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    • 5. 发明专利
    • Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element und Verfahren zur Herstellung von Chips unter Verwendung der Folie
    • DE112015001075T5
    • 2016-11-24
    • DE112015001075
    • 2015-03-02
    • LINTEC CORP
    • NISHIDA TAKUOKOMA YOSUKESAKAMOTO MISAKI
    • H01L21/301C09J4/00C09J7/02C09J201/02
    • Als eine Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element, die stabil eine Verbesserung der Ablösbarkeit der Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element und eine Unterdrückung einer Verschlechterung der Zuverlässigkeit von Elementen erreichen kann, die Chips aufweisen, hergestellt aus einem halbleiterbezogenen Element unter Verwendung der Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element, wird eine Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element (1) bereitgestellt, die ein Basismaterial (2) und eine Haftklebeschicht (3) aufweist, die an oder über einer Oberfläche des Basismaterials (2) bereitgestellt ist, wobei die Haftklebeschicht (3) eine oder mehrere Art(en) von durch einen Energiestrahl polymerisierbaren Verbindungen mit einer durch einen Energiestrahl polymerisierbaren funktionellen Gruppe aufweist, wobei zumindest eine Art der durch einen Energiestrahl polymerisierbaren Verbindungen ein polymerisierbares verzweigtes Polymer ist, das ein Polymer mit einer verzweigten Struktur ist, wobei ein Kontaktwinkel an einer Messzielfläche 40° oder weniger bei Messung mit einem Wassertropfen in einer Umgebung von 25°C und einer relativen Feuchte von 50% ist, wobei die Messzielfläche hergestellt wird durch: Befestigen einer Oberfläche der Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element (1) an einer Seite der Haftklebeschicht (3) an einer Spiegelfläche eines Siliziumwafers; Bestrahlen der Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element (1) mit einem Energiestrahl zur Verringerung einer Haftklebeeigenschaft der Haftklebeschicht (3) an der Spiegelfläche des Siliziumwafers; und danach Entfernen der Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element (1) vom Siliziumwafer, so dass die Spiegelfläche des Siliziumwafers, an welcher die Verarbeitungsfolie für ein halbleiterbezogenes Element (1) befestigt wurde, als die Messzielfläche erhalten wird.
    • 6. 发明专利
    • DICING SHEET
    • PH12016500005B1
    • 2016-03-28
    • PH12016500005
    • 2016-01-04
    • LINTEC CORP
    • NISHIDA TAKUOKOMA YOSUKE
    • C09J133/00H01L21/301
    • A dicing sheet (1) comprising a base film (2) and a pressure sensitive adhesive layer (3) laminated at least on one surface of the base film (2), wherein: the pressure sensitive adhesive layer (3) is formed of a pressure sensitive adhesive composition that contains an acrylic-based polymer (A) and a polyfunctional acrylate-based energy ray polymerizable compound (B); the polyfunctional acrylate-based energy ray polymerizable compound (B) has 0.004 to 0.009 moles of a polymerizable functional group in 1 g of the polyfunctional acrylate-based energy ray polymerizable compound (B); a ratio of the polyfunctional acrylate-based energy ray polymerizable compound (B) to a total amount of the acrylic-based polymer (A) and the polyfunctional acrylatebased energy ray polymerizable compound (B) is 20 to 65 mass pcnt ; and a thickness of the pressure sensitive adhesive layer (3) is 2 to 20 æm. When the adherend is a workpiece such as a semiconductor package having a large surface roughness, the dicing sheet (1) has a sufficient adhesive strength before energy ray irradiation and also has a moderate adhesive strength after energy ray irradiation, and pressure sensitive adhesive aggregates are unlikely to be generated in the dicing sheet (1).
    • 7. 发明专利
    • DICING SHEET
    • SG11201600047XA
    • 2016-02-26
    • SG11201600047X
    • 2014-07-03
    • LINTEC CORP
    • NISHIDA TAKUOKOMA YOSUKE
    • H01L21/301C09J7/02C09J133/00
    • This dicing sheet (1) comprises a substrate (2) and a pressure-sensitive-adhesive layer (3) laminated to at least one surface of said substrate (2). Said pressure-sensitive-adhesive layer (3) is 2 to 20 µm thick and is made from a pressure-sensitive-adhesive composition that contains both an acrylic polymer (A) and a polyfunctional acrylate energy-ray-polymerizable compound (B). Said polyfunctional acrylate energy-ray-polymerizable compound (B) contains 0.004 to 0.009 moles of polymerizable functional groups per gram and constitutes 20% to 65% of the combined mass of the acrylic polymer (A) and the polyfunctional acrylate energy-ray-polymerizable compound (B). When adhered to a high-surface-roughness workpiece such as a semiconductor package, this dicing sheet (1) exhibits sufficient adhesive strength before energy-ray exposure, also exhibits appropriate adhesive strength after energy-ray exposure, and is resistant to the formation of pressure-sensitive-adhesive aggregates.