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    • 4. 发明申请
    • ECRAN TACTILE PIVOTANT POUR INSTALLATION DE DISTRIBUTION DE GAZ
    • 适用于气体分配设施的可触摸式触摸屏
    • WO2017021616A1
    • 2017-02-09
    • PCT/FR2016/051877
    • 2016-07-20
    • L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDEAIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
    • OUERD, AzizDULPHY, HervéDOS REIS, Henrique
    • F17C13/02F17D3/00
    • F17C13/02F17C2205/0326F17C2221/037F17C2227/04F17C2250/032F17C2250/043F17C2250/0636Y02P90/02
    • Installation de fourniture d'un gaz de travail munie d'une enceinte d'isolation (3) et d'une porte (3') pivotant autour d'un axe vertical pour permettre l'ouverture et la fermeture de ladite enceinte (3), comprenant au moins une source (5, 7) d'un gaz de travail sous pression, disposée dans l'enceinte d'isolation (3), et comprenant un dispositif de distribution (9) d'un gaz de travail, comprenant un ensemble de canalisations (15, 21, 23), relié à au moins une source (5, 7) de gaz de travail et à au moins une canalisation de sortie (10, 10A) pour acheminer le gaz de travail vers un poste de consommation (10B), des organes fonctionnels (25, 25A), notamment des vannes (27, 29, 27A, 29A) disposées dans les canalisations (15, 21, 23) et servant à réguler le flux du gaz de travail dans celles- ci, ainsi que des détecteurs (34, 34A) de fuites de gaz, et une unité de contrôle- commande (35, 35A) comprenant des moyens (37) de communication avec lesdits organes fonctionnels (35, 35A), des moyens (39) de contrôle de tâches relatives auxdits organes fonctionnels (25, 25A), et des moyens (45) de pilotage des moyens de contrôle (39), actionnables par un opérateur du dispositif de distribution (9, 9A), lesdits moyens de pilotage (45) comprenant un écran tactile (47) présentant des zones de commande (60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68) associées au contrôle de tâches correspondantes, caractérisée en ce que ledit écran tactile est fixé sur un boîtier (47A) intégré dans la porte (3'), ledit boîtier (47A) étant apte à et conçu pour pivoter autour d'un axe vertical (Y).
    • 本发明涉及一种用于提供工作气体的设备,该工作气体具有绝缘室(3)和可围绕垂直轴线枢转的门(3'),以便允许所述室(3)的打开和关闭,包括 布置在所述绝热室(3)中的加压工作气体的至少一个源(5,7),并且包括用于分配工作气体的装置(9),所述装置(9)包括一组管道(15,21,23),其连接到 工作气体的至少一个源(5,7)和至少一个出口管(10,10A),以便将工作气体输送到其将被消耗的工位(10B),功能构件(25,25A) ,特别是布置在管道(15,21,23)中并用于调节其中的工作气体流动的阀门(27,29,27A,29A)以及气体泄漏的检测器(34,34A) 以及包括用于与所述功能构件(35,35A)通信的装置(37)的监视和指令单元(35,35A),用于监视与所述功能构件相关的任务的装置(39) 构件(25,2A),以及用于控制可由分配装置(9,9A)的操作者致动的监视装置(39)的装置(45),所述控制装置(45)包括触摸屏(47) 与监视相应任务相关联的命令区域(60,61,62,63,64,65,66,67,68),其特征在于,所述触摸屏附接到内置在门(3')中的壳体(47A),所述 壳体(47A)能够并被设计成围绕垂直轴线(Y)枢转。
    • 6. 发明申请
    • DISTRIBUTION D'UN MÉLANGE GAZEUX DIÉLECTRIQUE VERS UN APPAREILLAGE HAUTE TENSION
    • 电介质气体混合物在高压设备中的分布
    • WO2018011489A1
    • 2018-01-18
    • PCT/FR2017/051854
    • 2017-07-07
    • L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
    • LORAY, FrédéricDULPHY, HervéSATIN, Ariel
    • H01H33/56F17C5/06H02B13/055
    • Procédé de distribution d'un mélange gazeux liquéfié isolant électrique vers un appareillage électrique à haute tension depuis un moyen de stockage contenant un mélange gazeux isolant, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : - Etape a) : chauffage dudit mélange gazeux isolant jusqu'à une température telle que le contenu du moyen de stockage soit un fluide homogène; - Etape b) : Prélèvement du mélange isolant issu de l'étape a) pour remplir un appareillage électrique à haute tension en rehaussant la température dudit mélange issu de l'étape a); caractérisé en ce que, pendant l'étape b), on applique une consigne de régulation à pression variable, calculée en temps réel à partir de la pesée du moyen de stockage, quand la variation de la consigne de pression est inférieure à 0,2 bar pour 1 kg/m3 de variation de la masse volumique, puis on applique une consigne de régulation à température constante jusqu'à ce que le moyen de stockage soit vidé de son contenu.
