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1. 发明申请

WO2009000641A1 AKUSTISCHES SENSORELEMENT 审中-公开
标题翻译：声学传感器元
公开(公告)号：WO2009000641A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/EP2008/057211
申请日：2008-06-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , HOECHST, Arnim
发明人： FISCHER, Frank , HOECHST, Arnim
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04
CPC分类号： H04R19/04 , H04R19/005
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung werden einfache konstruktive Maßnahmen zur Verbesserung der Wandlereigenschaften eines mikromechanischen akustischen Sensorelements vorgeschlagen, das mindestens eine Membran (2) und mindestens ein feststehendes Gegenelement (3) umfasst, wobei die Membran (2) in einem Hohlraum (4) zwischen einem Substrat (1) und dem Gegenelement (3) angeordnet ist und als bewegliche Elektrode einer Kondensatoranordnung fungiert, wobei das Gegenelement (3) als erste feststehende Gegenelektrode dieser Kondensatoranordnung fungiert und wobei im Substrat (1) mindestens eine Durchgangsöffnung (6) zur Schalldruckbeaufschlagung der Membran (2) ausgebildet ist. Erfindungsgemäß ist das Gegenelement (3) zur Fixierung und Versteifung über mindestens ein Stützelement (7) mit dem Substrat (1) verbunden. Das Stützelement (7) ist im Bereich des Hohlraums (4) angeordnet und in der Membran(2) ist eine Öffnung (11) für das Stützelement (7) ausgebildet.
摘要翻译：与基材之间的本发明的简单的结构措施，以提高微机械声学传感器元件的转换特性，提出了一种包括至少一个膜（2）和至少一个固定的对立元件（3），其中，在空腔中的膜（2）（4）（1）和所述计数元件（3）被布置并充当电容器组件的可动电极，其特征在于，所述计数元件（3）可作为此电容器装置的第一固定相对的电极，以及其中，所述衬底（1）的至少一个通道开口（6），用于Schalldruckbeaufschlagung膜（ 2形成）。根据本发明，所述计数元件（3）被连接到至少一个的固定和加强支承元件（7）与所述衬底（1）。所述支撑元件（7）布置在所述腔体的区域（4）和在隔膜（2）是用于所述支撑元件（7）形成的开口（11）。

2. 发明申请

WO2005005943A1 SENSOR ZUR TEMPERATURÄNDERUNGS- ODER INFRAROT-DETEKTION 审中-公开
标题翻译：传感器温度率或红外探测
公开(公告)号：WO2005005943A1
公开(公告)日：2005-01-20
申请号：PCT/DE2004/001462
申请日：2004-07-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , BAER, Hans-Peter , METZGER, Lars , HOECHST, Arnim , SCHEUERER, Roland
发明人： FISCHER, Frank , BAER, Hans-Peter , METZGER, Lars , HOECHST, Arnim , SCHEUERER, Roland
IPC分类号： G01K7/02
CPC分类号： G01K7/028 , G01K7/186
摘要： Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Temperaturänderungs- oder Infrarot-Detektion, der insbesondere für einen Gassensor verwendbar ist, und ein Verfahren zu seiner Herstellung. Um einen sicheren und kostengünstigen Sensor mit geringen Herstellungskosten herzustellen, weist dieser auf: ein Substrat (2), einen in dem Substrat (2) ausgebildeten Freiraum (4), eine oberhalb des Freiraums (4) ausgebildete, freitragende Membran (5), eine sich in die Membran (5) erstreckende leitfähige Struktur (10, 14, 16), eine auf dem Substrat (2) ausgebildete Auswerteschaltung (7), die eine von der leitfähigen Struktur (10, 14, 16) ausgegebene Messspannung aufnimmt und ein Auswertesignal (S) ausgibt, wobei der Infrarot-Sensor (1) monolithisch integriert ist. Erfindungsgemäß können somit durch Ausbilden von z.B. aus Spacernitrid bestehenden Passivierungsschichten (9, 12) mit Löchern (6) auf dem Substrat (2) und Opferschichtätzen eines Freiraums (24) unter den Passivierungsschichten (9, 12) die Membran (5) mit der leitfähigen Struktur und die Auswerteschaltung (7) monolithisch integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及用于温度率或红外探测，这是用于气体传感器和其制备方法中特别有用的传感器。为了生产具有低制造成本的安全和廉价的传感器，后者具有：基板（2），形成一个在所述基板（2），清除率（4）形成一个上的可用空间（4）的顶部上，自支撑膜（5），一在膜（5）在基板上形成的一个延伸的导电结构（10，14，16）（2）评估电路（7），其接收所述导电结构中的一个（10，14，16）输出的测量电压和一个评估（S），其中，所述红外线传感器（1）是单片集成。根据本发明，因此，通过例如形成从Spacernitrid现有的钝化层（9，12）具有孔（6）的基板（2）和牺牲的自由空间（24）的钝化层（9，12）下，将膜（5）与所述导电结构和所述评估电路（7）被单片集成。

3. 发明申请

WO2009010353A2 BAUELEMENT MIT WENIGSTENS EINEM HALBLEITERSUBSTRAT MIT EINER INTEGRIERTEN ELEKTRISCHEN SCHALTUNG 审中-公开
标题翻译：具有集成电路的至少一个半导体衬底的组件
公开(公告)号：WO2009010353A2
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008/057523
申请日：2008-06-16
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BRUEGGENOLTE, Christoph , KUEMMEL, Thomas , FISCHER, Frank
发明人： BRUEGGENOLTE, Christoph , KUEMMEL, Thomas , FISCHER, Frank
IPC分类号： H01L23/34
CPC分类号： H01L23/345 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Bauelement (1) mit wenigstens einem Halbleitersubstrat (5, 6) mit einer integrierten elektrischen Schaltung. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß das Bauelement (1) wenigstens ein elektrisches Heizelement (4) zum Beheizen der integrierten elektrischen Schaltung aufweist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Bestimmen wenigstens einer temperaturabhängigen Funktion eines Bauelements (1) mit wenigstens einem Halbleitersubstrat (5, 6) mit einer integrierten elektrischen Schaltung. Das Verfahren weist die Verfahrensschritte auf, daß bei wenigstens zwei unterschiedlichen Temperaturen des Bauelements (1) dessen temperaturabhängige Funktion bestimmt wird, und daß wenigstens eine der zwei unterschiedlichen Temperaturen des Bauelements (1) durch Eigenerwärmung des Bauelements (1) erzeugt wird.
摘要翻译：本发明基于具有至少一个具有集成电路的半导体衬底（5,6）的组件（1）。发明的本质是？部件（1）具有至少一个用于加热集成电路的电加热元件（4）。本发明还涉及一种用于确定具有至少一个具有集成电路的半导体衬底（5,6）的组件（1）的至少一个温度相关功能的方法。该方法包括方法步骤，da＆gt; 至少两个不同温度的组分（1），其温度相关函数被确定，并且da 部件（1）的两个不同温度中的至少一个通过部件（1）的自加热产生，

4. 发明申请

WO2004070338A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械部件与方法研究
公开(公告)号：WO2004070338A1
公开(公告)日：2004-08-19
申请号：PCT/DE2003/003151
申请日：2003-09-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LUTZ, Markus , FISCHER, Frank
发明人： LUTZ, Markus , FISCHER, Frank
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0042 , B81B3/0081 , B81B2201/0264 , B81B2201/032 , B81B2203/0127 , B81B2203/0384 , B81C2201/0108
摘要： Auf einem Substrat (1) ist eine Epitaxieschicht (3, 5) mit nebeneinander aufgewachsenem mono- und polykristallinen Silizium abgeschieden, wobei durch Ätzung ein Bereich (5, 6) als vertikal auslenkbare polykristalline Membran, insbesondere für einen Drucksensor, freigelegt ist. Die Poly/Mono Übergangsbereiche zu beiden Seiten der Membran weisen jeweils ein schräges Profil auf, derart, dass sich das monokristalline Silizium in Form eines Überhangs (6) oberhalb des polykristallinen Siliziums in den Membran-Bereich (5, 6) hinein erstreckt. Im Überhang (6) sind Piezoelemente (10) implantiert.
摘要翻译：在基板（1）是外延层（3，5）与相邻的生长单晶硅和多晶硅沉积，通过蚀刻的区域（5,6），其为垂直偏转的多晶膜，特别是用于一个压力传感器被暴露。在隔膜两侧的聚/单声道过渡区域各自具有倾斜轮廓，使得在膜区域中的多晶硅上方的突出端（6）的形式的单晶硅（5,6）延伸。在突出端（6）的压电元件（10）被注入。

5. 发明申请

WO2003027002A3 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE STRUKTUR 审中-公开
公开(公告)号：WO2003027002A3
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：PCT/DE2002/002111
申请日：2002-06-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , METZGER, Lars
发明人： FISCHER, Frank , METZGER, Lars
IPC分类号： B81B3/00
摘要： Die Erfindung schafft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Struktur mit den Schritten: Bereitstellen einer mikromechanischen Struktur mit einem ersten mikromechanischen Strukturelement (MS) aus einem ersten Material und einem zweiten mikromechanischen Strukturelement (OS) aus einem zweiten Material; Leiten eines gasförmigen Ätzmediums (G) über die mikromechanische Struktur, wobei das Ätzmedium (G) derart beschaffen ist, dass es in einem ersten Temperaturbereich oberhalb Raumtemperatur selektiv das zweite Material gegenüber dem ersten Material ätzt; und Bringen der mikromechanischen Struktur in den ersten Temperaturbereich zum selektiven Ätzen des zweiten Materials gegenüber dem ersten Material.

