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1. 发明申请

WO2009000641A1 AKUSTISCHES SENSORELEMENT 审中-公开
标题翻译：声学传感器元
公开(公告)号：WO2009000641A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/EP2008/057211
申请日：2008-06-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , HOECHST, Arnim
发明人： FISCHER, Frank , HOECHST, Arnim
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04
CPC分类号： H04R19/04 , H04R19/005
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung werden einfache konstruktive Maßnahmen zur Verbesserung der Wandlereigenschaften eines mikromechanischen akustischen Sensorelements vorgeschlagen, das mindestens eine Membran (2) und mindestens ein feststehendes Gegenelement (3) umfasst, wobei die Membran (2) in einem Hohlraum (4) zwischen einem Substrat (1) und dem Gegenelement (3) angeordnet ist und als bewegliche Elektrode einer Kondensatoranordnung fungiert, wobei das Gegenelement (3) als erste feststehende Gegenelektrode dieser Kondensatoranordnung fungiert und wobei im Substrat (1) mindestens eine Durchgangsöffnung (6) zur Schalldruckbeaufschlagung der Membran (2) ausgebildet ist. Erfindungsgemäß ist das Gegenelement (3) zur Fixierung und Versteifung über mindestens ein Stützelement (7) mit dem Substrat (1) verbunden. Das Stützelement (7) ist im Bereich des Hohlraums (4) angeordnet und in der Membran(2) ist eine Öffnung (11) für das Stützelement (7) ausgebildet.
摘要翻译：与基材之间的本发明的简单的结构措施，以提高微机械声学传感器元件的转换特性，提出了一种包括至少一个膜（2）和至少一个固定的对立元件（3），其中，在空腔中的膜（2）（4）（1）和所述计数元件（3）被布置并充当电容器组件的可动电极，其特征在于，所述计数元件（3）可作为此电容器装置的第一固定相对的电极，以及其中，所述衬底（1）的至少一个通道开口（6），用于Schalldruckbeaufschlagung膜（ 2形成）。根据本发明，所述计数元件（3）被连接到至少一个的固定和加强支承元件（7）与所述衬底（1）。所述支撑元件（7）布置在所述腔体的区域（4）和在隔膜（2）是用于所述支撑元件（7）形成的开口（11）。

2. 发明申请

WO2005005943A1 SENSOR ZUR TEMPERATURÄNDERUNGS- ODER INFRAROT-DETEKTION 审中-公开
标题翻译：传感器温度率或红外探测
公开(公告)号：WO2005005943A1
公开(公告)日：2005-01-20
申请号：PCT/DE2004/001462
申请日：2004-07-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , BAER, Hans-Peter , METZGER, Lars , HOECHST, Arnim , SCHEUERER, Roland
发明人： FISCHER, Frank , BAER, Hans-Peter , METZGER, Lars , HOECHST, Arnim , SCHEUERER, Roland
IPC分类号： G01K7/02
CPC分类号： G01K7/028 , G01K7/186
摘要： Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Temperaturänderungs- oder Infrarot-Detektion, der insbesondere für einen Gassensor verwendbar ist, und ein Verfahren zu seiner Herstellung. Um einen sicheren und kostengünstigen Sensor mit geringen Herstellungskosten herzustellen, weist dieser auf: ein Substrat (2), einen in dem Substrat (2) ausgebildeten Freiraum (4), eine oberhalb des Freiraums (4) ausgebildete, freitragende Membran (5), eine sich in die Membran (5) erstreckende leitfähige Struktur (10, 14, 16), eine auf dem Substrat (2) ausgebildete Auswerteschaltung (7), die eine von der leitfähigen Struktur (10, 14, 16) ausgegebene Messspannung aufnimmt und ein Auswertesignal (S) ausgibt, wobei der Infrarot-Sensor (1) monolithisch integriert ist. Erfindungsgemäß können somit durch Ausbilden von z.B. aus Spacernitrid bestehenden Passivierungsschichten (9, 12) mit Löchern (6) auf dem Substrat (2) und Opferschichtätzen eines Freiraums (24) unter den Passivierungsschichten (9, 12) die Membran (5) mit der leitfähigen Struktur und die Auswerteschaltung (7) monolithisch integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及用于温度率或红外探测，这是用于气体传感器和其制备方法中特别有用的传感器。为了生产具有低制造成本的安全和廉价的传感器，后者具有：基板（2），形成一个在所述基板（2），清除率（4）形成一个上的可用空间（4）的顶部上，自支撑膜（5），一在膜（5）在基板上形成的一个延伸的导电结构（10，14，16）（2）评估电路（7），其接收所述导电结构中的一个（10，14，16）输出的测量电压和一个评估（S），其中，所述红外线传感器（1）是单片集成。根据本发明，因此，通过例如形成从Spacernitrid现有的钝化层（9，12）具有孔（6）的基板（2）和牺牲的自由空间（24）的钝化层（9，12）下，将膜（5）与所述导电结构和所述评估电路（7）被单片集成。

