsfreien Membranstruktur mit Randverankerung vorgeschlagen, das sich kostengünstig mit Standardverfahren der Halbleiterprozessierung umsetzen lässt. Demnach wird die Membranstruktur eines solchen mikromechanischen Bauelements (100) in einem Schichtaufbau auf einem Substrat (1) realisiert, wobei die Membranstruktur eine Membran (11) umfasst, die über mindestens ein Federelement (12) in den Schichtaufbau eingebunden ist, wobei die Membran (11) eine Kaverne (16) überspannt, so dass sich zumindest ein Abschnitt des Membranrandes bis über den Randbereich der Kaverne (16) erstreckt, und wobei im Überlappungsbereich zwischen Membran (11) und Kavernenrandbereich mindestens eine Ankerstruktur ausgebildet ist. Erfindungsgemäß umfasst die Ankerstruktur mindestens ein Ankerelement (21) und eine Durchgangsöffnung (20) für das Ankerelement (21), wobei das Ankerelement (21) aus dem Schichtaufbau über dem Kavernenrandbereich herausstrukturiert ist und die Durchgangsöffnung (20) für das Ankerelement (21) im Randbereich der Membran (11) ausgebildet ist, so dass ein Spiel zwischen Ankerelement (21) und Durchgangsöffnung (20) besteht, das eine mechanische Spannungsrelaxation der Membran (11) ermöglicht.
摘要翻译：因此建议用边缘锚固一个概念，为实现微机械部件的，其可与半导体处理的标准方法成本有效地实现一个基本上无应力的膜结构。因此，这样的微机械部件的膜结构（100）在基板（1），其中所述膜结构包括膜（11），所述至少一个弹簧元件（12）被集成在所述层结构上的层结构，其中所述膜被实现（ 11）跨越形成空腔（16），使得至少一个所述膜的边缘的至超出腔（16）的边缘区域部分，并且其中（在膜11）和洞穴边缘区域的至少一个锚定结构的之间的重叠区域。根据本发明，锚定结构包括至少一个锚定元件（21）和用于锚定元件（21），其中，所述锚固元件（21）从用于在所述锚定元件（21）洞穴边缘部分和所述通孔（20）之上的层结构图案化的通孔（20）形成在膜（11）的边缘区域，使得电枢部件（21）和通道开口（20），使所述膜（11）的机械应力之间的间隙。

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