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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON STRUKTURIERTEN SINTERVERBINDUNGSSCHICHTEN UND HALBLEITERBAUELEMENT MIT STRUKTURIERTER SINTERVERBINDUNGSSCHICHT
    • WO2013004543A9
    • 2013-01-10
    • PCT/EP2012/062304
    • 2012-06-26
    • ROBERT BOSCH GMBHGUYENOT, MichaelGUENTHER, MichaelHERBOTH, Thomas
    • GUYENOT, MichaelGUENTHER, MichaelHERBOTH, Thomas
    • H01L23/492H01L23/373H01L21/60
    • Eine grundlegende Idee der Erfindung ist es, eine Sinterschichtverbindung zwischen einem Substrat (11) und einem Chip (13) herzustellen, die sowohl eine gute elektrische und thermische Anbindung zwischen dem Substrat (11) und dem Chip (13) herstellt als auch mechanische Spannungen im Chip (13) vermindert. Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Sinterschicht (12), mit den Schritten des strukturiertes Aufbringens einer Vielzahl von Sinterelementen (22a, 22b, 22c) aus einem die Sinterschicht (12) ausbildenden Ausgangsmaterial auf einer Kontaktfläche (21) einer Hauptoberfläche (11a) eines Substrats (11), des Anordnens eines mit dem Substrat (11) zu verbindenden Chips (13) auf den Sinterelementen (22a, 22b, 22c), und des Erhitzens und Komprimierens der Sinterelemente (22a, 22b, 22c) zum Herstellen einer das Substrat (11) und den Chip (13) verbindenden strukturierten Sinterschicht (12), welche sich innerhalb der Kontaktfläche (21) erstreckt, wobei die Flächenbelegungsdichte der Sinterelemente (22a, 22b, 22c) auf dem Substrat (11) in einem Mittelbereich (21a) der Kontaktfläche (21)größer ist als die Flächenbelegungsdichte der Sinterelemente (22a, 22b, 22c) in einem Randbereich (21c) der Kontaktfläche (21), und wobei von jedem der Sinterelemente (22a, 22b, 22c) mindestens ein lateral zur Hauptoberfläche (11a) des Substrats (11) verlaufender Durchgangskanal (23) zum Rand der Kontaktfläche (21) besteht. Es können im Mittelbereich (21a) der Kontaktfläche (21) ein großflächiges Sinterelement (22a) und in einem Randbereich (21c) der Kontaktfläche (21) eine Vielzahl von beispielsweise kreisförmigen Sinterelementen (22c) angeordnet sein. Die Sinterelemente (22a, 22b, 22c) können auch Einkerbungen (24) aufweisen. Die Erfindung betrifft auch eine entsprechende Vorrichtung (10, 10', 10").
    • 5. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERBUNDKÖRPERS MIT GESINTERTER FÜGESCHICHT UND SINTERVORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES DERARTIGEN VERBUNDKÖRPERS
    • 用于生产复合体烧结法添加图层和烧结设备技术这样的复合体的制造
    • WO2013102534A1
    • 2013-07-11
    • PCT/EP2012/075048
    • 2012-12-11
    • ROBERT BOSCH GMBHGUYENOT, Michael
    • GUYENOT, Michael
    • H01L21/60B30B5/02
    • B30B5/02H01L24/75H01L24/83H01L2221/68322H01L2224/29339H01L2224/32225H01L2224/7525H01L2224/75315H01L2224/75317H01L2224/755H01L2224/7598H01L2224/83005H01L2224/83209H01L2224/8384H01L2924/10253H01L2924/1305H01L2924/13055H01L2924/15787H01L2924/04642H01L2924/00014H01L2924/20104H01L2924/20105H01L2924/20106H01L2924/20107H01L2924/20108H01L2924/00
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundkörpers (10), insbesondere eines Verbundkörpers (10) zum Aufbau eines elektronischen Bauelements, der in einem fertiggestellten Zustand zumindest zwei stoffschlüssig miteinander verbundene Teilkörper (12, 14) umfasst, wobei der Stoffschluss durch zumindest eine in einer Fügerichtung (16) zwischen den Teilkörpern (12, 14) angeordnete Fügeschicht (18) herbeigeführt ist, die von einem gesinterten Werkstoff gebildet ist, gekennzeichnet durch folgende Schritte: a) Erstellen einer Anordnung der zumindest zwei Teilkörper (12, 14) und der in der Fügerichtung (16) zwischen den zumindest zwei Teilkörpern (12, 14) angeordneten, zumindest einen ungesinterten Fügeschicht (18) zu einem angeordneten Verbundkörper (10), b) Platzieren des angeordneten Verbundkörpers (10) in einen ersten Teilraum (36) einer im Wesentlichen gasdicht verschließbaren Sinterkammer (22) mit Kammerwänden (26) und einem im Wesentlichen gasundurchlässigen Raumteiler (32), der die Sinterkammer (22) in den ersten Teilraum (36) und zumindest einen zweiten Teilraum (38) aufteilt, in unmittelbarer Nähe des Raumteilers (32), wobei der Raumteiler (32) zumindest ein verformbares Teilelement (34) aufweist, dessen Position relativ zu den Kammerwänden (26) veränderbar ist, c) Herstellen einer positiven Raumdruckdifferenz zwischen dem zweiten Teilraum (38) und dem ersten Teilraum (36), und d) Erhitzen des angeordneten Verbundkörpers (10) zumindest bis auf eine als Sintertemperatur vorbestimmte Temperatur. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Sintervorrichtung zur Herstellung eines derartigen Verbund körpers (10).
    • 本发明涉及一种方法,用于建立一个电子设备,包括在成品状态生产复合体(10),特别是复合体(10),至少两个材料互连的子机构(12,14),所述织物闭的由至少 在布置在所述粘结层(18)的部分机构(12,14)之间的接合方向(16)所带来的,这是由烧结材料形成,其特征在于以下步骤:a)创建至少两个分体(12,14的阵列)和 在所述至少两个部分体之间的接合方向(16)(12,14)布置,至少一个非烧结接合层(18)排列的复合体(10),b)将所布置的复合体(10)(在第一部分中的空间36) 一基本上气密的密封的烧结室(22)具有腔室壁(26)和一个在本质上 烧结室(22)的n个不透气腔分隔(32)到第一部分空间(36)和至少一个第二隔室(38)被分割,在室内分频器(32)的紧邻处,所述腔分隔(32)(至少一个可变形的部分元件 34),其位置相对于所述室的壁(26)是可变的,c)制备第二隔室(38)和所述第一部分空间(36),以及d之间的正室压力差)加热该布置复合体(10)至少到 预定的温度作为烧结温度。 此外,本发明涉及一种用于制造这样的复合体(10)的烧结装置。