会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明专利
    • ダイシング・ダイボンディングフィルム
    • 定影/贴膜
    • JP2015005636A
    • 2015-01-08
    • JP2013130272
    • 2013-06-21
    • 日東電工株式会社Nitto Denko Corp
    • KIMURA TAKEHIROMISUMI SADAHITOONISHI KENJISUGAO YUKISHISHIDO YUICHIRO
    • H01L21/301
    • H01L2224/45124H01L2224/45144H01L2224/45147H01L2224/48091H01L2224/73265H01L2924/181H01L2924/00H01L2924/00012H01L2924/00014
    • 【課題】ダイシングブレードの切れ味の低下を抑制できるとともに、ヒゲの発生を抑制できるダイシング・ダイボンディングフィルムを提供する。【解決手段】接着剤層3に厚さ100μmのウェハ4を貼り合わせた状態で、第1のダイシングブレードが切り込み深さ50μmでウェハを100m切り込んだ後、第1のダイシングブレードの切り込みに沿って、第2のダイシングブレードが少なくとも粘着剤層2に達する切り込み深さでウェハ及び接着剤層を100m切断したときの第2のダイシングブレードの摩耗量が20〜200μmであり、第2のダイシングブレードの幅は、第1のダイシングブレードのド幅より小さく、第1のダイシングブレードによる切り込み形成条件が、速度50mm/sec、回転数40000rpmであり、第2のダイシングブレードによる切断条件が、速度50mm/sec、回転数45000rpmである。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制切割刀的锐度劣化并且还能够抑制晶须的发生的切割/芯片接合薄膜。解决方案:第二切割刀片的磨损量为20-200μm,当 第一切割刀片将切片深度为50μm的厚度为100μm的晶片4切割,同时将晶片粘合到粘合剂层3,然后第二切割刀将晶片和粘合剂层切割100μm 在切割深度处至少沿着第一切割刀片的切口到达压敏粘合剂层2。 第二切割刀片的宽度小于第一切割刀片的宽度。 通过第一切割刀片的切割成形条件为50mm / sec的转速和40,000rpm的转数,并且第二切割刀片的切割条件为50mm / sec的速度和45,000rpm的转速 rpm。