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    • 1. 发明申请
    • TRANSPORTVORRICHTUNG FÜR EIN FLEXIBLES TRÄGERBAND
    • 转运一个灵活的支撑带
    • WO2007031571A1
    • 2007-03-22
    • PCT/EP2006/066393
    • 2006-09-15
    • MÜHLBAUER AGNIKLAS, SigmundWECKERLE, Ewald
    • NIKLAS, SigmundWECKERLE, Ewald
    • B65H20/04
    • B65H20/04B65H2701/1942
    • Die Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung und ein Verfahren zur schrittweisen Fortbewegung eines flexiblen Trägerbandes (1) innerhalb einer Halbleiter-Bauelemente verarbeitenden und/oder auf das Trägerband (1) auftragenden Vorrichtung mit einer vorbestimmbaren Vorschubgeschwindigkeit und einem vorbestimmbaren Vorschubweg (7, 20), wobei als Antriebseinheit für die Durchführung der schrittweisen Fortbewegung eine senkrecht zur Ebene des Trägerbandes (1) verschiebbare Rolle (11, 25), mittels der das Trägerband (1) umlenkbar ist, angeordnet ist, wobei ein Verschiebeweg (12, 22) und eine Verschiebegeschwindigkeit der Rolle (11, 25) proportional zu dem Vorschubweg (7, 20) und der Vorschubgeschwindigkeit des Trägerbandes (1) sind.
    • 本发明涉及的输送装置和用于柔性载体带(1)的分步运动的半导体器件的制造中和/或载带的方法(1)用一个预定的进给速度和一个预定的进料路径(7,20),如洗刷装置 驱动单元,用于执行所述逐步移动一个垂直于载带(1)可移动的辊子(11,25)的平面内,通过该承载带(1)可被偏转,被布置装置,其中,所述移动路径(12,22)和所述辊子的位移速度 (11,25)是正比于进给路径(7,20)和载带(1)的进给速度。
    • 2. 发明申请
    • THERMODENVORRICHTUNG FÜR EINE VIELZAHL VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
    • THERMODENVORRICHTUNG半导体部件用各种
    • WO2007020174A1
    • 2007-02-22
    • PCT/EP2006/064805
    • 2006-07-28
    • MÜHLBAUER AGWECKERLE, EwaldWODARZ, AlexanderBIERL, StefanSIGMUND, Niklas
    • WECKERLE, EwaldWODARZ, AlexanderBIERL, StefanSIGMUND, Niklas
    • B23K3/047H01L21/67
    • B23K3/047
    • Die Erfindung betrifft eine Thermodenvorrichtung zum Verbinden und/oder elektrischen Kontaktieren einer Vielzahl an ersten Halbleiterbauelementen mit mindestens einem Trägerelement und/oder einer Vielzahl an zweiten Halbleiterbauelementen mittels Erwärmung eines Klebstoffes unter Druckbeaufschlagung, wobei die Thermodenvorrichtung (1) einen Grundkörper (2, 3, 4) und ein aus dem Grundköper (2, 3, 4) herausfahrbares Heizelement (7), welches druckbeaufschlagt auf mindestens eines der ersten Halbleiterbauelemente wirkt, umfasst, wobei der Grundkörper (2, 3, 4) unterseitig eine Mehrzahl von vertikal ausgerichteten und nebeneinander angeordneten Heizplatten (5) aufweist, wobei jede Heizplatte (5) an ihrer Stirn- und Unterseite (5a) eine Mehrzahl der herausfahrbaren Heizelemente (7) aufweist, wovon jedes unterseitig jeweils einem ersten Halbleiterbauelement zugeordnet ist.
    • 本发明涉及一种Thermodenvorrichtung用于连接和/或电具有至少一个支承元件和/或通过在加压下的粘合剂,加热的装置的多个第二半导体元件的多个第一半导体器件的接触,其中所述Thermodenvorrichtung(1)的基体(2,3,4 )和一个(从基体2,3,4)出驱动加热该被加压在第一半导体元件中的至少一个,其中,所述基体(2,3,4)下侧的多个垂直排列的行为,并彼此相邻元件(7) 加热板(5),每个加热板(5)在其正面和背面(图5a)包括多个可延伸的加热元件(7),其中的每一个是与第一半导体元件相关联的每个情况下,下侧的。