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1. 发明申请

WO2012104387A1 LECKSUCHEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：泄漏检测设备
公开(公告)号：WO2012104387A1
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：PCT/EP2012/051795
申请日：2012-02-02
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , WERKER, Sascha
发明人： BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , WERKER, Sascha
IPC分类号： G01M3/20 , F04D19/04 , F04D25/16
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/044 , F04D19/046
摘要： Eine Lecksucheinrichtung weist eine mit einer Prüfkammer (42) über eine Testgasleitung (48) verbundene Vorvakuumpumpe auf. Ferner ist eine Hochvakuumpumpe (10) vorgesehen, an deren Einlass (36) ein Testgasdetektor (38) angeordnet ist Der Auslass (34) ist mit der Vorvakuumpumpe (40) verbunden. Die Testgasleitung (44) ist zur Grobuntersuchung des Gegenstandes über eine Verbindungsleitung (48) mit einem zwischen dem Einlass (36) und dem Auslass (34) der Hochvakuumpumpe (10) angeordnetem Zwischenbereich (50) verbunden. Ein sich vom Zwischenbereichs (50) zum Einlass (36) erstreckender Gegenströmungsweg des Testgases ist hierbei kürzer als der Hauptströmungsweg vom Einlass (36) zum Auslass (34) der Hochvakuumpumpe (10). Ferner ist in der Verbindungsleitung (48) eine Gas-Entspannungseinrichtung (44) zur Entspannung des Testgases auf einen Druck angeordnet, der an das interne Druckniveau und Saugvermögen der Hochvakuumpumpe (10) im Zwischenbereich (50) angepasst ist.
摘要翻译：的泄漏检测装置具备经由测试气体管线（48）的测试室（42）连接的前级泵。也是一个高真空泵（10）设置，在其入口（36），测试气体检测器（38）与所述前级泵（40）设置在所述出口（34）。试验气体管线（44）连接到所述物体的通过与所述入口（36）和高真空泵（10）的所述出口（34）之间的连接线（48）的肉眼检查设置中间部分（50）。从延伸到试验气体Gegenströmungsweg的入口（36）的中间部分（50）甲这里比从所述入口（36）连接到高真空泵（10）的所述出口（34）的主流程短。另外，一个气体膨胀装置（44），用于在所述连接线（48）被布置在压力在中间区域中的高真空泵（10）的内部压力水平和泵送速度的测试气体的膨胀（50）被适配。

2. 发明申请

WO2014173961A1 ABDICHTUNG DER SCHNITTSTELLE ZWISCHEN EINER MULTI-INLET- VAKUUMPUMPE UND DEM GEHÄUSE, IN DAS DIE PUMPE EINGESCHOBEN WIRD 审中-公开
标题翻译：封口之间的多INLET-真空泵，从而以蠕动同意推迟情况下，接口
公开(公告)号：WO2014173961A1
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：PCT/EP2014/058255
申请日：2014-04-23
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , VEIT, Axel
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/08 , F04D29/60
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/083 , F04D29/601
摘要： Eine Untersuchungseinrichtung wie beispielsweise ein Massenspektrometer weist mehrere, insbesondere in Reihe angeordnete Vakuumkammern (12, 14, 6, 18, 20, 22) auf. In einem Einrichtungsgehäuse (10) ist eine Einschubausnehmung (28) vorgesehen, in die eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe (30) einschiebbar ist. Zur Verbesserung der Dichtigkeit im Bereich von Zwischeneinlässen (56, 58, 60, 62) sind Dichtflächenpaare (70, 72) vorgesehen, die im Wesentlichen senkrecht zu einer Pumpenlängsachse (74) verlaufen.
摘要翻译：的检查装置如质谱仪具有多个，特别地，设置成与所述真空室（12，14，6，18，20，22）串联连接。在装置外壳（10）具有一个插入凹槽（28）被提供，在其中一个多入口型真空泵（30）可被插入。为了提高在Zwischeneinlässen（56，58,60，62）的范围内的紧密度被密封设置（70,72）表面对基本上垂直于所述泵（74）的纵向轴线运行。

3. 发明申请

WO2008151979A1 TURBOMOLEKULARPUMPE 审中-公开
标题翻译：涡轮分子泵
公开(公告)号：WO2008151979A1
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：PCT/EP2008/056991
申请日：2008-06-05
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , SCHNEIDERS, Robert , HENRY, Markus , WALTER, Gerhard Wilhelm
发明人： SCHNEIDERS, Robert , HENRY, Markus , WALTER, Gerhard Wilhelm
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70 , H01J49/26
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/70
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe (12) mit einer kreisförmigen Ansaugöffnung (16) distal einer Eingangsrotorstufe (18). Die Ansaugöffnung (16) weist mindestens zwei voneinander getrennte Öffnungsausschnitte (41,42,43) auf.
摘要翻译：本发明涉及一种涡轮分子远端泵（12）与输入转子级（18）的圆形抽吸开口（16）。吸入口（16）具有至少两个分开的开口的切口（41,42,43）。

4. 发明公开

EP2153070A1 TURBOMOLEKULARPUMPE 审中-公开
公开(公告)号：EP2153070A1
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：EP08760568.9
申请日：2008-06-05
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： SCHNEIDERS, Robert , HENRY, Markus , WALTER, Gerhard Wilhelm
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70 , H01J49/26
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/70
摘要： The invention relates to a turbomolecular pump (12) with a circular suction opening (16) distal from an inlet rotor stage (18). The suction opening (16) has at least two opening sections (41,42,43) separated from each other.
摘要翻译：本发明涉及具有远离入口转子级（18）的圆形抽吸开口（16）的涡轮分子泵（12）。吸入口（16）具有至少两个彼此分开的开口部分（41,42,43）。

5. 发明授权

EP2671060B1 LECKSUCHEINRICHTUNG 有权转让
标题翻译：泄漏检测设备
公开(公告)号：EP2671060B1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：EP12702818.1
申请日：2012-02-02
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , WERKER, Sascha
IPC分类号： G01M3/20 , F04D19/04 , F04D25/16
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/044 , F04D19/046

6. 发明公开

EP2671060A1 LECKSUCHEINRICHTUNG 有权转让
公开(公告)号：EP2671060A1
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：EP12702818.1
申请日：2012-02-02
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
发明人： BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , WERKER, Sascha
IPC分类号： G01M3/20 , F04D19/04 , F04D25/16
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/044 , F04D19/046
摘要： A leakage search device has a backing pump connected to a test chamber (42) via a test gas line (48). Furthermore provided is a high-vacuum pump (10), at the inlet (36) of which a test gas detector (38) is arranged. The outlet (34) is connected to the backing pump (40). The test gas line (44) is connected, via a connecting line (48), to an intermediate region (50) arranged between the inlet (36) and the outlet (34) of the high-vacuum pump (10) for a non-detailed investigation of the object. A counter-flow path of the test gas, which extends from the intermediate region (50) to the inlet (36) is here shorter than the main flow path from the inlet (36) to the outlet (34) of the high-vacuum pump (10). Furthermore, a gas expansion device (44) for expanding the test gas to a pressure that is matched to the internal pressure level and suction capability of the high-vacuum pump (10) in the intermediate region (50) is arranged in the connecting line (48).

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