3. 发明申请

WO2007000363A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS SOWIE MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：用于生产微机械结构和微机械部件
公开(公告)号：WO2007000363A1
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/EP2006/061898
申请日：2006-04-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ARTMANN, Hans , URBAN, Andrea , HOECHST, Arnim
发明人： ARTMANN, Hans , URBAN, Andrea , HOECHST, Arnim
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00595 , B81B2203/0315 , Y10T428/24562
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisches Verfahren zur Herstellung einer Kaverne in einem Substrat beziehungsweise ein mit diesem Verfahren hergestelltes mikromechanisches Bauelement beschrieben. In diesem Verfahren wird in einem ersten Schritt eine erste Schicht auf oder in einem Substrat erzeugt. Anschließend wird auf die erste Schicht wenigstens eine zweite Schicht aufgebracht. In diese zweite Schicht wird ein Zugangsloch erzeugt. Durch dieses Zugangsloch kann Material der ersten Schicht und des Substrats herausgelöst werden, so dass eine Kaverne unterhalb wenigstens eines Teils der zweiten Schicht im Substrat erzeugt wird. Diese zweite Schicht oberhalb der Kaverne kann im folgenden als Membran verwendet werden. Darüber hinaus besteht jedoch auch die Möglichkeit, weitere Schichten auf die zweite Schicht abzuscheiden, die erst als ganzes die Membran bilden. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass das Material der ersten Schicht derart gewählt wird, dass durch das Herauslösen des Materials der ersten Schicht eine Übergangskante in der ersten Schicht erzeugt wird, die einen vorgebbaren Winkel zwischen dem Substrat und der zweiten Schicht aufweist.
摘要翻译：本发明中，将描述用于在衬底中或与该方法的微机械部件制造的产品制备的腔体的微机械加工。在该方法中，形成上或在第一工序中的基板的第一层。然后施加到所述第一层的至少一个第二层。在该第二层中的进入孔被产生。通过第一层和衬底的该访问孔材料可以被移除，从而在衬底上形成所述第二层的至少一个部分的下方的空腔。空腔上述该第二层可以以下面的作为膜使用。此外，然而，也可以沉积附加层到第二层，所述第一形式作为一个整体的膜。本发明的本质在于，第一层的材料被选择成使得一个过渡边缘通过具有所述基板和所述第二层之间限定的角度在第一层的材料的溶解在所述第一层中产生的。

4. 发明申请

WO2005077815A1 MIKROMECHANISCHER SENSOR 审中-公开
标题翻译：微机械传感器
公开(公告)号：WO2005077815A1
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：PCT/DE2004/002777
申请日：2004-12-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BAER, Hans-Peter , HOECHST, Arnim
发明人： BAER, Hans-Peter , HOECHST, Arnim
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00182 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/0353 , B81C2201/0178
摘要： Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor und eine Verfahren zu seiner Herstellung. Erfindungsgemäß wird eine sichere Membraneinspannung unabhängig von prozesstechnisch bedingten Schwankungen des Kavernenätzprozesses und eine freie Gestaltung der Membranform ermöglicht, indem eine geeignete Anbindung der Membran in einer durch lokale Oxidation erzeugten Oxidschicht ausgebildet wird. Der mikromechanischer Sensor weist mindestens auf: ein Substrat (1), eine in einem lateral äußeren Bereich (4) in dem Substrat (1) ausgebildete äußere Oxidschicht (9), eine in einem lateral inneren Membranbereich (5) ausgebildete Membran (15) mit mehreren Perforationslöchern (16), eine in das Substrat (1) unterhalb der Membran (15) geätzte Kaverne (14), wobei die Membran (15) in einem Aufhängungsbereich (10) der äußeren Oxidschicht (9) aufgehängt ist, der sich zu Anbindungspunkten (12) der Membran (15) hin verjüngt, und die Membran (15) in ihrer vertikalen Höhe zwischen einer Oberseite (17) und einer Unterseite (19) der äußeren Oxidschicht (9) angeordnet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械传感器，以及用于其生产的方法。根据本发明的一个安全的锥体悬浮液成为可能而不管Kavernenätzprozesses的工艺技术的波动和由所述膜的适当的连接将膜形式的自由设计形成在由局部氧化氧化物层中产生的。微机械传感器至少包括：一个衬底（1），一个在衬底中的横向外区域（4）（1）形成的外部氧化物层（9）形成一个在一个横向内膜区域（5）膜（15）的多个穿孔（16），一个在该膜下方的衬底（1）（15）被蚀刻腔体（14），所述外部氧化物层（9）的膜（15）（10）悬浮在悬浮区的连接点，隔膜（15）逐渐变细，并且在顶侧（17）和所述外部氧化物层（9）的底部（19）之间的其垂直水平的膜（15）根据（12）布置。

