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    • 3. 发明专利
    • ダイシング・ダイボンディングフィルム
    • 定影/贴膜
    • JP2015005636A
    • 2015-01-08
    • JP2013130272
    • 2013-06-21
    • 日東電工株式会社Nitto Denko Corp
    • KIMURA TAKEHIROMISUMI SADAHITOONISHI KENJISUGAO YUKISHISHIDO YUICHIRO
    • H01L21/301
    • H01L2224/45124H01L2224/45144H01L2224/45147H01L2224/48091H01L2224/73265H01L2924/181H01L2924/00H01L2924/00012H01L2924/00014
    • 【課題】ダイシングブレードの切れ味の低下を抑制できるとともに、ヒゲの発生を抑制できるダイシング・ダイボンディングフィルムを提供する。【解決手段】接着剤層3に厚さ100μmのウェハ4を貼り合わせた状態で、第1のダイシングブレードが切り込み深さ50μmでウェハを100m切り込んだ後、第1のダイシングブレードの切り込みに沿って、第2のダイシングブレードが少なくとも粘着剤層2に達する切り込み深さでウェハ及び接着剤層を100m切断したときの第2のダイシングブレードの摩耗量が20〜200μmであり、第2のダイシングブレードの幅は、第1のダイシングブレードのド幅より小さく、第1のダイシングブレードによる切り込み形成条件が、速度50mm/sec、回転数40000rpmであり、第2のダイシングブレードによる切断条件が、速度50mm/sec、回転数45000rpmである。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制切割刀的锐度劣化并且还能够抑制晶须的发生的切割/芯片接合薄膜。解决方案:第二切割刀片的磨损量为20-200μm,当 第一切割刀片将切片深度为50μm的厚度为100μm的晶片4切割,同时将晶片粘合到粘合剂层3,然后第二切割刀将晶片和粘合剂层切割100μm 在切割深度处至少沿着第一切割刀片的切口到达压敏粘合剂层2。 第二切割刀片的宽度小于第一切割刀片的宽度。 通过第一切割刀片的切割成形条件为50mm / sec的转速和40,000rpm的转数,并且第二切割刀片的切割条件为50mm / sec的速度和45,000rpm的转速 rpm。
    • 10. 发明专利
    • Adhesive tape for fixing semiconductor wafer, method for manufacturing semiconductor chip and adhesive tape with adhesive film
    • 用于固定半导体波形的粘合带,用于制造具有粘合膜的半导体芯片和粘合带的方法
    • JP2013038408A
    • 2013-02-21
    • JP2012154686
    • 2012-07-10
    • Nitto Denko Corp日東電工株式会社
    • SUGAO YUKITANAKA SHUNPEIYANAGI YUICHIRO
    • H01L21/301C09J7/02C09J201/00
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive sheet for fixing a semiconductor wafer, the adhesive sheet allowing favorable and easy pickup of a semiconductor chip even when the semiconductor chip is thinned out, and to provide a method for manufacturing a semiconductor chip using the adhesive sheet for fixing a semiconductor wafer.SOLUTION: A adhesive tape for fixing a semiconductor chip according to the present invention comprises a base material and an adhesive layer provided on one surface of the base material. The adhesive tape for fixing a semiconductor chip has flexural rigidity S calculated from the following expression of 5.0×10or more and 7.0×10or less. S=E×I (where, E represents a tensile storage modulus (Pa) of the adhesive tape at 25°C, I represents a cross sectional secondary moment represented as (b×T)/12 where b represents a width of a test piece of 10 mm in measuring of the tensile storage modulus, and T represents a total thickness (mm) of the adhesive tape).
    • 要解决的问题:为了提供一种用于固定半导体晶片的粘合片,即使当半导体芯片变薄时,粘合片也能够有利且容易地拾取半导体芯片,并且提供用于制造半导体芯片的方法 使用粘合片固定半导体晶片。 解决方案:根据本发明的用于固定半导体芯片的胶带包括基材和设置在基材的一个表面上的粘合剂层。 用于固定半导体芯片的胶带具有从以下表达式计算的弯曲刚度S:5.0×10 4 或更高和7.0×10 5 < / SP>以下。 S = E×I(其中,E表示25℃下的粘合带的拉伸储能模量(Pa),I表示作为(b×T 3 < SP>)/ 12其中b表示在拉伸储能模量的测量中10mm的试验片的宽度,T表示胶带的总厚度(mm))。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT