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1. 发明授权

US5198718A Filamentless ion source for thin film processing and surface modification 失效
标题翻译：用于薄膜加工和表面改性的无电离源
公开(公告)号：US5198718A
公开(公告)日：1993-03-30
申请号：US602254
申请日：1991-05-31
申请人： Mervyn H. Davis , Gary Proudfoot , Keith H. Bayliss
发明人： Mervyn H. Davis , Gary Proudfoot , Keith H. Bayliss
IPC分类号： C23C14/46 , C23C14/48 , H01J27/16 , H01J27/18 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/305 , H01J37/34 , H01L21/265 , H01L21/302 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J27/16 , H01J37/08
摘要： A filamentless (without a heated cathode) ion source for thin film processing and surface modification. The ion source comprises a plasma chamber which includes a wall defining an evacuable chamber having a first end and a second end, with a dielectric member extending across the first end of the evacuable chamber. A gas inlet admits a plasma forming gas into the chamber. An RF emitter is positioned adjacent to the dielectric member for inductively generating a plasma in the gas in the plasma chamber during use of the ion source. A control grid structure is provided for extracting ions from plasma in the plasma chamber, and include a first grid connected to a positive voltage source and a second grid connected to a negative voltage source, to produce an acceleration field for accelerating ions towards and through the second grid of the control grid structure. An ion beam processing apparatus and an ion beam neutralizer incorporating such an ion source are also described.
摘要翻译： PCT No.PCT / GB90 / 00340 Sec。 371日期1991年5月31日 102（e）日期1991年5月31日PCT 1990年3月6日PCT PCT。出版物WO90 / 10945 1990年9月20日。用于薄膜加工和表面改性的无丝（无加热阴极）离子源。离子源包括等离子体室，其包括限定具有第一端和第二端的可抽空室的壁，电介质构件延伸穿过可抽空室的第一端。气体入口允许等离子体形成气体进入腔室。 RF发射器邻近电介质构件定位，用于在使用离子源期间在等离子体室中的气体中感应地产生等离子体。提供了一种用于从等离子体室中的等离子体提取离子的控制栅格结构，并且包括连接到正电压源的第一栅极和与负电压源连接的第二栅极，以产生用于加速离子朝向和穿过控制网格结构的第二格。还描述了并入这种离子源的离子束处理装置和离子束中和器。

2. 发明授权

US5579332A Plasma light source 失效
标题翻译：等离子光源
公开(公告)号：US5579332A
公开(公告)日：1996-11-26
申请号：US327830
申请日：1994-10-24
申请人： Michael R. Osborne , Keith H. Bayliss
发明人： Michael R. Osborne , Keith H. Bayliss
IPC分类号： H05H1/24 , H01J65/04 , H01P1/17 , H01S3/0975 , H01S3/03
CPC分类号： H01S3/0975 , H01J65/044 , H01P1/17
摘要： A light source including a gaseous medium which is excited to a light-emitting state by means of a microwave electromagnetic field, wherein the electromagnetic field is generated by circularly polarised microwave radiation. A preferred form of the invention is a laser.
摘要翻译：一种光源，其包括通过微波电磁场激发到发光状态的气体介质，其中所述电磁场由圆偏振微波辐射产生。本发明的优选形式是激光。

3. 发明授权

US5440876A Exhaust gas purification 失效
标题翻译：废气净化
公开(公告)号：US5440876A
公开(公告)日：1995-08-15
申请号：US166937
申请日：1993-12-15
申请人： Keith H. Bayliss , Stephen I. Hall , David Raybone
发明人： Keith H. Bayliss , Stephen I. Hall , David Raybone
IPC分类号： F01N3/02 , B01D53/32 , B01D53/56 , B01D53/74 , B01D53/92 , B01D53/94 , B03C3/145 , F01N3/01 , F01N3/027 , F01N3/028 , F01N3/08 , F01N3/20 , F01N3/30
CPC分类号： B01D53/945 , B01D53/323 , B01D53/92 , B01D53/9454 , B03C3/145 , F01N3/01 , F01N3/027 , F01N3/0275 , F01N3/028 , F01N3/0892 , F01N2330/08 , F01N2570/14 , F01N2610/02 , F01N3/30 , Y02T10/22
摘要： A method of removing particulate and other materials from the exhaust gases from an internal combustion engine in which the exhaust gas is passed through a bed of charged ferro-electric materials. Three forms of apparatus for carrying out the method are described.
摘要翻译：从排气通过带电铁电材料床的内燃机的废气中除去微粒和其他材料的方法。描述了用于执行该方法的三种形式的装置。

