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1. 发明授权

EP0222219B1 Einrichtung, bei der ein Elektronenstrahl auf ein Medium trifft 失效转让
标题翻译：具有电子束的中间体的装置
公开(公告)号：EP0222219B1
公开(公告)日：1990-04-11
申请号：EP86114642.1
申请日：1986-10-22
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Bauer, Volker , Heimerl, Josef , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J37/30 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/3005 , H01J37/302 , H01J37/305

2. 发明公开

EP0222219A3 Einrichtung, bei der ein Elektronenstrahl auf ein Medium trifft 失效转让
标题翻译：用电子束对介质进行配置的装置
公开(公告)号：EP0222219A3
公开(公告)日：1989-01-11
申请号：EP86114642.1
申请日：1986-10-22
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Bauer, Volker , Heimerl, Josef , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J37/30 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/3005 , H01J37/302 , H01J37/305
摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung für die Eingabe eines Positions-Sollwertes für den Auftreffpunkt eines EIektronenstrahls (5) auf ein Medium (4), das sich in einem Tiegel (3) befindet. Diese Einrichtung weist einen Bildschirm (12) auf, auf dem die Konturen (13) des Tiegels (3) abgebildet sind. Mit Hilfe eines Lichtgriffels (14) können verschiedene Soll-Positionen des Elektronenstrahls (5) innerhalb der abgebildeten Tiegelkonturen (13') festgelegt werden (Figur 3).

3. 发明授权

EP0218105B1 Einspannvorrichtung für spiralförmige Drahtkatoden 失效
标题翻译：螺旋形电线阴极安装布置
公开(公告)号：EP0218105B1
公开(公告)日：1989-08-09
申请号：EP86112349.5
申请日：1986-09-06
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Kraft, Reinhard , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J1/18 , H01J37/06
CPC分类号： H01J1/18 , H01J37/06

4. 发明公开

EP0217210A3 Electron beam gun with directly and indirectly heated cathodes 失效
标题翻译：电子束枪具有直接和间接加热的阴极
公开(公告)号：EP0217210A3
公开(公告)日：1988-11-23
申请号：EP86112696
申请日：1986-09-13
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Kraft, Reinhard , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J03/02 , H01J37/075
CPC分类号： H01J37/075 , H01J3/027

5. 发明公开

EP0222219A2 Einrichtung, bei der ein Elektronenstrahl auf ein Medium trifft 失效转让
标题翻译：装置，其中的电子束击中的介质。
公开(公告)号：EP0222219A2
公开(公告)日：1987-05-20
申请号：EP86114642.1
申请日：1986-10-22
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Bauer, Volker , Heimerl, Josef , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J37/30 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/3005 , H01J37/302 , H01J37/305
摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung für die Eingabe eines Positions-Sollwertes für den Auftreffpunkt eines EIektronenstrahls (5) auf ein Medium (4), das sich in einem Tiegel (3) befindet. Diese Einrichtung weist einen Bildschirm (12) auf, auf dem die Konturen (13) des Tiegels (3) abgebildet sind. Mit Hilfe eines Lichtgriffels (14) können verschiedene Soll-Positionen des Elektronenstrahls (5) innerhalb der abgebildeten Tiegelkonturen (13') festgelegt werden (Figur 3).
摘要翻译：本发明涉及一种用于将介质（4），它位于在一个坩埚（3）关于输入的电子束（5）的冲击点的期望位置值。该装置具有在其上坩埚（3）的轮廓（13）被示出在屏幕（12）。与光笔（14）的帮助，可以设置成像坩埚轮廓（13“）内的电子束（5）的不同的期望的位置。

6. 发明公开

EP0217210A2 Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt und einer indirekt beheizbaren Katode 失效
标题翻译：电子枪具有直接和间接加热的阴极。
公开(公告)号：EP0217210A2
公开(公告)日：1987-04-08
申请号：EP86112696.9
申请日：1986-09-13
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Kraft, Reinhard , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J3/02 , H01J37/075
CPC分类号： H01J37/075 , H01J3/027
摘要： Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt beheizbaren ersten Katode (2), einer indirekt beheizbaren zweiten Blockkatode (3) und einer Fokussierungselektrode (17). Die Fokussierungselektrode (17) weist eine erste Zentrierfläche (18) auf, und die Blockkatode (3) ist mittels Tragstreben konzentrisch in einem Tragring (19) befestigt, der eine zur ersten Zentrierfläche (18) komplementäre zweite Zentrierfläche aufweist. Dadurch ist die Blockkatode (3) mittels des Tragrings (19) von der Rückseite her in die Fokussierungselektrode eingesetzt, und der Tragring (19) ist mittels eines Verriegelungsringes (24) festgelegt.
摘要翻译：的电子枪与直接加热的第一阴极（2），间接加热的第二Blockkatode（3）和一个聚焦电极（17）。聚焦电极（17）具有第一定心表面（18），和Blockkatode（3）同心地在具有与第一定心表面（18）的互补的支承环（19）支撑柱的装置，第二定心表面。由背面的支承环（19）的装置，其特征在于所述Blockkatode（3）在聚焦电极在这里使用和支承环（19）由一个锁定环（24）固定。

