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1. 发明专利

CA2095068A1 LASER MACHINING APPARATUS 未知
公开(公告)号：CA2095068A1
公开(公告)日：1993-10-29
申请号：CA2095068
申请日：1993-04-28
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , YAGI TOSHINORI , IZUMO MASAO , TANAKA MASAAKI
IPC分类号： B23K26/06 , H01L21/00 , H05K3/00 , B23K26/08
摘要： A laser machining apparatus comprises a mask, a reflecting mirror and an imaging optical system. The laser light reflected by the mask and also by the reflecting mirror passes through the mask and images on the work for machining the work. The laser machining apparatus comprises means for causing said mask to move in parallel with said work for machining the work. This laser machining apparatus is able to machine a work having a large surface using small apertured mask. Another type of laser machining apparatus comprises a mask and a platform and an imaging optical system. The mask and the work are puts in the same plane of the platform and driven so that the image of the mask is mapped on the work via the imaging optical system. The laser machining apparatus is able to machine a large area at low price and high accuracy.

2. 发明专利

DE102007045495A1 Circular accelerator for accelerating an electron beam comprises a high voltage current supply with switching elements for applying a pulsed voltage to an electron generator 未知
公开(公告)号：DE102007045495A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：DE102007045495
申请日：2007-09-24
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： TANAKA HIROFUMI , NAGAYAMA TAKAHISA , ZUMOTO NOBUYUKI
IPC分类号： H05H11/00 , G21K1/093 , H05H7/04 , H05H13/04
摘要： Circular accelerator (2) comprises a high voltage current supply (4) with switching elements for applying a pulsed voltage to an electron generator (1). Independent claims are also included for the following: (1) Generator for electromagnetic waves comprising the above accelerator; and (2) Imaging system comprising the generator, a measuring unit and a data processing unit. Preferred Features: Electrons produced by applying the pulsed voltage to the electron generator are injected into the accelerator. An electron accelerating unit accelerates the electrons by induction acceleration.

3. 发明专利

GB2286900B Laser optical transmission system and radiating method 未知
公开(公告)号：GB2286900B
公开(公告)日：1998-08-26
申请号：GB9416650
申请日：1994-08-17
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , MIYAMOTO TERUO , YAGI TOSHINORI , TANAKA MASAAKI
IPC分类号： B23K26/066 , B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/073 , G02B6/26 , G02B6/42 , G02B26/08 , G03F7/20 , G02B27/00
摘要： An optical transmission system permitting any desired machining to be done by radiating to an object to be irradiated a laser beam having an optimum intensity distribution in the direction of its optical axis or in a plane perpendicular to the optical axis, comprising a laser oscillator 1, an optical fiber 3 for propagating the laser beam emitted from the laser oscillator 1 by a predetermined distance, a condenser lens 2 for converging the laser beam from the laser oscillator 1 into the optical fiber 3, a first lens 6 for forming images with aberration from the laser beam emerging from the optical fiber 3, a mask 7 disposed in a position having a predetermined light intensity distribution out of the positions of the images formed by the first lens 6, and a second lens 4 for forming the image passing through the mask 7 onto an object 5 to be irradiated.

4. 发明专利

DE4313796A1 未知
公开(公告)号：DE4313796A1
公开(公告)日：1993-11-04
申请号：DE4313796
申请日：1993-04-27
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , YAGI TOSHINORI , IZUMO MASAO , TANAKA MASAAKI
IPC分类号： B23K26/06 , H01L21/00 , H05K3/00 , G02B17/08
摘要： A laser machining apparatus comprises a mask, a reflecting mirror and an imaging optical system. The laser light reflected by the mask and also by the reflecting mirror passes through the mask and images on the work for machining the work. The laser machining apparatus comprises means for causing said mask to move in parallel with said work for machining the work. This laser machining apparatus is able to machine a work having a large surface using small apertured mask. Another type of laser machining apparatus comprises a mask and a platform and an imaging optical system. The mask and the work are puts in the same plane of the platform and driven so that the image of the mask is mapped on the work via the imaging optical system. The laser machining apparatus is able to machine a large area at low price and high accuracy.

5. 发明专利

DE4106423A1 未知
公开(公告)号：DE4106423A1
公开(公告)日：1991-10-31
申请号：DE4106423
申请日：1991-02-26
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , YAGI TOSHINORI , MYOI YASUHITO , UCHIYAMA YOSHIE , TANAKA MASAAKI , MIYAMOTO TERUO , IZUMO MASAO
IPC分类号： B23K26/06 , G03F1/00 , G03F7/20 , H05K3/00

6. 发明专利

GB2316187B Laser optical transmission system and radiating method 未知
公开(公告)号：GB2316187B
公开(公告)日：1998-08-26
申请号：GB9720225
申请日：1994-08-17
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： TANAKA MASAAKI , ZUMOTO NOBUYUKI , MIYAMOTO TERUO , YAGI TOSHINORI
IPC分类号： B23K26/06 , G02B6/26 , G02B6/42 , G02B26/08 , G02B27/00