4. 发明授权

US5340450A Removal of organic materials from a gas 失效
标题翻译：从气体中去除有机物质
公开(公告)号：US5340450A
公开(公告)日：1994-08-23
申请号：US977045
申请日：1992-11-16
申请人： Christopher N. Griffiths , David Raybone , Keith H. Bayliss
发明人： Christopher N. Griffiths , David Raybone , Keith H. Bayliss
IPC分类号： B01D53/32 , B01D53/72 , B01J19/12 , H05B6/74 , H05B6/80 , B01D53/00
CPC分类号： H05B6/802 , B01J19/126 , H01J37/32293 , H05B6/74 , B01J2219/0894 , B01J2219/1227 , H05B2206/045
摘要： A method of and apparatus for removing organic material from a gas. The method comprises the operation of subjecting the gas to pulses of circularly polarised microwave radiation and the apparatus comprises a reaction chamber through which the gas can be passed, means for generating circularly polarised microwave radiation and means for applying the circularly polarised microwave radiation to the gas in the reaction chamber.
摘要翻译：一种从气体中除去有机材料的方法和设备。该方法包括对气体进行圆偏振微波辐射脉冲的操作，该装置包括可以通过气体的反应室，用于产生圆偏振微波辐射的装置和用于将圆偏振微波辐射施加到气体的装置在反应室中。

5. 发明授权

US5503807A Gas activation 失效
标题翻译：气体活化
公开(公告)号：US5503807A
公开(公告)日：1996-04-02
申请号：US373249
申请日：1995-01-19
申请人： Christopher N. Griffiths , David Raybone , Keith H. Bayliss , John Stedman
发明人： Christopher N. Griffiths , David Raybone , Keith H. Bayliss , John Stedman
IPC分类号： A61L2/14 , B01J19/12
CPC分类号： A61L2/14 , Y10S422/906 , Y10S422/907
摘要： An apparatus for producing chemically active species by passing a precursor gaseous medium through a plasma at pressures of at least 50 millibars is described.
摘要翻译： PCT No.PCT / GB94 / 00158 Sec。 371日期1995年1月19日 102（e）日期1995年1月19日PCT 1994年1月27日PCT PCT。第WO94 / 17835号公报日本1994年8月18日。描述了通过使前体气体介质通过等离子体在至少50毫巴的压力下生产化学活性物质的装置。

6. 发明授权

US5418430A Plasma generator with field-enhancing electrodes 失效
标题翻译：带场增强电极的等离子发生器
公开(公告)号：US5418430A
公开(公告)日：1995-05-23
申请号：US148573
申请日：1993-11-08
申请人： Keith H. Bayliss
发明人： Keith H. Bayliss
IPC分类号： C30B25/14 , H01J37/32 , H05H1/46 , H01J7/24
CPC分类号： H01J37/32009 , H01J37/32357 , H01J37/32449 , H01J37/32724 , H05H1/46
摘要： A microwave plasma generator including a chamber within which there is a pair of opposed field-enhancing electrodes one of which has an axial hole through which gas which has been activated into a plasma state in the region between the electrodes can be extracted from the chamber.
摘要翻译：一种微波等离子体发生器，其包括一个腔室，在该腔室内有一对相对的场增强电极，其中一个具有轴向孔，通过该轴孔，已经在电极之间的区域中被激活成等离子体状态的气体可以从腔室中提取出来。

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