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1. 发明申请

WO2012104387A1 LECKSUCHEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：泄漏检测设备
公开(公告)号：WO2012104387A1
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：PCT/EP2012/051795
申请日：2012-02-02
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , WERKER, Sascha
发明人： BEYER, Christian , SCHNEIDERS, Robert , WERKER, Sascha
IPC分类号： G01M3/20 , F04D19/04 , F04D25/16
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/044 , F04D19/046
摘要： Eine Lecksucheinrichtung weist eine mit einer Prüfkammer (42) über eine Testgasleitung (48) verbundene Vorvakuumpumpe auf. Ferner ist eine Hochvakuumpumpe (10) vorgesehen, an deren Einlass (36) ein Testgasdetektor (38) angeordnet ist Der Auslass (34) ist mit der Vorvakuumpumpe (40) verbunden. Die Testgasleitung (44) ist zur Grobuntersuchung des Gegenstandes über eine Verbindungsleitung (48) mit einem zwischen dem Einlass (36) und dem Auslass (34) der Hochvakuumpumpe (10) angeordnetem Zwischenbereich (50) verbunden. Ein sich vom Zwischenbereichs (50) zum Einlass (36) erstreckender Gegenströmungsweg des Testgases ist hierbei kürzer als der Hauptströmungsweg vom Einlass (36) zum Auslass (34) der Hochvakuumpumpe (10). Ferner ist in der Verbindungsleitung (48) eine Gas-Entspannungseinrichtung (44) zur Entspannung des Testgases auf einen Druck angeordnet, der an das interne Druckniveau und Saugvermögen der Hochvakuumpumpe (10) im Zwischenbereich (50) angepasst ist.
摘要翻译：的泄漏检测装置具备经由测试气体管线（48）的测试室（42）连接的前级泵。也是一个高真空泵（10）设置，在其入口（36），测试气体检测器（38）与所述前级泵（40）设置在所述出口（34）。试验气体管线（44）连接到所述物体的通过与所述入口（36）和高真空泵（10）的所述出口（34）之间的连接线（48）的肉眼检查设置中间部分（50）。从延伸到试验气体Gegenströmungsweg的入口（36）的中间部分（50）甲这里比从所述入口（36）连接到高真空泵（10）的所述出口（34）的主流程短。另外，一个气体膨胀装置（44），用于在所述连接线（48）被布置在压力在中间区域中的高真空泵（10）的内部压力水平和泵送速度的测试气体的膨胀（50）被适配。

2. 发明申请

WO2011124595A1 VAKUUMLAGERELEMENT 审中-公开
标题翻译：真空存储元件
公开(公告)号：WO2011124595A1
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：PCT/EP2011/055325
申请日：2011-04-06
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HÖLZER, Rainer , STÜBER, Hans-Günther , BEYER, Christian
发明人： HÖLZER, Rainer , STÜBER, Hans-Günther , BEYER, Christian
IPC分类号： F16C33/38 , F16C33/66
CPC分类号： F16C33/6614 , F16C19/06 , F16C33/3837 , F16C33/3887 , F16C2300/62 , F16C2360/45
摘要： Bei Turbomolekularpumpen, die durch mechanische Wälzlager gelagerte Rotoren aufweisen, ist die Lebensdauer häufig durch die Wälzlager begrenzt. Zur Erhöhung der Lebensdauer der Wälzlager ist erfindungsgemäß ein Lagerkäfig (12) vorgesehen, der zusätzlich zu den Öffnungen (14), die zur Aufnahme von Wälzkörpern dienen, Ausnehmungen (18) zur Schmiermittelbereitstellung aufweist. Die Ausnehmungen sind zumindest teilweise in Richtung der Wälzkörper-Öffnung offen.
摘要翻译：在涡轮分子泵具有由机械轴承支撑的转子，所述寿命往往是由滚动轴承的限制。为了提高滚动轴承的寿命是除了其中用于容纳滚动体中的开口（14）的轴承保持架（12），凹部（18）本发明提供了具有该润滑脂供给。凹部是至少在滚动元件开口的方向部分地打开。