6. 发明申请

WO2011113636A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DETEKTION EINER BLOCKIERUNG ODER SCHWERGÄNGIGKEIT EINES GLEICHSTROMMOTORS 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用于阻止检测或不平顺性直流电机
公开(公告)号：WO2011113636A1
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：PCT/EP2011/050995
申请日：2011-01-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MALICH, Thomas , LURK, Volker , VAN GOETHEM, Jan , ROOS, Gerald , HABERL, Nikolas , HOFACKER, Daniel , FISCHER, Frank , PODDEY, Christian , STIEFEL, Tobias , KOERNER, Michael
发明人： MALICH, Thomas , LURK, Volker , VAN GOETHEM, Jan , ROOS, Gerald , HABERL, Nikolas , HOFACKER, Daniel , FISCHER, Frank , PODDEY, Christian , STIEFEL, Tobias , KOERNER, Michael
IPC分类号： G01R31/34 , H02P29/02
CPC分类号： G01R31/343 , H02P29/0241 , H02P29/028 , H02P29/032 , Y10S388/903
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Detektieren einer Blockierung oder einer Schwergängigkeit (M 1 , M 3 ) eines Gleichstrommotors (2). Das Verfahren umfasst folgende Schritte: - Anlegen eines Spannungsimpulses (U v, t = O s ) an den Gleichstrommotor (2); - Überwachen eines durch den Gleichstrommotor (2) fließenden Motorstroms (I Motor ); - Feststellen eines Maximalwerts des Motorstroms (I Motor ) nach dem Anlegen des Spannungsimpulses; - Überprüfen, ob eine Änderung des Motorstroms (I Motor ) nach Erreichen des Maximalwerts einen bestimmten Betrag überschreitet; - Signalisieren der Blockierung oder der Schwergängigkeit (M 1 , M 3 ) des Gleichstrommotors (2), wenn die Änderung des Motorstroms (I Motor ) nach Erreichen des Maximalwerts den bestimmten Betrag überschreitet.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于检测堵塞或直流电动机（2）的结合（M1，M3）。该方法包括以下步骤： - 施加电压脉冲（UV，T = OS）向直流电动机（2）; - 由直流马达监视（2）中流动的电动机电流（IMOTOR）; - 检测所述电压脉冲的施加后的电机电流（IMOTOR）的最大值; - 检查是否在电动机电流（IMOTOR）的变化，在达到最大值后超过一定量; - 信令阻挡或DC电机的结合（M1，M3）（2）时达到最大值后的电机电流（IMOTOR）的变化超过一定量。

7. 发明申请

WO2009149770A1 TRAGBARE VORRICHTUNG MIT WARNSYSTEM UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：有警告的系统和方法便携式设备
公开(公告)号：WO2009149770A1
公开(公告)日：2009-12-17
申请号：PCT/EP2008/066608
申请日：2008-12-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank
发明人： FISCHER, Frank
IPC分类号： G08B21/02 , G08G1/005 , G08G1/16
CPC分类号： G08G1/16 , G08G1/005 , G08G1/166
摘要： Die Erfindung betrifft eine tragbare Vorrichtung (1) zum Darstellen von Informationen, insbesondere Mobiltelefon, mit einer Anzeige (2) zum Ausgeben von Bild- oder Textinformationen, mit einem Detektionssystem (5), mit einer Ausgabeeinheit (11), wobei das Detektionssystem ausgebildet ist, um ein Annähern der tragbaren Vorrichtung an ein Objekt zu erkennen, wobei bei einer vorgegebenen Annäherung an das Objekt, insbesondere bei einem festgelegten Abstand mit der Ausgabeeinheit ein Warnsignal ausgebbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种便携式设备（1）用于呈现的信息，特别是移动电话，具有（2），用于输出的图像或文字信息的显示，与检测系统（5），具有输出部（11），其中所述检测系统被布置在输出到输出部的警告信号可以输出一个固定的距离，以检测便携式装置的接近到一个对象，其特征在于，在预定的接近对象时，尤其如此。