5. 发明申请

WO2010139496A2 HALBLEITERBAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：带麦克风的微观力学结构的半导体COMPONENT
公开(公告)号：WO2010139496A2
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/EP2010/054519
申请日：2010-04-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , REICHENBACH, Frank , BUCK, Thomas , HOECHST, Arnim
发明人： REICHENBACH, Frank , BUCK, Thomas , HOECHST, Arnim
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0008 , B81B2201/0257 , H04R19/005 , H04R19/016
摘要： Es wird eine einfache und kostengünstige Realisierungsform für ein Halbleiterbauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur vorgeschlagen, die eine akustisch aktive Membran (21) als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (22) als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators und Mittel zum Anlegen einer Ladespannung zwischen der auslenkbaren Elektrode (21) und der Gegenelektrode (22) des Mikrofonkondensators umfasst. Damit die Funktionsfähigkeit dieses Halbleiterbauelements auch durch Überlastsituationen, bei denen es zu einer Berührung zwischen Membran und Gegenelektrode kommt, nicht beeinträchtigt wird, sind die auslenkbare Elektrode (21) und die Gegenelektrode (22) des Mikrofonkondensators zumindest bereichsweise entgegengesetzt dotiert, so dass sie im Berührungsfall eine Diode bilden. Außerdem ist die Ladespannung zwischen der auslenkbaren Elektrode (21) und der Gegenelektrode (22) so gepolt, dass diese Diode in Sperrrichtung geschaltet ist.
摘要翻译：所以建议实现简单且廉价的形式为具有半导体器件的微机械麦克风结构，包括声学活性膜（21）作为麦克风电容器的偏转电极，固定声透射反元件（22）作为麦克风电容器的反电极以及用于将所述间施加充电电压偏转电极（21）和所述麦克风电容器包括的对置电极（22）。因此，该半导体器件的操作不受过载情况下，其中存在所述膜和所述对电极，所述偏转电极（21）和所述麦克风电容器的对置电极（22）之间的接触是在至少掺杂区域方式相反，以使它们在接触的情况下形成二极管。另外，偏转电极（21）和对置电极（22）之间的充电电压被偏振，使得所述二极管连接在相反的方向。

6. 发明申请

WO2010009934A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT RÜCKVOLUMEN 审中-公开
标题翻译：微机械部件带后VOLUME
公开(公告)号：WO2010009934A1
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：PCT/EP2009/056774
申请日：2009-06-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , REINMUTH, Jochen , SAETTLER, Michael , WEISS, Stefan , HOECHST, Arnim
发明人： REINMUTH, Jochen , SAETTLER, Michael , WEISS, Stefan , HOECHST, Arnim
IPC分类号： H04R19/00 , H04R31/00 , G01L9/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B2201/0257 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , B81C1/00047 , B81C1/00103 , H04R31/00
摘要： Die vorliegende Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Bauelements, bei dem ausgehend von einer Öffnung (215) in der Rückseite eines einkristallinen Halbleitersubstrats (200) ein Hohlraum (270) in dem Substrat erzeugt wird. Dabei wird der hierzu verwendete Prozess in Verbindung mit dem verwendeten einkristallinen Halbleitersubstrat derart gesteuert, dass ein weitestgehend rechteckiger Hohlraum entsteht.
摘要翻译：本发明描述了一种微机械部件和制造这种装置的方法，其中，从在一个单晶半导体衬底（200）的背面中的开口（215）开始，在基板中产生的空腔（270）。在这种情况下，用于此目的在与所使用的单晶半导体基板连接的过程中被控制，使得在很大程度上矩形的空腔形成。

7. 发明申请

WO2004027358A1 VORRICHTUNG ZUR WÄRMEDETEKTION UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译： DEVICE FOR热探测和程序
公开(公告)号：WO2004027358A1
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：PCT/DE2003/002791
申请日：2003-08-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BAER, Hans-Peter , HOECHST, Arnim
发明人： BAER, Hans-Peter , HOECHST, Arnim
IPC分类号： G01J5/52
CPC分类号： G01J5/524 , G01J5/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren vorgeschlagen, wobei ein wärmesensierendes Element (1) eine Absorberschicht (3) aufweist, welche elektrisch leitend vorgesehen ist.
摘要翻译：它提出了一种装置和方法，其中一个wärmesensierendes元件（1）包括吸收层（3），其是导电的提供。