3. 发明申请

WO2010105908A1 MULTI-INLET-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多入口型真空泵
公开(公告)号：WO2010105908A1
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/EP2010/052698
申请日：2010-03-03
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz , BEYER, Christian
发明人： HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz , BEYER, Christian
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/52
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/522 , F05B2250/501
摘要： Eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe weist eine erste Pumpeinrichtung (10) und eine zweite Pumpeinrichtung (12) auf. Die erste Pumpeinrichtung (10) weist ein erstes Rotorelement (18) mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20, 21) auf. Die zweite Rotorscheibe weist ein zweites Rotorelement (26) mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28) auf. Durch einen Haupteinlass (32) wird ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12) gefördert. Durch einen Zwischeneinlass (38) wird ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert. Erfindungsgemäß entspricht der Durchmesser der letzten Rotorscheibe (21) der ersten Pumpe (10) im Wesentlichen dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12).
摘要翻译：多入口真空泵具有第一泵压装置（10）和第二泵装置（12）。所述第一泵送装置（10）包括具有多个在输送（36），被布置相互第一转子盘的后面（20，21）的方向上的第一转子部件（18）。第二转子盘包括具有多个在输送（36）的方向上布置一个接一个第二转子盘（28）的第二转子部件（26）。由主入口（32）吸入从第一泵装置（10）的第一流体流（34）和在第二泵装置（12）的方向输送。通过中间入口（38）被吸入，所述第二泵压装置和在泵出口的方向输送来自第二流体流（40）。根据本发明的最后一个转子盘（21）的直径对应于第一泵（10）基本上到第二泵装置（12）的所述第一转子盘（28）的直径。

4. 发明申请

WO2009127483A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2009127483A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2009/052997
申请日：2009-03-13
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , GREVEN, Alois , BEYER, Christian
发明人： GREVEN, Alois , BEYER, Christian
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00 , F04D29/32 , G06K19/067
CPC分类号： F04D27/001 , F04D19/042 , F04D29/32
摘要： Die Vakuumpumpe weist einen Pumpenstator (10) und einen Pumpenrotor (11) auf. Der Pumpenrotor (11) enthält einen Transponder (14), der über einen Reader (12) des Pumpenstators auslesbar ist. Der Pumpenrotor (11) enthält fernern einen Identitätsschutzspeicher (25), in dem eine Rotorinformation gespeichert ist. Eine Steuereinheit (20) bewirkt, dass der Motor (21) der Vakuumpumpe nur dann laufen kann, wenn der betreffende Pumpenrotor (11) zugelassen ist und zu dem Pumpenstator (10) passt. Dadurch wird die Verwendung unzulässiger (kopierter) Rotoren vermieden. Außerdem wird sichergestellt, dass die Pumpenrotoren bei einer Wartung nicht vertauscht werden können und Rotoren bis zum Ende der Gebrauchszeit schadensfrei betrieben werden können bzw. der Verbrauch der Lebensdauer signalisiert wird.
摘要翻译：真空泵具有泵定子（10）和泵转子（11）。泵转子（11）包括应答器（14）经由泵定子的读取器（12）读出。泵转子（11），包括其中的转子信息存储在Ferner身份保护存储器（25）。使控制单元（20），即真空泵的电机（21），只有当各自的泵转子（11）被允许，而在水泵定子配合（10）上运行。因此，避免使用未授权的（复制）转子。它还确保维护期间，泵转子不互换和转子可以在不使用到或生活消费用信号的周期结束时损坏操作。

5. 发明申请

WO2008151968A3 MASSENSPEKTROMETER-ANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2008151968A3
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：PCT/EP2008/056848
申请日：2008-06-03
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HENRY, Markus , BEYER, Christian
发明人： HENRY, Markus , BEYER, Christian
IPC分类号： H01J49/24
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Massenspektrometer-Anordnung (10) mit einem Gehäuse (86) mit einer Massenspektrometer-Vorvakuum-Vakuumkammer (20), die einen Massenspektrometer-Vorvakuum-Auslass (30), mindestens zwei Massenspektrometer-Hochvakuum-Vakuumkammern (21, 22, 23) und eine mit den Hochvakuum-Vakuumkammem (21, 22, 23) verbundene integrierte Turbomolekularpumpe (12) aufweist, die einen Vorvakuum-Auslass (89) aufweist. Die beiden Vorvakuum-Auslässe (30, 89) münden in einen gemeinsamen Vorvakuumraum (98) in dem Gehäuse (86), der in einen Gehäuse-Auslass (88) mündet.