7. 发明专利

DE4217811C2 未知
公开(公告)号：DE4217811C2
公开(公告)日：1996-01-25
申请号：DE4217811
申请日：1992-05-29
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , YAGI TOSHINORI , MYOI YASUHITO , MIYAMOTO TERUO , TANAKA MASAAKI , IZUMO MASAO
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/066 , G03F1/00 , G03F1/68 , G03F7/20 , H01S3/101 , H05K3/00 , B23K26/06 , G02B5/08
摘要： An optical processing apparatus utilizing multiple reflections of a light beam between a mask and a reflector has improved uniformity in the distribution of the light beam over a surface of the mask. In one form, the reflector is disposed in a face-to-face relation with respect to the mask with an angle of inclination relative thereto. In another form, the reflector has a flat or curved taper surface for decreasing an angle of reflection of the light beam at the mask surface at an initial stage, and a flat surface disposed in parallel with the mask surface. In a further form, the reflector is curved in a direction of transmission of the light beam. In a yet further form, an angle of incidence of the light beam is properly adjusted such that a portion of the light beam, which is first reflected from the mask and escapes outwardly from the reflector, is minimized.

8. 发明专利

CA2037063A1 Optical Machining Apparatus 未知
公开(公告)号：CA2037063A1
公开(公告)日：1991-10-29
申请号：CA2037063
申请日：1991-02-26
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , YAGI TOSHINORI , MYOI YASUHITO , UCHIYAMA YOSHIE , TANAKA MASAAKI , MIYAMOTO TERUO , IZUMO MASAO
IPC分类号： B23K26/06 , G03F1/00 , G03F7/20 , H05K3/00

9. 发明专利

DE3832254A1 未知
公开(公告)号：DE3832254A1
公开(公告)日：1989-04-13
申请号：DE3832254
申请日：1988-09-22
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： ZUMOTO NOBUYUKI , SAKAMOTO MASAHIKO , HOSHINOUCHI SUSUMU
IPC分类号： H01J37/305 , G01Q30/02 , G01Q30/06 , G01Q90/00 , H01J37/302 , H01J37/317 , H01L21/027 , H01L21/30

10. 发明专利

DE102008003797B4 APF-Linearionenbeschleuniger 未知
公开(公告)号：DE102008003797B4
公开(公告)日：2015-10-22
申请号：DE102008003797
申请日：2008-01-10
申请人： MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人： TANAKA HIROFUMI , YAMAMOTO KAZUO , HARADA HISASHI , INOUE HIROMITSU , NAGAYAMA TAKAHISA , ZUMOTO NOBUYUKI
IPC分类号： H05H9/00 , A61N5/10
摘要： APF-Linearionenbeschleuniger, der folgendes aufweist: – einen Beschleunigungshohlraum (1), der dazu ausgelegt ist, einen eintretenden Ionenstrahl mit einem hochfrequenten elektrischen Feld zu beschleunigen; – eine Hochfrequenz-Stromversorgung (5), die dazu ausgelegt ist, das hochfrequente elektrische Feld zu erzeugen; – ein koaxiales Rohr (6) und einen Koppler (7), die dazu ausgelegt sind, das von der Hochfrequenz-Stromversorgung (5) erzeugte hochfrequente elektrische Feld dem Beschleunigungshohlraum (1) zuzuführen; und – eine Vielzahl von zylindrischen Elektroden (2), die hohle zentrale Axialbereiche aufweisen und linear in dem Beschleunigungshohlraum (1) mit dazwischen liegenden Beschleunigungsspalten (3) in der Axialrichtung angeordnet sind, so dass sie vorgegebene Intervalle besitzen; – wobei das hochfrequente elektrische Feld, das dem Beschleunigungshohlraum (1) über das koaxiale Rohr (6) und den Koppler (7) zugeführt wird, an die Beschleunigungsspalte (3) angelegt wird, welche die Geschwindigkeit eines Ionenstrahles, der durch die hohlen zentralen axialen Bereiche der zylindrischen Elektroden (2) hindurchgeht, allmählich erhöhen, um auf diese Weise den Ionenstrahl, der mit einer vorgegebenen Eintrittsenergie injiziert wird, bis zu einer vorgegebenen Extraktionsenergie zu beschleunigen und ihn dann zu extrahieren; – wobei jede der zylindrischen Elektroden (2) eine bestimmte Elektrodenlänge in der Anordnungsrichtung der zylindrischen Elektroden (2) besitzt, – wobei die Elektrodenlänge eine Summe aus einer geschwindigkeitsabhängigen Elektrodenlänge (4) und einer Oszillationskomponente ist, – wobei die geschwindigkeitsabhängige Elektrodenlänge (4) proportional zu einer Bewegungsgeschwindigkeit in der zylindrischen Elektrode (2) vorgegeben ist, die als Geschwindigkeit bestimmt ist, mit der der Ionenstrahl durch die zylindrische Elektrode (2) hindurchgeht; – wobei aufgrund der Tatsache, dass sich zu beschleunigende Ionen als Gruppe bewegen, welche in Bewegungsrichtung eine Beschleunigungsphasenbreite von ±15° aufweist, die geschwindigkeitsabhängige Elektrodenlänge (4) eine Breite aufweist; – wobei die Oszillationskomponente erhalten wird durch Veränderung der Elektrodenlänge in positiver oder negativer Richtung bezüglich der geschwindigkeitsabhängigen Elektrodenlänge (4) gemäß einem vorgegebenen Zyklus und in Abhängigkeit von einer Position der Vielzahl von zylindrischen Elektroden (2); ...

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