8. 发明申请

WO2019060021A1 MEMS MICROPHONE SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2019060021A1
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：PCT/US2018/040002
申请日：2018-06-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HERMS, Christoph , GEHL, Bernhard , HOECHST, Arnim , MEISEL, Daniel , DOLLER, Andrew , ZHANG, Yujie , HATIPOGLU, Gokhan
发明人： HERMS, Christoph , GEHL, Bernhard , HOECHST, Arnim , MEISEL, Daniel , DOLLER, Andrew , ZHANG, Yujie , HATIPOGLU, Gokhan
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00
摘要： A MEMS microphone includes a substrate, a lower membrane supported on the substrate, an upper membrane suspended above the lower membrane, a first electrode supported on the lower membrane, and a second electrode supported on the upper membrane. The lower membrane and the upper membrane enclose a cavity in which the first electrode and the second electrode are located. The lower membrane and the upper membrane are each formed of silicon carbonitride (SiCN). The first electrode and the second electrode are each formed of polysilicon.

9. 发明申请

WO2007147663A1 SENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：传感器和方法用于生产
公开(公告)号：WO2007147663A1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/EP2007/053932
申请日：2007-04-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , ARMBRUSTER, Simon , SCHELLING, Christoph , HOECHST, Arnim , FEYH, Ando
发明人： BENZEL, Hubert , ARMBRUSTER, Simon , SCHELLING, Christoph , HOECHST, Arnim , FEYH, Ando
IPC分类号： B81B3/00 , G01J5/10 , G01K7/01
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2201/0278 , B81B2203/0109 , B81B2207/015 , B81C2201/0109 , G01J5/06 , G01J5/20
摘要： Die Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere zur ortsaufgelösten Detektion, der aufweist ein Substrat (1), mindestens ein mikrostrukturiertes Sensorelement (52) mit einer ihren Wert temperaturabhängig ändernden elektrischen Eigenschaft, und mindestens einer Membran (36.1) oberhalb einer Kaverne (26, 74, 94), wobei das Sensorelement (52) an der Unterseite der mindestens einen Membran (36.1) angeordnet ist, und wobei das Sensorelement (52) über Zuleitungen (60, 62; 98-1, 98-2, 100-1, 100-2) kontaktiert sind, die in, auf oder unter der Membran (36.1) verlaufen. Es können insbesondere mehrere Sensorelemente (52) als Diodenpixel in einer monokristallinen, durch Epitaxie ausgebildeten Schicht ausgebildet sein. In der Membran (36.1) können Aufhängefedern (70) ausgebildet sein, die die einzelnen Sensorelemente (52) elastisch und isolierend aufnehmen.
摘要翻译：本发明涉及一种传感器，特别是用于空间分辨的检测，其包括衬底（1），至少具有一个其值的微结构化的传感器元件（52）依赖于温度变化的电特性，和至少一个膜片（36.1）的空腔（26，74的上方， 94），其中所述传感器元件（52）布置在所述至少一个膜（36.1）的下侧上，并且其中，经由电源线传感器元件（52）（60，62; 98-1，98-2，100-1，100- 由2接触），其运行在上或隔膜（36.1）下。它可以是，可以形成特别是多个传感器元件（52），如在通过外延生长层形成的单晶二极管像素。在膜（36.1）可以被接收的单独的传感器元件（52）（70）弹性地和绝缘形成悬挂弹簧。

10. 发明申请

WO2019060021A8 MEMS MICROPHONE SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2019060021A8
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：PCT/US2018/040002
申请日：2018-06-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HERMS, Christoph , GEHL, Bernhard , HOECHST, Arnim , MEISEL, Daniel , DOLLER, Andrew , ZHANG, Yujie , HATIPOGLU, Gokhan
发明人： HERMS, Christoph , GEHL, Bernhard , HOECHST, Arnim , MEISEL, Daniel , DOLLER, Andrew , ZHANG, Yujie , HATIPOGLU, Gokhan
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00
摘要： A MEMS microphone includes a substrate, a lower membrane supported on the substrate, an upper membrane suspended above the lower membrane, a first electrode supported on the lower membrane, and a second electrode supported on the upper membrane. The lower membrane and the upper membrane enclose a cavity in which the first electrode and the second electrode are located. The lower membrane and the upper membrane are each formed of silicon carbonitride (SiCN). The first electrode and the second electrode are each formed of polysilicon.

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