6. 发明申请

WO2009133106A1 VAKUUMPUMPE SOWIE VERFAHREN ZUM REINIGEN VON VAKUUMPUMPEN 审中-公开
标题翻译：真空泵和方法清洁真空
公开(公告)号：WO2009133106A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2009/055132
申请日：2009-04-28
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BUHLMANN, Klaus , BEYER, Christian
发明人： BUHLMANN, Klaus , BEYER, Christian
IPC分类号： F04C29/00 , F04D19/04 , F04D29/70 , B08B3/12
CPC分类号： F04D29/701 , B08B3/12 , B08B9/08 , B08B2209/005 , F04C29/0092 , F04D19/042
摘要： Eine Vakuumpumpe weist einen Schöpfraum ( 12) auf, in dem mehrere Pumpelemente (14) angeordnet sind. Der Schöpfraum (12) ist mit einem Behälter (28) zur Aufnahme einer Reinigungsflussigkeit verbunden. Über Schallgeneratoren (34, 36, 40) können zur Reinigung der Pumpeeiemente (14) und/ oder einer Innenwand (46) des Schöpfraums ( 12) Schallwellen erzeugt werden. Gemäß eines erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt das Einbringen der Schallwellen, nachdem der Schöpfraum (12) insbesondere vollständig mit Reinigungsflussigkeit befüllt wurde.
摘要翻译：真空泵具有其中多个泵元件（14）被布置成一个泵室（12）。吸入室（12）被连接到用于接收清洗流体的容器（28）。可以用于通过声音发生器（34，36，40）清洗Pumpeeiemente（14）和/或抽吸腔室的内壁（46）（12）的声波来产生。根据本发明的方法，引入声波发生吸入室（12）后是尤其完全填充有清洁液。

7. 发明申请

WO2013007432A1 LECKSUCHEINRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUM ÜBERPRÜFEN VON GEGENSTÄNDEN AUF DICHTIGKEIT MITTELS EINER LECKSUCHEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：泄漏检测装置及方法对于对象的导通电阻测试由泄漏检测装置
公开(公告)号：WO2013007432A1
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/EP2012/059288
申请日：2012-05-18
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , WALTER, Gerhard Wilhelm , HOLSTEIN, Guenter , BEYER, Christian
发明人： WALTER, Gerhard Wilhelm , HOLSTEIN, Guenter , BEYER, Christian
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/02 , G01M3/202
摘要： Eine Lecksucheinrichtung weist eine Prüfkammer (10) auf, die zur Evakuierung mit einer Evakuierungs-Pumpeinrichtung (14) verbunden ist. Ferner ist die Prüfkammer (10) über eine Testgasleitung (20) mit einer Testgas-Pumpeinrichtung (18) verbunden. Die Testgas-Pumpeinrichtung (18) ist an ihrem Haupteinlass (28) mit einem Testgasdetektor (30) verbunden, so dass eine Detektion von Testgas im Gegenströmprinzip erfolgen kann. In der Testgasleitung (20) ist eine Ventileinrichtung (38) angeordnet. Diese weist eine Testgaskammer (44) zum Zwischenspeichern von aus der Prüfkammer (10) entnommenem Testgas auf.
摘要翻译：的泄漏检测装置具有测试室（10），具有抽空泵装置（14）被连接在疏散。此外，经由测试气体管线（20）与测试气体汲取装置（18）的测试室（10）连接。该测试气体汲取装置（18）被连接在主入口（28）与测试气体检测器（30），从而使所述测试气体的检测可以在Gegenströmprinzip进行。在试验气体管线（20）的阀装置（38）被布置。这包括用于从所述测试室（10）entnommenem测试气体缓冲测试气体室（44）。

8. 发明申请

WO2009127656A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2009127656A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2009/054461
申请日：2009-04-15
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , GREVEN, Alois , BEYER, Christian
发明人： GREVEN, Alois , BEYER, Christian
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00 , F04D29/32 , G08C17/00
CPC分类号： F04D19/042 , F04D27/001 , F04D29/32 , H04Q9/00 , H04Q2209/47
摘要： Die Vakuumpumpe weist einen Pumpenstator (10) und einen Pumpenrotor (11) auf. Der Pumpenrotor (11) enthält einen Transponder (14), der über einen Reader des Pumpenstators auslesbar ist. Der Pumpenrotor (11) enthält ferner Sensoren (26) zur Ermittlung von Betriebsdaten (BD) und einen Speicher (27). Der Speicher (27) speichert entweder eine Historie der gemessenen Betriebsdaten (BD) oder eine Lebensdauerkennzahl (LDK). Auf diese Weise wird der Verschleißgrad des jeweiligen Rotors ermittelt und in dem Rotor gespeichert. Somit enthält der Rotor sämtliche wartungsrelevanten Informationen. Auch wenn der Rotor in eine andere Vakuumpumpe eingesetzt wird, bleibt die rotorbezogene Information in ihm enthalten.
摘要翻译：真空泵具有泵定子（10）和泵转子（11）。泵转子（11）包括应答器（14）经由泵定子的读取器读出。泵转子（11）还包括用于确定操作数据（BD）和存储器（27）的传感器（26）。所述存储器（27）任一存储测量的运行数据（BD）或寿命特性（LDK）的历史。以这种方式，相应的转子的磨损程度被确定并存储在所述转子。因此，转子包括所有维护相关信息。即使转子被放置在另一个真空泵，转子相关的信息被包含在其中。

9. 发明申请

WO2010097384A2 MULTI-INLET-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多入口型真空泵
公开(公告)号：WO2010097384A2
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/EP2010/052282
申请日：2010-02-23
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BEYER, Christian , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz
发明人： BEYER, Christian , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046 , F04D19/042
摘要： Die Multi-Inlet-Vakuumpumpe weist eine ersten Pumpeinrichtung (10), mit einem ersten Rotorelement (18), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20), sowie eine zweiten Pumpeinrichtung (12) mit einem zweiten Rotorelement (26), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28) auf, wobei der Durchmesser der zweiten Rotorscheiben (28) zumindest teilweise größer ist, als der Durchmesser der ersten Rotorscheiben (20). Ferner weist die Nulti-Inlet-Vakuumpumpe einem Haupteinlass (32) durch den ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung ( 12) gefördert wird, auf. Ebenso weist die Pumpe einen Zwischeneinlass (38) durch den ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung (12) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird, auf. Ein Vereinen der beiden Fluidströme (34, 40) erfolgt innerhalb der zweiten Pumpeinrichtung (12) insbesondere zwischen zwei benachbarten zweiten Rotorscheiben (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12).
摘要翻译：多入口真空泵具有第一泵压装置（10）包括具有多个在输送方向彼此相邻排列的第一转子盘（20）的后面具有第二转子部件上的第一转子部件（18），（36），和第二泵装置（12）（26 ），具有多个（在输送方向36）布置为一个在另一个之后第二转子盘（28），其特征在于，所述第二转子盘（28）的直径至少比所述第一转子盘（20）的直径部分地更大。此外，Nulti入口真空泵通过其从第一泵装置（10）和朝向所述第二泵装置（12）吸入的第一流体流（34）被输送上的主入口（32）。同样地，泵具有通过其从所述第二泵压装置的第二流体流（40）（12）被吸入，并在上泵出口的方向输送的中间入口（38）。 A中的两个流体流（34，40）发生在所述第二泵压装置（12），尤其是组合第二泵装置（12）的两个相邻的第二转子盘（28）之间。

10. 发明申请

WO2010072568A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2010072568A1
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：PCT/EP2009/066741
申请日：2009-12-09
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BEYER, Christian , KLINGNER, Peter , KRIECHEL, Hans
发明人： BEYER, Christian , KLINGNER, Peter , KRIECHEL, Hans
IPC分类号： F04D17/16 , F04D19/04
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/044
摘要： Eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Holweck-Vakuumpumpe handelt, weist ein Pumpengehäuse (34) auf, in dem ein Rotorelement (24, 36) angeordnet ist. Das Rotorelement weist mindestens zwei zueinander konzentrisch angeordnete, rohrförmige Förderelemente (24) auf, die mit einem scheibenförmigen Halteelement (36) verbunden sind. Zwischen zwei benachbarten Förderelementen (24) ist ein Statorelement (26) angeordnet. Erfindungsgemäß ist durch das Statorelement ein einziger schraubenlinienförmiger Kanal (28) ausgebildet.
摘要翻译：所述的真空泵，其中，特别地，一个霍尔威克真空泵具有泵壳体（34）布置在其中一个转子元件（24，36）。转子元件包括至少两个相互同心地布置的管状输送元件被连接到盘形保持元件（36）（24）。之间的两个相邻输送元件（24）布置在定子（26）。单个螺旋通道（28）根据由定子形成的本发明。

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