7. 发明授权

EP0271682B1 Verdampferanordnung mit einem rechteckigen Verdampfertiegel und mehreren Elektronenkanonen 失效转让
标题翻译：真空蒸发器沉积与矩形蒸发器可溶和几个ELEKTRON光束束
公开(公告)号：EP0271682B1
公开(公告)日：1990-08-01
申请号：EP87115863.0
申请日：1987-10-29
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Ranke, Horst, Dr. , Bauer, Volker , Feuerstein, Albert, Dr. , Dietrich, Walter, Dr.
IPC分类号： C23C14/30 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/3053 , C23C14/30

8. 发明授权

EP0217210B1 Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt und einer indirekt beheizbaren Katode 失效
标题翻译：电子束枪具有直接和间接加热的阴极
公开(公告)号：EP0217210B1
公开(公告)日：1990-04-04
申请号：EP86112696.9
申请日：1986-09-13
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Kraft, Reinhard , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J3/02 , H01J37/075
CPC分类号： H01J37/075 , H01J3/027

9. 发明公开

EP0271682A1 Verdampferanordnung mit einem rechteckigen Verdampfertiegel und mehreren Elektronenkanonen 失效转让
标题翻译：蒸发器装置包括一矩形的汽化坩埚和多个电子枪的。
公开(公告)号：EP0271682A1
公开(公告)日：1988-06-22
申请号：EP87115863.0
申请日：1987-10-29
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Ranke, Horst, Dr. , Bauer, Volker , Feuerstein, Albert, Dr. , Dietrich, Walter, Dr.
IPC分类号： C23C14/30 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/3053 , C23C14/30
摘要： Verdampferanordnung für die Beschichtung von Substraten. Ein rechteckiger Verdampfertiegel weist einen Tiegelrand und eine längste Tiegelachse auf sowie eine Mehrzahl von Elektronenkanonen, die auf einer Seite der Tiegelachse derart angeordnet sind, daß ihre Strahlachsen parallel zueinander verlaufen und auf eine durch die Tiegelachse gehende senkrechte Ebene ausgerichtet sind. Auf der den Elektronenkanonen (8, 9, 10) gegenüberliegenden Seite des Tiegels (1) sind eine abwechselnde Reihenanordnung von Linearspulen (17, 18, 19) und dazwischen sowie an deren Enden befindlichen Polplatten (20, 21, 22, 23) angeordnet. Jeweils zwei an den Enden einer Linearspule (17) liegende Polplatten (20, 21) haben eine solche Lage zu einer jeweils gegenüberliegenden Elektronenkanone (8), daß die Strahlachse sich im wesentlichen in einer zwischen den besagten Polplatten liegende senkrechten Symmetrieebene befindet.
摘要翻译：用于基材的涂层蒸发器布置。矩形汽化坩埚具有在坩埚边缘和最长坩埚轴，以及多个电子枪，它们设置在所述坩埚轴的一侧的，使得它们的光轴平行于彼此并且与穿过坩埚轴垂直平面的直线对齐。在相对的所述坩埚（1）的电子枪（8，9，10）是线性线圈（17，18，19）和它们之间的交替系列排列并位于极板（20，21，22，23）被布置的端部。每两个在位于极板（20,21）的线性线圈（17）的端部具有一个分别相对电子枪（8），该射束轴基本上位于之间的位于这样的位置，所述极板对称的垂直平面。

10. 发明公开

EP0218105A2 Einspannvorrichtung für spiralförmige Drahtkatoden 失效
标题翻译：对于螺旋Drahtkatoden夹紧装置。
公开(公告)号：EP0218105A2
公开(公告)日：1987-04-15
申请号：EP86112349.5
申请日：1986-09-06
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Kraft, Reinhard , Ranke, Horst, Dr.
IPC分类号： H01J1/18 , H01J37/06
CPC分类号： H01J1/18 , H01J37/06
摘要： Einspannvorrichtung für aus Draht spiralförmig gebogene, durch Stromdurchgang beheizbare Katoden (2) in Elektronenstrahlerzeugern. Zwei über einen Isolierkörper (8) miteinander verbundene Tragstützen (4, 5) stellen sektorförmige Ausschnitte aus einem Hohlzylinder dar und besitzen an ihren dem Isolierkörper (8) abgekehrten Enden je eine Umfangsnut. Die die Nuten begrenzenden Flächen sind Teile gemeinsamer Kreis- bzw. Zylinderflächen und die Einspannenden der Katode (2) sind in etwa komplementär zu den Nuten in den Tragstützen (4, 5) ausgebildet. Dadurch liegen diese Einspannenden federelastisch und formschlüssig in den Umfangsnuten.
摘要翻译：夹具丝螺旋弯曲，通过电流通路的阴极（2）在电子枪加热。两个以上的绝缘体（8）相互连接的支柱（4,5）代表的空心圆筒的扇形段和具有周向槽是在其绝缘本体（8）的朝向从每个端部远离。界定表面的凹槽是所述阴极的两端夹紧共同圆形或圆柱形表面的部分和（2）是在支撑柱的槽大致互补（4,5）形成。因此，这些夹紧端部是有弹性的和形状配合在周向槽。

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