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1. 发明申请

WO2011051065A1 KOPPELFEDER FÜR DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译： KOPPEL弹簧旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2011051065A1
公开(公告)日：2011-05-05
申请号：PCT/EP2010/064321
申请日：2010-09-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , HEITZ, Markus , SATTLER, Robert , HAUER, Joerg , GAUGER, Christoph , BALSLINK, Thorsten
发明人： CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , HEITZ, Markus , SATTLER, Robert , HAUER, Joerg , GAUGER, Christoph , BALSLINK, Thorsten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem ersten und zweiten Corioliselement vorgeschlagen, wobei das erste Corioliselement zu einer ersten Schwingung parallel zu einer zur Haupterstreckungsebene parallelen ersten Achse anregbar ist, wobei eine Corioliskraft eine erste Auslenkung des ersten Corioliselements in Richtung einer im wesentlichen zur ersten Achse senkrechten zweiten Achse bewirkt, wobei das zweite Corioliselement parallel zur Haupterstreckungsebene neben dem ersten Corioliselement angeordnet ist, wobei das zweite Corioliselement zu einer zweiten Schwingung parallel zur ersten Achse anregbar ist, wobei eine Corioliskraft eine zweite Auslenkung des zweiten Corioliselements in Richtung der zweiten Achse bewirkt, wobei die Schwingungen des ersten und zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse einen Störeigenmode mit einer ersten Eigenfrequenz und einen Detektionseigenmode mit einer zweiten Eigenfrequenz aufweisen, wobei im Störeigenmode die Auslenkungen des ersten und des zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse gleichsinnig sind und wobei im Detektionseigenmode die Auslenkungen des ersten und des zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse gegensinnig sind, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Corioliselement über ein Koppelelement mit dem zweiten Corioliselement derart verbunden ist, dass die erste Eigenfrequenz größer ist als die zweite Eigenfrequenz, wobei das Koppelelement am Substrat angebunden ist.
摘要翻译：所以建议与主基底具有平面和第一和第二科里奥利旋转率传感器，其特征在于，所述第一科里奥利被激发到第一振荡平行于平行于所述第一轴线的主延伸平面的平面上的，一个科里奥利力的第一科里奥利的第一偏转朝向基本上使所述第一轴垂直于所述第二轴线，所述第二科里奥利被布置为平行于主平面邻近所述第一科里奥利，其中所述第二科里奥利平行于所述第一轴线的可受激的第二振荡，在方向上的第二科里奥利的第二偏转的方法，其中的科里奥利力第二轴线导致第一和第二Corioliselementes的振动包括平行于所述第二轴线具有第一固有频率一个Störeigenmode和检测本征模具有第二固有频率其中所述第一和第二Corioliselementes的偏转是平行于在Störeigenmode相同方向上的第二轴，并且其中所述第一和第二Corioliselementes的位移平行于在检测的本征模式相反的方向上的第二轴，其特征在于，所述第一科里奥利第二经由与联接元件科里奥利被连接，使得第一固有频率比第2共振频率，其中，所述耦合元件被附接到基板越大。

2. 发明申请

WO2009077263A1 DREHRATENSENSOR UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES DREHRATENSENSORS 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器和方法操作旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009077263A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/EP2008/065236
申请日：2008-11-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian
发明人： CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5755
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem ersten Coriolis-Element vorgeschlagen, wobei Anregungsmittel zur Schwingungsanregung des ersten Coriolis-Elements in einer ersten Richtung vorgesehen sind, wobei erste Detektionsmittel zur Detektion einer ersten Auslenkung des ersten Coriolis-Elements in einer zur ersten Richtung im Wesentlichen senkrechten dritten Richtung vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Coriolis-Element als Wippe ausgebildet ist.
摘要翻译：因此建议，包括基板和第一科里奥利元件的旋转率传感器，其特征在于，所述激励装置，用于在第一方向上设置在第一科里奥利元件的振动激发，所述第一检测装置，用于检测在第一方向上的第一科里奥利元件的第一位移基本上提供垂直第三方向，其特征在于，所述第一科里奥利元件设计为一个摇杆。

3. 发明申请

WO2009059639A1 DREHRATENSENSOR MIT ZWEI SENSITIVEN ACHSEN 审中-公开
标题翻译：与两个敏感轴的旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009059639A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/EP2007/062073
申请日：2007-11-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor mit einem Substrat (10), einem Lager (20), einer an dem Lager (20) mittels Federn (30) drehbeweglich zur Ausführung einer planaren Antriebsschwingungsbewegung aufgehängten Schwingstruktur (40) und Antriebsmitteln zum Erzeugen der planaren Antriebsschwingungsbewegung der Schwingstruktur (40). Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Drehratensensor erste Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer ersten Drehachse und zweite Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer zweiten Drehachse aufweist.
摘要翻译：本发明是基于在具有通过弹簧的基板（10），轴承（20），一个在轴承（20）（30）可旋转地悬挂用于进行平面驱动振荡运动的振荡结构（40），横摆率传感器和驱动装置，用于产生面状驱动振动运动的振动结构（40）。本发明的实质是，旋转速度传感器，其包括第一评估装置，用于在第一旋转轴线和第二评估检测旋转装置，用于以第二旋转轴检测旋转。