8. 发明申请

WO2006063885A1 VERFAHREN ZUM BILDEN EINES GRABENS IN EINER MIKROSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：制法沟渠所述的微结构
公开(公告)号：WO2006063885A1
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：PCT/EP2005/055298
申请日：2005-10-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , BAUMANN, Helmut , METZGER, Lars , DUENN, Christoph , SCHMITZ, Volker , ULBRICH, Nicolaus
发明人： FISCHER, Frank , BAUMANN, Helmut , METZGER, Lars , DUENN, Christoph , SCHMITZ, Volker , ULBRICH, Nicolaus
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00626 , B81B2203/033 , B81C1/00063 , B81C2201/014
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bilden eines Grabens definierter Breite in einer Mikrostruktur auf einem Substrat, mit folgenden Schritten: a) Aufbringen einer Opferschicht (6) auf das Substrat (1) zumindest im Bereich des zu bildenden Grabens; b) Aufbringen einer Hilfsschicht (7); c) Vorsehen eines Durchlasses im Bereich des zu bildenden Grabens durch die Hilfsschicht (7); d) Aufbringen einer Strukturschicht (11), in der die Mikrostruktur ausgebildet werden soll; e) Einbringen eines Begrenzungsgrabens (12) in die Strukturschicht (11), der die seitliche Begrenzung des zu bildenden Grabens definiert, wobei der Begrenzungsgraben (12) einen Block aus der Strukturschicht (11) definiert, wobei die Tiefe des Begrenzungsgrabens (12) im wesentlichen zumindest bis zur Hilfsschicht reicht; f) Aufbringen einer Schutzschicht (13) auf eine Seitenwand und eine Oberfläche des Blocks der Strukturschicht (11), so dass der Block der Strukturschicht (11) von der äußeren Umgebung vollständig durch die Schutzschicht (13) getrennt ist; g) Ausführen eines Ätzverfahrens, das selektiv durch den Begrenzungsgraben (12) die Hilfsschicht (7) und die Opferschicht (6) entfernt und das, nachdem die Opferschicht (6) im Bereich des Durchlasses (9a, 9b) entfernt worden ist, durch den Durchlass (9a, 9b) in der Hilfsschicht (7) den Block aus der Strukturschicht (11) entfernt, so dass lediglich die Schutzschicht (13) stehen bleibt; h) Entfernen der Schutzschicht (13), so dass der Graben gebildet wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在一个基片上的微结构形成沟槽限定的宽度的方法，包括以下步骤：a）（6）在衬底上沉积牺牲层（1）至少在与形成沟槽的区域; b）将辅助层（7）; c）提供一个通道，该区域的形成通过辅助层（7）的沟槽; d）将结构层（11），其中的微观结构将被形成; E）将限定的横向边界形成沟槽，其中所述限制沟槽（12）限定所述结构层（11），其中所述边界的深度的一个块中的限位槽（12）（在结构层11）的沟槽（12）基本上至少到该辅助层的范围; F）施加在侧壁的保护层（13）和所述结构层（11）的所述块的表面上，以便从完全与外部环境的结构层（11）的块（通过保护层13）分开; 克）由限制槽12）进行蚀刻工艺选择性地（除去，辅助层（7）和所述牺牲层（6），并且，在所述通道（9a的区域中的牺牲层（6）之后，9B）已被除去通路（9A，9B）在辅助层（7）的结构层的块（11）被去除残留，使得仅在保护层（13）; 1H）去除保护层（13），从而形成所述沟槽。

9. 发明申请

WO2004026760A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：装置和方法
公开(公告)号：WO2004026760A2
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：PCT/DE2003/000629
申请日：2003-02-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , METZGER, Lars , FISCHER, Frank
发明人： METZGER, Lars , FISCHER, Frank
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00611 , B81B2203/033 , B81C2201/0112 , B81C2201/0119 , G01P15/0802
摘要： Es wird eine Vorrichtung mit einer mikromechanischen Struktur und ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem eine vergleichsweise glatte Oberfläche (60) einer Abdeckschicht (50) auf mit Ätzrillen behafteten Wänden (20) der Struktur vorgesehen ist.
摘要翻译：建议用的微机械结构的装置和在其上设置有相对光滑的表面（60）的覆盖层（50）上受折磨的与该结构的光栅槽壁（20）的方法。

10. 发明申请

WO2003106328A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2003106328A3
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：PCT/DE2003/000552
申请日：2003-02-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NUECHTER, Wolfgang , FISCHER, Frank , HAAG, Frieder , GRAF, Eckhard
发明人： NUECHTER, Wolfgang , FISCHER, Frank , HAAG, Frieder , GRAF, Eckhard
IPC分类号： H01L23/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit einem auf eine Unterlage (15a-e) montierten Chip (18;18ae), welcher einen gegenüber seiner Umgebung erhöhten, verkappten Chipbereich (19; 19a-e) und einen in der Umgebung des verkappten Chipbereichs (19; 19a-e) vorgesehenen Montagebereich (9) aufweist; wobei der Chip (18;18a-e) mittels einer Montageeinrichtung (16), welche mit dem Montagebereich (9) verbunden ist, derart auf der Unterlage (15a-e) montiert ist, dass der verkappte Chipbereich (19; 19a-e) zur Unterlage (15a-e) weist und davon beabstandet ist; und der verkappte Chipbereich (19; 19a-e) von einer Unterfüllung (20) unter dem Chip (18;18a-e) umgeben ist. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.

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