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    • 2. 发明申请
    • SENSOR ZUR BESTIMMUNG WENIGSTENS EINES PARAMETERS EINES DURCH EINEN MESSKANAL STRÖMENDEN FLUIDEN MEDIUMS
    • 传感器,用于确定至少一个测量通道的参数流动的流体介质
    • WO2016165866A1
    • 2016-10-20
    • PCT/EP2016/053938
    • 2016-02-25
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • SOMMER, EddaHAAG, Axel-WernerKONZELMANN, UweHERRMANN, ReinholdMARKOV, AlexanderBEYRICH, Hans
    • G01F1/68
    • G01F1/6847F02D41/18F02M35/10386G01F1/68G01F1/6842G01F5/00
    • Es wird ein Sensor (10) zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Messkanal (30) strömenden fluiden Mediums, insbesondere eines Ansaugluftmassenstroms einer Brennkraftmaschine, vorgeschlagen. Der Sensor (10) weist ein Sensorgehäuse (12), insbesondere einen in ein Strömungsrohr eingebrachten oder einbringbaren Steckfühler, in dem der Messkanal (30) ausgebildet ist, und mindestens einen in dem Messkanal (30) angeordneten Sensorchip (42) zur Bestimmung des Parameters des fluiden Mediums auf. Das Sensorgehäuse (12) weist einen Elektronikraum (18) zur Aufnahme eines Elektronikmoduls (38) und einen Elektronikraumdeckel (20) zum Verschließen des Elektronikraums (18) auf. Der Elektronikraumdeckel (20) weist zumindest teilweise elektrisch leitfähige Eigenschaften auf. Das Elektronikmodul (38) ist mit einem Inneren (54) des Elektronikraumdeckels (20) elektrisch leitfähig verbunden.
    • 有用于通过通道(30)流动的流体介质,特别是Ansaugluftmassenstroms内燃机,提出确定测量中的至少一个参数的传感器(10)。 所述传感器(10)包括传感器壳体(12),特别是在一个流管或可插入插入式传感器,其中,所述测量通道(30),用于确定所述参数形成,并且设置在至少一个在测量通道(30)的传感器芯片(42)引入一 在流体介质。 传感器壳体(12)包括用于容纳电子模块(38)和电子器件隔室盖(20),用于密封所述电子器件隔室(18)的电子隔室(18)。 电子室盖(20)具有至少部分地导电的性质。 所述电子模块(38)被导电地连接到电子室盖(20)的内部(54)。
    • 3. 发明申请
    • SENSORVORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG WENIGSTENS EINER EIGENSCHAFT EINES IN EINEM KANAL STRÖMENDEN FLUIDEN MEDIUMS
    • 传感器装置,用于检测至少一种性能的渠道在一个流动的流体介质
    • WO2014206629A1
    • 2014-12-31
    • PCT/EP2014/059767
    • 2014-05-13
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • UNGER, HolgerKONZELMANN, UweWAGNER, UlrichEPPLER, MichaelSANCHO DE CASTRO, Manuel BlasSOMMER, Edda
    • G01F1/684G01F15/14G01F15/18
    • G01F15/14F02D41/187F02M35/10386G01F1/684G01F5/00G01F15/185
    • Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Erfassung wenigstens einer Eigenschaft eines in einem Kanal strömenden fluiden Mediums, wobei die Sensorvorrichtung ein von einem fluiden Medium durchströmbares Kanalstück (110) mit einem Einlass (111) und mit einem Auslass (112) umfasst sowie eine Kanalstückwand (116), welche eine den Einlass (111) und den Auslass (112) verbindende Innenwandung (117) und eine Außenseite (118) aufweist. Das Kanalstück 110 umfasst weiterhin eine in der Kanalstückwand (116) angeordnete Einführöffnung (112), wobei das Kanalstück (110) Bereiche mit elektrischer Leitfähigkeit aufweist. Die Sensorvorrichtung (100) umfasst weiterhin wenigstens einen Sensor (120) mit einem Sensorgehäuse (126) und ein im Sensorgehäuse (126) angeordnetes Sensorelement (122), wobei das Sensorgehäuse (126) durch die in der Kanalstückwand (116) angeordnete Einführöffnung (113) in das Kanalstück (110) einführbar ist und wobei das Sensorelement (122) dem strömenden fluiden Medium aussetzbar ist, wobei das Sensorelement (122) geeignet ist, wenigstens eine Eigenschaft des strömenden fluiden Mediums zu erfassen. Um einer Ablagerung von geladenen Partikeln auf dem Sensorelement (122) entgegenzuwirken ist vorgesehen, dass die gesamte Kanalstückwand (116) des Kanalstücks (110) vollständig aus elektrisch leitfähigem Kunststoff (200) gebildet ist, wobei die Kanalstückwand (116) auf festen elektrischen Potenzial (POT, GND) liegt.