4. 发明申请

WO2003058166A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003058166A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/DE2002/003622
申请日：2002-09-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
发明人： WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei Anregungsmittel (12a, 13a, 12b, 13b) vorgesehen sind, durch die das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei Detektionsmittel (15a, 16a, 15b, 16b, 17) vorgesehen sind, durch die eine Auslenkung der Coriolis Elemente (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im senkrecht zu der ersten Achse vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats sind, wobei gegenüber dem Substrat zumindest teilweise beweglich vorgesehene Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) vorgesehen sind, wobei kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine statische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und wenigstens einem der Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) zu vermitteln.
摘要翻译：会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）被布置在衬底的表面上，所述（12A，13A，12B，13B）被提供激励装置通过该科里奥利元件（2A，2B）是可激发的振动平行于第一轴线（X），其中，设置检测装置（15A，16A，15B，16B，17）（由科里奥利元件2a的偏转，2B）由于在第二轴（Y），其在垂直设置于所述第一轴的科里奥利力，被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）是平行于衬底的表面上，相对于基板至少部分地可移动地设置传感器元件（1A，3B 1B，2A，2B，3A）被提供，所述力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）设置，所述基板之间的静态力和的Senso中的至少一个 relemente（1A，1B，2A，2B，3A，3B）通信。

5. 发明申请

WO2008015044A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008015044A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/EP2007/055597
申请日：2007-06-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
发明人： HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转）是。所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。

6. 发明申请

WO2003058167A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2003058167A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/DE2002/003624
申请日：2002-09-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
发明人： WILLIG, Rainer , FRANZ, Jochen , KUHLMANN, Burkhard , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , MAURER, Dieter , DOERING, Christian , BAUER, Wolfram , BISCHOF, Udo , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , LANG, Christoph , FREY, Jens
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b), über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei eine Auslenkung des Coriolis-Elements (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im wesentlichen senkrecht zu der ersten Achse (X) vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine dynamische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und dem Corioliselement (2a, 2b) zu vermitteln.
摘要翻译：会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）布置的基板，所述科里奥利元件的表面上（2A，2B）振荡平行于第一轴线（X）可被激发，其中，所述科里奥利元件的偏转（2A，2B）设置，由于科里奥利力在第二轴线（Y）基本上垂直于第一轴线（X），被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）被提供平行于基板的表面上，其特征在于，力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）被设置，动态力作用所述基板和所述科里奥利之间（2A，2B）来传达。

7. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

8. 发明申请

WO2008074538A1 BESCHLEUNIGUNGSSENSOR MIT KAMMELEKTRODEN 审中-公开
标题翻译：与梳状电极加速度传感器
公开(公告)号：WO2008074538A1
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：PCT/EP2007/061189
申请日：2007-10-19
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , CLASSEN, Johannes , HEITZ, Markus , BENNINI, Fouad
发明人： CLASSEN, Johannes , HEITZ, Markus , BENNINI, Fouad
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0814
摘要： Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensor mit mindestens einer auslenkbar mit einem Substrat (5) verbundenen seismischen Masse (1), mindestens einer fest mit dem Substrat (5) verbundenen Elektrode (11) und mindestens einer mit der seismischen Masse (1) verbundenen Elektrode (6), wobei die mindestens eine fest mit dem Substrat (5) verbundene Elektrode (11) und die mindestens eine mit der seismischen Masse (1) verbundenen Elektrode (6) als Kammelektroden (6, 11) mit parallel zur Auslenkrichtung der seismischen Masse (1) verlaufenden Lamellen (8, 13) ausgeführt sind, wobei sich die Lamellen (8, 13) beider Kammelektroden (6, 11) im Ruhezustand teilweise überlappen.
摘要翻译：（1）连接到电极本发明涉及一种连接到震动块（1）的微机械电容式加速度传感器，包括具有基板的至少一个可偏转的（5），连接的至少一个固定于所述基板（5）电极（11）和至少一个与所述振动质量（6），其中，所述电极的至少一个固定至（5）连接在所述基板（11）和所述至少一个应用于所述地震质量（1）连接到所述电极（6）和梳状电极（6，11）平行于所述振动质量的偏转方向（1）延伸的散热片（8,13）被设计，与两个梳状电极（6，11）在空闲状态部分地重叠的叶片（8，13）。

