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    • 1. 发明申请
    • FEUCHTESENSOR UND VERFAHREN ZUM MESSEN DER FEUCHTE EINES GASFÖRMIGEN MEDIUMS
    • 湿度传感器和方法测定水分的气态介质
    • WO2008122390A1
    • 2008-10-16
    • PCT/EP2008/002606
    • 2008-04-02
    • MICRONAS GMBHLEHMANN, MirkoFRERICHS, Heinz-PeterFREUND, Ingo
    • LEHMANN, MirkoFRERICHS, Heinz-PeterFREUND, Ingo
    • G01N27/22
    • G01N27/414G01N25/56
    • Ein Feuchtesensor (1) weist an seiner Oberfläche einen Aufhahmebereich (4) für einen Feuchtefilm (5a, 5b) auf; dessen Schichtdicke (6a, 6b) von der relativen Feuchte in der Umgebung des Aufhahmebereichs (4) abhängig ist. Der Feuchtesensor (1) hat eine Signalquelle, die zum Anlegen einer Steuerspannung an den Feuchtefilm (5a, 5b) mit mindestens einer, an wenigstens einer Einspeisestelle (11) an den Aufhahmebereich (4) angrenzenden Steuerelektrode (10) verbunden ist. Der Feuchtesensor (1) weist mindestens einen Potentialsensor auf, der unter dem Aufhahmebereich (4) wenigstens einen, von der wenigstens einen Einspeisestelle (11) beabstandeten Sensorbereich (9) hat. Der Sensorbereich (9) ist derart durch eine zwischen ihm und dem Aufhahmebereich (4) befindliche Isolationsschicht (3) gegen den Aufhahmebereich (4) elektrisch isoliert, dass mittels des Potentialsensors ein von der Schichtdicke des Feuchtefilms (5a, 5b) und der Steuerspannung abhängiges elektrisches Potential kapazitiv detektierbar ist.
    • 湿度传感器(1)具有在其表面上用于水膜的接收区域(4)(图5a,5b); 其层厚度(6A,6B)在包围所述接收区域(4)的区域中的相对湿度的依赖。 湿度传感器(1)具有一个信号源(5A,5B)被连接到至少一个,至少一个进料点(11)到接收区域(4)邻近的用于将控制电压施加到水膜的控制电极(10)。 湿度传感器(1)具有容纳区域下方的至少一个电势传感器(4)具有至少一个,从所述至少一个进料点间隔(11)的传感器区域(9)。 传感器区域(9)是位于(3)以这样的方式通过它与接收区之间的绝缘层(4)对所述接收区域(4)电隔离,即由电势传感器的装置,所述湿气薄膜的层厚度的(5A,5B)和所述控制电压依赖性 电势是电容性地检测到。
    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM NACHWEISEN UND/ODER ZUM BESTIMMEN DER KONZENTRATION MINDESTENS EINES LIGANDEN
    • 方法检测和/或至少一个配体的测定浓度
    • WO2006040142A2
    • 2006-04-20
    • PCT/EP2005/010976
    • 2005-10-12
    • MICRONAS GMBHMICRONAS HOLDING GMBHLEHMANN, MirkoFREUND, IngoKLAPPROTH, HolgerMOHRY, Sonja
    • LEHMANN, MirkoFREUND, IngoKLAPPROTH, HolgerMOHRY, Sonja
    • G01N33/543G01N33/58
    • G01N33/54373
    • Bei einem Verfahren zum Nachweisen und/oder zum Bestimmen der Konzentration eines in einer zu analysierenden Lösung (1) enthaltenen Liganden (2) wird auf einem Halbleiterchip (4) an einer Teststelle (3) ein Rezeptor (5) immobilisiert, der mit dem Liganden (2) eine spezifische Bindung eingehen kann. Zum Binden des Liganden (2) an den Rezeptor (5) wird die Lösung (1) auf die Teststelle (3) aufgebracht. In Abhängigkeit von der Bindung des Liganden (2) an den Rezeptor (5) wird eine Lumineszenzstrahlung (14) oder eine Farbveränderung erzeugt. Mit Hilfe eines in den Halbleiterchip (4) integrierten Strahlungsempfängers (6) wird ein Strahlungsmesssignal erfasst, während die Lösung (1) und/oder eine den Luminophor (17) nicht enthaltende Hilfsflüssigkeit mit dem Strahlungsempfänger (6) in Kontakt steht. Während das Erzeugen der Lumineszenzstrahlung verhindert wird und der Strahlungsempfänger (6) mit der Hilfsflüssigkeit und/oder einer Ersatzflüssigkeit in Kontakt steht, wird ein Dunkelmesssignal für den Strahlungsempfänger (6) gemessen. Das Strahlungsmesssignal wird mit dem Dunkelmesssignal kompensiert.
