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    • 1. 发明申请
    • BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    • 用微机械麦克风结构和方法为组件
    • WO2010139498A1
    • 2010-12-09
    • PCT/EP2010/054583
    • 2010-04-07
    • ROBERT BOSCH GMBHREICHENBACH, FrankBUCK, ThomasZOELLIN, JochenLAERMER, FranzSCHOLZ, UlrikeTEEFFELEN, KathrinLEINENBACH, Christina
    • REICHENBACH, FrankBUCK, ThomasZOELLIN, JochenLAERMER, FranzSCHOLZ, UlrikeTEEFFELEN, KathrinLEINENBACH, Christina
    • H04R19/00B81C1/00
    • H04R19/005Y10T428/31663
    • Es werden ein Bauelement mit einer stabilen aber akustisch empfindlichen Mikrofonstruktur vorgeschlagen sowie und ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zu dessen Herstellung. Dieses Mikrofonbauelement umfasst eine akustisch aktive Membran (11), die als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators fungiert, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (12), das als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators fungiert, und Mittel zum Erfassen und Auswerten der Kapazitätsänderungen des Mikrofonkondensators. Die Membran (11) ist in einer Membranschicht (3) über dem Halbleitersubstrat (1) des Bauelements realisiert und überspannt eine Schallöffnung (13) in der Substratrückseite. Das Gegenelement (12) ist in einer weiteren Schicht (5) über der Membran (11) ausgebildet. Erfindungsgemäß erstreckt sich diese weitere Schicht (5) im wesentlichen über die gesamte Bauelementfläche und gleicht Niveauunterschiede aus, so dass die gesamte Bauelementoberfläche entsprechend dieser weiteren Schicht (5) weitgehend eben ist. Dadurch kann eine Folie auf den Schichtaufbau der im Waferverbund freigelegten Mikrofonstrukturen aufgebracht werden, die die Vereinzelung der erfindungsgemäßen Bauelemente in einem Standard-Sägeprozess ermöglicht.
    • 它提出了一个稳定的,但声音敏感的麦克风的结构以及和用于生产其的简单且成本有效的方法的部件。 该话筒装置包括声学活性膜(11),其充当麦克风电容器的偏转电极,固定声透射反元件(12),其充当麦克风电容器的对电极的装置,以及用于检测和评估在麦克风电容器的电容的变化。 所述膜(11)在部件(1)在半导体衬底上的膜层(3)被实现,并跨越在基板后侧的声音开口(13)。 所述计数元件(12)形成在在所述膜(11)进一步的层(5)。 根据本发明,该另外的层(5)基本上在整个器件表面延伸,并且补偿在水平的差异,从而使整个装置的表面是根据该进一步的层(5)是基本平坦的。 从而可应用于在晶片复合麦克风结构露出的层结构,膜,其允许根据本发明在一个标准的锯切过程中各组分的分离。
    • 4. 发明申请
    • HALBLEITERBAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR
    • 带麦克风的微观力学结构的半导体COMPONENT
    • WO2010139496A2
    • 2010-12-09
    • PCT/EP2010/054519
    • 2010-04-06
    • ROBERT BOSCH GMBHREICHENBACH, FrankBUCK, ThomasHOECHST, Arnim
    • REICHENBACH, FrankBUCK, ThomasHOECHST, Arnim
    • B81B3/00
    • B81B3/0008B81B2201/0257H04R19/005H04R19/016
    • Es wird eine einfache und kostengünstige Realisierungsform für ein Halbleiterbauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur vorgeschlagen, die eine akustisch aktive Membran (21) als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (22) als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators und Mittel zum Anlegen einer Ladespannung zwischen der auslenkbaren Elektrode (21) und der Gegenelektrode (22) des Mikrofonkondensators umfasst. Damit die Funktionsfähigkeit dieses Halbleiterbauelements auch durch Überlastsituationen, bei denen es zu einer Berührung zwischen Membran und Gegenelektrode kommt, nicht beeinträchtigt wird, sind die auslenkbare Elektrode (21) und die Gegenelektrode (22) des Mikrofonkondensators zumindest bereichsweise entgegengesetzt dotiert, so dass sie im Berührungsfall eine Diode bilden. Außerdem ist die Ladespannung zwischen der auslenkbaren Elektrode (21) und der Gegenelektrode (22) so gepolt, dass diese Diode in Sperrrichtung geschaltet ist.
