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1. 发明申请

WO2022258247A1 DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UNE PHASE GAZEUSE D'UN PRÉCURSEUR SOLIDE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022258247A1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：PCT/EP2022/060165
申请日：2022-04-15
申请人： AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
发明人： PLAZA, Sonia , TODOROVA, Vanina , DULPHY, Hervé , LAURENT, Valere
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , C23C16/455 , B01D1/00 , B01D7/00
摘要： L'invention concerne un dispositif de distribution d'une phase gazeuse d'au moins un précurseur solide, ledit dispositif comprenant un récipient (1) destiné à contenir une phase solide (11) dudit précurseur, un premier moyen de chauffage (10) configuré pour chauffer au moins une partie du récipient (1) et/ou de la phase solide (11) de façon à former une phase gazeuse (12) dudit précurseur dans le récipient (1), des moyens de distribution (13, 14) reliés fluidiquement au récipient (1) et configurés pour distribuer la phase gazeuse (12) depuis le récipient (1) vers un point d'utilisation (60). Selon l'invention, le dispositif comprend une enceinte (2) ayant un volume interne dans lequel sont agencés le récipient (1) et lesdits moyens de distribution (13, 14), ledit dispositif comprenant en outre un deuxième moyen de chauffage (20) configuré pour chauffer au moins une partie du volume interne de l'enceinte (2).

2. 发明申请

WO2021244946A1 INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UN MÉLANGE DE GAZ POUR LE DOPAGE DE PLAQUETTES DE SILICIUM 审中-公开
公开(公告)号：WO2021244946A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：PCT/EP2021/064250
申请日：2021-05-27
申请人： AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
发明人： TODOROVA, Vanina , DULPHY, Hervé
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/67017
摘要： Installation de distribution d'un mélange de gaz à une unité de dopage de plaquettes de silicium comprenant une source d'un gaz dopant (1), une source d'un gaz porteur (2), un dispositif mélangeur (3) relié au récipient de gaz dopant (1) et à la source de gaz porteur (2), un premier organe régulateur de débit (41) et un deuxième organe régulateur de débit (42) pour réguler les débits du gaz dopant (1) et du gaz porteur (2) vers le dispositif mélangeur (3), une unité de commande (5) pour commander les premier et deuxième organes régulateurs de débit (41, 42) de façon à ajuster la première consigne de débit (D1) et la deuxième consigne de débit (D2) selon des proportions déterminées en fonction d'au moins une teneur cible (C1, C2) du mélange en le gaz dopant (1) et/ou le gaz porteur (2), un réservoir tampon (7), une ligne de distribution (6) pour distribuer le mélange vers une unité de dopage (10) avec un débit de consommation (DC), au moins un capteur de mesure (8) pour mesurer une grandeur physique dont la variation est représentative d'une variation du débit de consommation (DC) et pour fournir un premier signal de mesure, l'unité de commande (5) étant reliée au capteur (8) et configurée pour élaborer un premier signal de commande à partir du premier signal de mesure, les organes régulateurs de débit (41, 42) étant configurés pour ajuster les première et deuxième consignes de débit (D1,D2) en réponse audit premier signal de commande.

3. 发明申请

WO2003050634A2 PROCEDE DE REGULATION DU TITRE D'UNE SOLUTION, DISPOSITIF DE COMMANDE DE CETTE REGULATION ET SYSTEME COMPORTANT UN TEL DISPOSITIF 审中-公开
标题翻译：用于调节解决方案的方法，用于控制上述调节的装置和包含该装置的系统
公开(公告)号：WO2003050634A2
公开(公告)日：2003-06-19
申请号：PCT/FR2002/004250
申请日：2002-12-10
申请人： AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS , DULPHY, Hervé , MARTIN, Christophe
发明人： DULPHY, Hervé , MARTIN, Christophe
IPC分类号： G05D11/00
CPC分类号： G05D11/138
摘要： L'invention concerne un procédé de régulation du titre d'une solution, dans lequel une quantité prédéterminée d'un produit contenu dans la solution est ajoutée dans la solution selon un intervalle de temps, dit intervalle d'ajout, proportionnel au produit du coefficient temporel D de dégradation dudit produit en solution et au volume total Vt de la solution au moment de l'ajout. Elle concerne également un dispositif de commande de la régulation du titre d'une solution, cette solution contenant un produit, comportant des moyens (10) pour commander l'injection d'une quantité prédéterminée dudit produit dans ladite solution selon un intervalle de temps, dit intervalle d'ajout, proportionnel au produit du coefficient temporel D de dégradation dudit produit en solution et au volume total Vt de la solution au moment de l'ajout.
摘要翻译：本发明涉及一种用于调节溶液滴度的系统，该系统包括在溶液中加入包含在溶液中的预定量的产品，该时间间隔称为加料时间间隔，该时间间隔与时间系数D的乘积成比例所述产物在溶液中的降解和溶液加入时的总体积Vt。本发明还涉及一种用于控制溶液滴度调节的装置，所述溶液含有一种产品，其包括用于根据时间间隔控制将预定量的所述产品注入所述溶液的装置（10），称为加料时间间隔，与所述产物的降解时间系数D与添加时溶液的总体积Vt的乘积成比例。