    • 在用于检测和/或确定的溶液的浓度的方法将待分析(1)包含(2)在一个测试位点(3)与配位体固定在半导体芯片(4)上的受体(5)的配位体 (2)能够进行特异性结合的。 用于向所述受体的配体(2)的结合(5),将溶液(1)到测试点(3)被应用。 取决于配体(2)〜(5)的发光辐射(14)或一个颜色变化所产生的受体的结合。 通过在半导体芯片(4)被检测到的辐射接收器(6),一个辐射测量信号的装置集成在一起,同时将溶液(1)和/或不包含辅助液体于辐射接收器(6)所接触的发光体(17)。 期间防止所述发光辐射的产生和辐射接收器(6)是在与辅助液体和/或更换液体,辐射接收器(6)的暗测量信号接触被测量。 辐射测量信号与黑暗测量信号补偿。
    • 4. 发明申请
    • ELEKTRISCHES BAUELEMENT
    • 电气元件
    • WO2006056226A1
    • 2006-06-01
    • PCT/EP2004/013464
    • 2004-11-26
    • MICRONAS GMBHLEHMANN, MirkoFREUND, Ingo
    • LEHMANN, MirkoFREUND, Ingo
    • G01N27/414
    • G01N27/4148
    • Ein elektrisches Bauelement (1) weist einen Sensor- und/oder Aktuator-Chip mit einem Substrat (2) auf, auf dem eine Passivierungsschicht (3) und eine einen aktiven Oberflächenbereich (5a, 5b) aufweisende Sensor- und/oder Aktuator-Struktur angeordnet ist. Der Chip ist von einer Verkapselung (6) umgeben, die eine Öffnung (7) hat, welche einen Zugang zu dem wenigstens einen aktiven Oberflächenbe­reich (5a, 5b) bildet, Auf dem Substrat (2). ist ein Schichtstapel angeordnet, der -ausgehend von der Passivierungsschicht (3) zu dem Substrat (2)- zumindest eine erste Leiterbahn-Schicht (15), eine erste elektrische Isolationsschicht (14), eine zweite Leiterbahn-Schicht (17) und eine zweite elektrische Isolationsschicht (16) aufweist. Die erste Leiterbahn-Schicht (15) ist vollständig außerhalb des von der Öffnung (7) überdeckten Bereichs des Chips angeordnet ist. Mindestens eine Leiterbahn der zweiten Leiterbahn-Schicht (15) ist mit der Sensor- und/oder Aktuator-Struktur verbunden.
    • 的电元件(1)包括具有基板(2),其上的钝化层(3)和有源表面区域(5A,5B),其具有传感器和/或致动器结构的传感器和/或致动器芯片 布置。 该芯片是一个管板(6)的被包围,具有开口(7),其提供对所述至少一个活性表面区域(5A,5B)形成,所述衬底(2)上。 设置在钝化层(3)的-ausgehend到衬底的层堆叠(2) - 第二至少一个第一布线层(15),第一电绝缘层(14),第二配线层(17)和一个 电绝缘层(16)。 所述第一布线层(15)完全由(7)的芯片的区域被布置在开口的外侧覆盖。 在第二互连层中的至少一个导体轨道(15)被连接到传感器和/或致动器结构。
    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM NACHWEISEN UND/ODER BESTIMMEN DER KONZENTRATION EINES LIGANDEN
    • 方法检测和/或确定的配位体的浓度
    • WO2009132667A1
    • 2009-11-05
    • PCT/EP2008/003496
    • 2008-04-30
    • MICRONAS GMBHMICRONAS HOLDING GMBHKLAPPROTH, HolgerMOHRY, SonjaBAADER, JohannesFREUND, Ingo
    • KLAPPROTH, HolgerMOHRY, SonjaBAADER, JohannesFREUND, Ingo
    • G01N33/543G01N27/414
    • G01N33/5438G01N27/4145
    • Bei einem Verfahren zum Nachweisen und/oder zum Bestimmen der Konzentration mindestens eines in einer zu analysierenden Lösung (1) enthaltenen Liganden (2), der eine Ladung aufweist oder an eine solche gebunden ist, werden folgende Schritte durchgeführt: Bereitstellen einer Trägeroberfläche (4), auf der wenigstens ein für die Liganden (2) bindungsspezifischer Rezeptor (6) immobilisiert ist, Bereitstellen zumindest eines, mindestens einen elektrisch leitfähigen Bereich aufweisenden Sensors (9) an der Trägeroberfläche (4), in Kontakt bringen der Lösung (1) mit dem Rezeptor (6), um den Ligand (2) an den Rezeptor (6) zu binden, Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen einem elektrisch leitfähigen Bereich des Sensors (9) und einer Θegenelektrode, während die Lösung (1) mit dem Rezeptor (6) in Kontakt steht, derart, dass die Liganden (2) in einem elektrischen Feld relativ zum Rezeptor (6) in der Lösung bewegt werden, Entfernen von Liganden (2), die nicht an einen Rezeptor (6) gebunden sind, aus dem Detektionsbereich des Sensors (9), Erfassen eines von der Bindung des Rezeptors (6) an den Liganden (2) abhängiges Messsignals mit Hilfe des Sensors (9).
    • 包含在一种用于检测和/或确定在溶液中的至少一种的浓度的配体将被分析(1)(2),其具有带电或键接于一个,其执行以下步骤:提供支撑面(4) ,被固定在所述配体的特异性受体(6)结合的至少一种(2)中,提供至少一个中,具有传感器的至少一个导电区域(9)上的支承表面(4)接触溶液(1)与所述 受体(6)中,与配体结合(2)与受体(6),所述传感器(9)的导电区域和Tegenelektrode之间施加电压,同时将溶液(1)与所述受体(6) 是在接触时,使得所述配体(2)在电动相对的场被移动到受体(6)在该溶液中,除去配位体(2),其不(与受体6 )(9)附连(来自传感器9),检测的检测范围(由受体6)至所述配体(2)相关的测量信号的结合由所述传感器的装置。