    • 处理程序; 分配液体气体混合物; 电气设备的电绝缘 来自含有绝缘气体混合物的存储装置的高电压,所述方法是 包括以下步骤: - 步骤a):将所述绝缘气态混合物加热至最大值 使得存储装置的内容物是均匀流体的温度; 步骤b):填充由步骤a)得到的绝缘混合物的绝缘物以填充电器。 通过升高来自步骤a)的所述混合物的温度来实现高电压; 字符é RISé 在步骤b)中,应用调节指令; 可变压力,实时计算; 从存储装置的称量中,当压力设定点的变化较小时; 对于1公斤/立方米的密度变化为0.2巴,然后应用调节设定值。 恒温达到; 存储装置被清空; 的内容。

    • 8. 发明申请
    • INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UN MÉLANGE DE GAZ POUR LE DOPAGE DE PLAQUETTES DE SILICIUM
    • WO2021244946A1
    • 2021-12-09
    • PCT/EP2021/064250
    • 2021-05-27
    • AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
    • TODOROVA, VaninaDULPHY, Hervé
    • H01L21/67H01L21/67017
    • Installation de distribution d'un mélange de gaz à une unité de dopage de plaquettes de silicium comprenant une source d'un gaz dopant (1), une source d'un gaz porteur (2), un dispositif mélangeur (3) relié au récipient de gaz dopant (1) et à la source de gaz porteur (2), un premier organe régulateur de débit (41) et un deuxième organe régulateur de débit (42) pour réguler les débits du gaz dopant (1) et du gaz porteur (2) vers le dispositif mélangeur (3), une unité de commande (5) pour commander les premier et deuxième organes régulateurs de débit (41, 42) de façon à ajuster la première consigne de débit (D1) et la deuxième consigne de débit (D2) selon des proportions déterminées en fonction d'au moins une teneur cible (C1, C2) du mélange en le gaz dopant (1) et/ou le gaz porteur (2), un réservoir tampon (7), une ligne de distribution (6) pour distribuer le mélange vers une unité de dopage (10) avec un débit de consommation (DC), au moins un capteur de mesure (8) pour mesurer une grandeur physique dont la variation est représentative d'une variation du débit de consommation (DC) et pour fournir un premier signal de mesure, l'unité de commande (5) étant reliée au capteur (8) et configurée pour élaborer un premier signal de commande à partir du premier signal de mesure, les organes régulateurs de débit (41, 42) étant configurés pour ajuster les première et deuxième consignes de débit (D1,D2) en réponse audit premier signal de commande.
    • 10. 发明申请
    • INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UN MÉLANGE DE GAZ
    • WO2021245000A1
    • 2021-12-09
    • PCT/EP2021/064478
    • 2021-05-31
    • AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
    • TODOROVA, VaninaDULPHY, Hervé
    • H01L21/67H01L21/67017
    • L'installation de distribution d'un mélange de gaz comprenant une source d'un premier gaz (1), une source d'un deuxième gaz (2), un dispositif mélangeur (3) relié fluidiquement à la source de premier gaz (1) et à la source de deuxième gaz (2), ledit dispositif mélangeur (3) étant configuré pour produire à une sortie (33) un mélange de gaz comprenant le premier gaz et le deuxième gaz, un premier organe régulateur de débit (41) et un deuxième organe régulateur de débit (42) configurés pour réguler respectivement le débit du premier gaz et le débit du deuxième gaz s'écoulant vers le dispositif mélangeur (3) suivant une première consigne de débit (D1) et une deuxième consigne de débit (D2) définissant en fonctionnement, un débit de production (DP) du mélange de gaz à la sortie (33) du dispositif mélangeur (3), une unité de commande (5) configurée pour commander les premier et deuxième organes régulateurs de débit (41, 42) de façon à ajuster la première consigne de débit (D1) et la deuxième consigne de débit (D2) selon des proportions respectives par rapport au débit de production (DP), lesdites proportions respectives étant déterminées en fonction d'au moins une teneur cible (C1, C2) du mélange de gaz en le premier gaz et/ou le deuxième gaz, un réservoir tampon (7) relié fluidiquement à la sortie (33) du dispositif mélangeur (3) d'une part et à une ligne de distribution (6) d'autre part, la ligne de distribution (6) étant configurée pour distribuer le mélange de gaz vers une unité consommatrice (10) avec un débit de consommation (DC) représentatif d'une consommation variable du mélange de gaz, au moins un capteur de mesure (8) configuré pour mesurer une grandeur physique dont la variation est représentative d'une variation du débit de consommation (DC) distribué par la ligne de distribution (6) et pour fournir un premier signal de mesure de ladite grandeur physique, l'unité de commande (5) étant reliée au capteur de mesure (8) et configurée pour élaborer un premier signal de commande à partir du premier signal de mesure, les organes régulateurs de débit (41, 42) étant configurés pour ajuster la première consigne de débit (D1) et la deuxième consigne de débit (D2) en réponse audit premier signal de commande.