9. 发明申请

WO2010133394A1 SELBSTTEST FÜR DREHRATENSENSOREN 审中-公开
标题翻译： SELF TEST旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2010133394A1
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：PCT/EP2010/054479
申请日：2010-04-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BAUER, Wolfram , CLASSEN, Johannes , WILLIG, Rainer , MEIER, Matthias , KUHLMANN, Burkhard , REIMANN, Mathias , ESCH, Ermin , SCHWARZ, Hans-Dieter , VEITH, Michael , LANG, Christoph , GOMEZ, Udo-Martin
发明人： BAUER, Wolfram , CLASSEN, Johannes , WILLIG, Rainer , MEIER, Matthias , KUHLMANN, Burkhard , REIMANN, Mathias , ESCH, Ermin , SCHWARZ, Hans-Dieter , VEITH, Michael , LANG, Christoph , GOMEZ, Udo-Martin
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C25/00 , G01C19/56 , G01C19/5726
摘要： Ein Drehratensensor (10) umfasst eine bewegliche Massenstruktur (12) und eine Antriebskomponente (13), die dazu geeignet ist, die bewegliche Massenstruktur (12) in Bewegung (14) zu versetzen sowie eine Auswertekomponente (15), die dazu geeignet ist, eine Reaktion (40) der beweglichen Massenstruktur (12) auf eine Drehrate (Ω) zu erfassen. Ein Verfahren zur Funktionsprüfung eines Drehratensensors (10) umfasst folgende Schritte: Antreiben einer beweglichen Massenstruktur (12), Einspeisen eines Testsignals (42) in einen Quadraturregelkreis (44) an einem Einspeiseort (48) des Quadraturregelkreises (44), Rückführen eines Auslenkens (40) der beweglichen Massenstruktur (12), Erfassen eines Maßes des Rückführens der beweglichen Massenstruktur (12), Auslesen eines Antwortsignals (47) aus dem Quadraturregelkreis (44). Im Drehratensensor (10) wie auch im Verfahren ist das Auslesen des Antwortsignals (47) in Bezug auf eine Verarbeitungsrichtung (45) des Testsignals (42) zwischen einem Einspeiseort (48) für ein Testsignal (42) und einem Stellglied (38) zur Rückführung einer Auslenkung (40) der beweglichen Massenstruktur (12) vorgesehen.
摘要翻译：横摆率传感器（10）包括适于将可移动质量体结构（12），并且适于以置换在运动（14）的可动质量结构（12）的驱动部件（13）和一个评估组件（15）待检测的可动质量结构（12）以旋转（O）的速度的反应（40）。一种用于测试的横摆率传感器（10）的功能包括以下步骤的方法：驱动可移动质量体结构（12），进料在正交控制环（44）的进料位置（48）的正交控制环（44）的测试信号（42），返回一个铰接（40 ）运动质量块结构（12），检测在返回运动质量块结构（12），读出从正交控制环（44）的响应信号（47）的量。在角速度传感器（10），以及在此过程中是相对于用于一个测试信号（42）的进料位置（48）之间的测试信号（42）的处理方向（45）的响应信号（47）的用于返回的读取和致动器（38）运动质量块结构的偏转（40）（12）。

10. 发明申请

WO2009010355A2 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS 审中-公开
标题翻译：微机械结构和方法运行微机械部件
公开(公告)号：WO2009010355A2
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008/057553
申请日：2008-06-16
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , CLASSEN, Johannes
发明人： CLASSEN, Johannes
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2203/0136 , G01P15/125
摘要： Es wird ein mikromechanisches Bauelement und ein Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement eine Feststruktur und eine seismische Masse aufweist, wobei die Feststruktur erste Elektroden und die seismische Masse zweite Elektroden aufweist und wobei die seismische Masse gegenüber der Feststruktur in einer zur direkten Verbindungslinie der seismischen Masse mit der Feststruktur parallelen Hauptbewegungsrichtung in einer Haupterstreckungsebene der Feststruktur beweglich ist und wobei ferner in einer Ruhelage der seismischen Masse die ersten Elektroden und die zweiten Elektroden derart voneinander beabstandet sind, dass keine Überlappung der ersten Elektroden relativ zu den zweiten Elektroden in einer zur Hauptbewegungsrichtung senkrechten ersten Richtung in der Haupterstreckungsebene vorgesehen ist und lediglich in einem Auslenkungszustand eine derartige Überlappung entsteht.
摘要翻译：公开了一种微机械部件和用于操作微型机械装置的方法，该微机械部件具有实心结构和振动质量，其中第一电极的固体结构和振动质量具有第二电极，以及其中，所述地震质量相对的固定结构在用于直线振动质量连接到运动的固定结构平行的主方向是固定结构的主延伸平面中移动和进一步其中，所述第一电极和所述第二电极中的地震质量的静止位置相互间隔开的，没有首先相对于第二电极的电极中的重叠垂直于第一方向的主运动方向的方向在主延伸平面提供与仅在偏转状态下形成这样的重叠。

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