    • 本发明涉及一种传感器装置用于在通道中的流体介质,其中,所述传感器装置包括由具有入口(111)和出口(112)和信道件壁的流体介质通道(110)流过检测流动的中的至少一个属性(116 )具有入口(111)和连接所述内壁(117)和外侧(118)的出口(112)。 布置在所述通道件的壁中的通道件110层进一步包括(116)的插入开口(112),所述具有导电性的信道(110),其具有的区域。 所述的传感器装置(100)还包括具有传感器外壳(126)和所述传感器壳体(126)布置的传感器元件(122),其中,在所述通道件壁(116)的传感器外壳(126)由设置插入开口的至少一个传感器(120)(113 )可插入到所述通道件(110),并且其中所述传感器元件(122)可以被暴露于流动的流体介质,其中,所述传感器元件(122)适于检测流动的流体介质的至少一个特性。 为了抵消所述传感器元件(122)上的带电粒子的沉积提供,该通道件(110)的整个信道件壁(116)完全由导电塑料材料(200)的形成,其特征在于,所述通道件的壁(116)(在固定的电势 POT,GND)。
    • 4. 发明申请
    • SENSOR ZUR BESTIMMUNG WENIGSTENS EINES PARAMETERS EINES DURCH EINEN MESSKANAL STRÖMENDEN FLUIDEN MEDIUMS
    • 传感器,用于确定至少一个测量通道的参数流动的流体介质
    • WO2016165868A1
    • 2016-10-20
    • PCT/EP2016/054206
    • 2016-02-29
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • KONZELMANN, UweSOMMER, EddaMARKOV, Alexander
    • G01F1/684G01F15/12
    • G01F1/6842G01F1/692G01F15/12
    • Es wird ein Sensor (10) zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Messkanal (30) strömenden fluiden Mediums, insbesondere eines Ansaugluftmassenstroms einer Brennkraftmaschine, vorgeschlagen. Der Sensor (10) weist ein Sensorgehäuse (12), insbesondere einen in ein Strömungsrohr eingebrachten oder einbringbaren Steckfühler, in dem der Messkanal (30) ausgebildet ist, und mindestens einen in dem Messkanal (30) angeordneten Sensorchip (42) zur Bestimmung des Parameters des fluiden Mediums auf. Das Sensorgehäuse (12) weist mehrere Kanalwände (54, 56, 58, 60) auf, die den Messkanal (30) begrenzen. Der Sensorchip (42) ist auf einem Sensorträger (40) angeordnet. Zumindest im Bereich des Sensorträgers (40) weisen mindestens eine erste Kanalwand (54) der mehreren Kanalwände (54, 56, 58, 60) und eine zweite Kanalwand (56) der mehreren Kanalwände (54, 56, 58, 60), die sich von der ersten Kanalwand (54) unterscheidet, oder der Sensorträger (40) zumindest teilweise magnetische Eigenschaften auf.
    • 有用于通过通道(30)流动的流体介质,特别是Ansaugluftmassenstroms内燃机,提出确定测量中的至少一个参数的传感器(10)。 所述传感器(10)包括传感器壳体(12),特别是在一个流管或可插入插入式传感器,其中,所述测量通道(30),用于确定所述参数形成,并且设置在至少一个在测量通道(30)的传感器芯片(42)引入一 在流体介质。 传感器壳体(12)具有多个通道壁(54,56,58,60),其限制所述测量通道(30)的。 传感器芯片(42)被布置在传感器载体(40)上。 在传感器载体(40)的区域中至少有所述多个通道壁(54,56,58,60)和多个通道壁(54,56,58,60)中的第二信道壁(56)的延伸的至少一个第一通道壁(54) 第一槽壁(54)是不同的,或者在传感器载体(40)至少部分的磁特性。
    • 5. 发明申请
    • INFRAROT-SENSORVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INFRAROT-SENSORVORRICHTUNG
    • 红外线传感器及其制造方法红外线传感器
    • WO2013171020A1
    • 2013-11-21
    • PCT/EP2013/058134
    • 2013-04-19
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • HERRMANN, IngoSOMMER, EddaSCHELLING, ChristophRETTIG, ChristianHATTASS, Mirko
    • H01L27/146G01J5/20
    • H01L27/14649G01J5/20G01J2005/0048G01J2005/067H01L27/14609H01L27/14629H01L27/14636H01L27/1467H01L27/14685H01L31/028
    • Die Erfindung schlägt eine Infrarot-Sensorvorrichtung (100;200;300) vor, aufweisendein Halbleitersubstrat (1), wenigstens ein im Halbleitersubstrat (1) mikromechanisch ausgebildetes Sensorelement (2), und wenigstens ein im Halbleitersubstrat (1) mikromechanisch ausgebildetes Kalibrierungselement (3) für das Sensorelement (2), wobei auf dem Halbleitersubstrat (1) im Bereich des Sensorelements (2) und des Kalibrierungselements (3) Absorbermaterial (6) angeordnet ist, wobei im Halbleitersubstrat (1) im Wesentlichen unterhalb des Sensorelements (2) und im Wesentlichen unterhalb des Kalibrierungselements (3) jeweils eine Kaverne (8) ausgebildet ist, wobei mittels der Kavernen (8) das Sensorelement (2) und das Kalibrierungselement (3) vom übrigen Halbleitersubstrat (1) thermisch und elektrisch getrennt sind. Dadurch wird für die Infrarot-Sensorvorrichtung eine hohe Sensitivität, eine Kalibrierungsfunktionalität für das Sensorelement und eine hohes Signal-Rauschverhältnis erreicht.
    • 本发明提出一种红外线传感器装置(100; 200; 300)之前comprisinga半导体衬底(1),至少一个在所述半导体衬底(1)微机械形成传感器元件(2),并且在半导体基板的至少一个(1)微机械形成校准元件(3) 用于传感器元件(2),其中所述半导体衬底(1)上的传感器元件(2)和校准元件的区域(3)的吸收材料(6)设置,其中,在所述半导体衬底(1)基本上是在传感器元件(2)下方,并在 在每种情况下基本上形成的校准元件(3)下方的空腔(8),其中,由所述腔体的装置(8),所述传感器元件(2)和从所述半导体衬底(1)的其余部分的校准元件(3)被热和电分离。 因此,高灵敏度,对于传感器元件的校准功能和高的信噪比为红外线传感器装置来实现。