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2. 发明公开

EP0271682A1 Verdampferanordnung mit einem rechteckigen Verdampfertiegel und mehreren Elektronenkanonen 失效转让
标题翻译：蒸发器装置包括一矩形的汽化坩埚和多个电子枪的。
公开(公告)号：EP0271682A1
公开(公告)日：1988-06-22
申请号：EP87115863.0
申请日：1987-10-29
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Ranke, Horst, Dr. , Bauer, Volker , Feuerstein, Albert, Dr. , Dietrich, Walter, Dr.
IPC分类号： C23C14/30 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/3053 , C23C14/30
摘要： Verdampferanordnung für die Beschichtung von Substraten. Ein rechteckiger Verdampfertiegel weist einen Tiegelrand und eine längste Tiegelachse auf sowie eine Mehrzahl von Elektronenkanonen, die auf einer Seite der Tiegelachse derart angeordnet sind, daß ihre Strahlachsen parallel zueinander verlaufen und auf eine durch die Tiegelachse gehende senkrechte Ebene ausgerichtet sind. Auf der den Elektronenkanonen (8, 9, 10) gegenüberliegenden Seite des Tiegels (1) sind eine abwechselnde Reihenanordnung von Linearspulen (17, 18, 19) und dazwischen sowie an deren Enden befindlichen Polplatten (20, 21, 22, 23) angeordnet. Jeweils zwei an den Enden einer Linearspule (17) liegende Polplatten (20, 21) haben eine solche Lage zu einer jeweils gegenüberliegenden Elektronenkanone (8), daß die Strahlachse sich im wesentlichen in einer zwischen den besagten Polplatten liegende senkrechten Symmetrieebene befindet.
摘要翻译：用于基材的涂层蒸发器布置。矩形汽化坩埚具有在坩埚边缘和最长坩埚轴，以及多个电子枪，它们设置在所述坩埚轴的一侧的，使得它们的光轴平行于彼此并且与穿过坩埚轴垂直平面的直线对齐。在相对的所述坩埚（1）的电子枪（8，9，10）是线性线圈（17，18，19）和它们之间的交替系列排列并位于极板（20，21，22，23）被布置的端部。每两个在位于极板（20,21）的线性线圈（17）的端部具有一个分别相对电子枪（8），该射束轴基本上位于之间的位于这样的位置，所述极板对称的垂直平面。

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