    • 所以建议实现简单且廉价的形式为具有半导体器件的微机械麦克风结构,包括声学活性膜(21)作为麦克风电容器的偏转电极,固定声透射反元件(22)作为麦克风电容器的反电极以及用于将所述间施加充电电压 偏转电极(21)和所述麦克风电容器包括的对置电极(22)。 因此,该半导体器件的操作不受过载情况下,其中存在所述膜和所述对电极,所述偏转电极(21)和所述麦克风电容器的对置电极(22)之间的接触是在至少掺杂区域方式相反,以使它们在接触的情况下 形成二极管。 另外,偏转电极(21)和对置电极(22)之间的充电电压被偏振,使得所述二极管连接在相反的方向。
    • 9. 发明申请
    • A METHOD FOR DETECTING A VOLTAGE FAULT IN A SAFETY RELATED SYSTEM COMPRISING A PROGRAMMABLE DEVICE
    • 一种用于检测包含可编程设备的安全相关系统中的电压故障的方法
    • WO2011066857A1
    • 2011-06-09
    • PCT/EP2009/066298
    • 2009-12-03
    • ABB Research Ltd.REICHENBACH, FrankHANSEN, Kai
    • REICHENBACH, FrankHANSEN, Kai
    • G11C5/14
    • G11C5/14
    • The invention is a method for detecting a voltage fault in a safety related system comprising an electronically programmable device. In safety related systems operated according to recognised standards the safety related system must be constructed to return to a safe state if a serious or critical fault occurs. The inventive method comprises storing a first and a second failure identification value Failure − ID − 1 and Failure − ID − 2 in a reserved part of a non-volatile memory storage part of a programmable device. The values of the first and second Failure − IDs are configured prior to use, or with a factory default. After start up and during a shutdown a value of the first or second Failure − ID is over-written. Upon restart, a comparison (27) or (28) is carried out which determines whether the last shutdown of the device was normal or was due to a voltage fault. In other aspects of the invention a device and a computer program for carrying out the method are described.
    • 本发明是一种用于检测包括电子可编程装置的安全相关系统中的电压故障的方法。 在按照公认标准运行的安全相关系统中,如果发生严重或严重故障,安全相关系统必须构建为恢复到安全状态。 本发明的方法包括将第一和第二故障识别值Failure-ID-1和Failure-ID-2存储在可编程设备的非易失性存储器存储部分的保留部分中。 第一个和第二个Failure-ID的值在使用前配置,或者在出厂时默认配置。 在启动和关机后,第一个或第二个Failure-ID的值被覆盖。 在重新启动时,执行比较(27)或(28),其确定装置的最后关机是正常还是由于电压故障。 在本发明的其他方面,描述了用于执行该方法的设备和计算机程序。
    • 10. 发明申请
    • METHOD FOR REASSIGNING THE ROLE OF A WIRELESS NODE IN A WIRELESS NETWORK
    • 无线网络无线节点重新接入的方法
    • WO2012031945A1
    • 2012-03-15
    • PCT/EP2011/064909
    • 2011-08-30
    • ABB Research LtdORTEN, PalREICHENBACH, Frank
    • ORTEN, PalREICHENBACH, Frank
    • H04W84/18
    • H04W84/18H04W84/20
    • The invention is a method for maintaining network lifetime of a wireless network in wireless communication system, said network comprising a plurality of device nodes (A-C, Q, N'). Selected ones of the wireless nodes (A, B, C) have assigned roles (1,2,3, GW) in the wireless network. To improve and maintain network lifetime the method comprises determining (4, 14, 24) a below threshold operating condition of a first sensor node (A) assigned to a first role (1) and re-assigning (5, 19, 29) the first role to another second node (Q) in said network. In other aspects of the invention a method, system and a computer program for carrying out the method are described.
    • 本发明是一种在无线通信系统中维持无线网络的网络寿命的方法,所述网络包括多个设备节点(A-C,Q,N')。 无线节点(A,B,C)中的选定的节点已经在无线网络中分配了角色(1,2,3,GW)。 为了改善和维持网络寿命,该方法包括确定(4,14,24)分配给第一角色(1)的第一传感器节点(A)的低于阈值操作条件并重新分配(5,19,29) 所述网络中的另一第二节点(Q)的第一角色。 在本发明的其他方面,描述了用于执行该方法的方法,系统和计算机程序。