4. 发明申请

WO2021245000A1 INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UN MÉLANGE DE GAZ 审中-公开
公开(公告)号：WO2021245000A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：PCT/EP2021/064478
申请日：2021-05-31
申请人： AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
发明人： TODOROVA, Vanina , DULPHY, Hervé
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/67017
摘要： L'installation de distribution d'un mélange de gaz comprenant une source d'un premier gaz (1), une source d'un deuxième gaz (2), un dispositif mélangeur (3) relié fluidiquement à la source de premier gaz (1) et à la source de deuxième gaz (2), ledit dispositif mélangeur (3) étant configuré pour produire à une sortie (33) un mélange de gaz comprenant le premier gaz et le deuxième gaz, un premier organe régulateur de débit (41) et un deuxième organe régulateur de débit (42) configurés pour réguler respectivement le débit du premier gaz et le débit du deuxième gaz s'écoulant vers le dispositif mélangeur (3) suivant une première consigne de débit (D1) et une deuxième consigne de débit (D2) définissant en fonctionnement, un débit de production (DP) du mélange de gaz à la sortie (33) du dispositif mélangeur (3), une unité de commande (5) configurée pour commander les premier et deuxième organes régulateurs de débit (41, 42) de façon à ajuster la première consigne de débit (D1) et la deuxième consigne de débit (D2) selon des proportions respectives par rapport au débit de production (DP), lesdites proportions respectives étant déterminées en fonction d'au moins une teneur cible (C1, C2) du mélange de gaz en le premier gaz et/ou le deuxième gaz, un réservoir tampon (7) relié fluidiquement à la sortie (33) du dispositif mélangeur (3) d'une part et à une ligne de distribution (6) d'autre part, la ligne de distribution (6) étant configurée pour distribuer le mélange de gaz vers une unité consommatrice (10) avec un débit de consommation (DC) représentatif d'une consommation variable du mélange de gaz, au moins un capteur de mesure (8) configuré pour mesurer une grandeur physique dont la variation est représentative d'une variation du débit de consommation (DC) distribué par la ligne de distribution (6) et pour fournir un premier signal de mesure de ladite grandeur physique, l'unité de commande (5) étant reliée au capteur de mesure (8) et configurée pour élaborer un premier signal de commande à partir du premier signal de mesure, les organes régulateurs de débit (41, 42) étant configurés pour ajuster la première consigne de débit (D1) et la deuxième consigne de débit (D2) en réponse audit premier signal de commande.

5. 发明申请

WO2007099081A1 METHOD FOR TREATING EFFLUENTS CONTAINING FLUOROCOMPOUNDS LIKE PFC AND HFC 审中-公开
标题翻译：用于处理含氟化合物的液体的方法，如PFC和HFC
公开(公告)号：WO2007099081A1
公开(公告)日：2007-09-07
申请号：PCT/EP2007/051811
申请日：2007-02-26
申请人： L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE , AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS , MOINE, Pascal , DULPHY, Hervé , LARQUET, Christian , EL-KRID, Aicha , GUERIN, Daniel , ROSTAING, Jean-Christophe , LESORT, Anne-Laure , SANDRE, Etienne
发明人： MOINE, Pascal , DULPHY, Hervé , LARQUET, Christian , EL-KRID, Aicha , GUERIN, Daniel , ROSTAING, Jean-Christophe , LESORT, Anne-Laure , SANDRE, Etienne
IPC分类号： B01D53/32 , B01D53/70 , B01J19/08
CPC分类号： B01D53/323 , B01D53/70 , B01D2257/2066 , B01D2259/818 , Y02C20/30
摘要： The invention relates to a method for destroying effluents issuing from a reactor, the said effluents being transported through at least one pump towards plasma means capable of destroying at least certain bonds in the molecules of the PFC or HFC type between the fluorine and the other elements of these molecules of the PFC or HFC type, in order to generate first species which are then converted to second gaseous, liquid or solid species before interaction of these second species with dry or wet purifying means. According to the invention, at least one reducing agent is injected upstream and/or downstream of the plasma, but upstream of the purifying means, in order to react with the first species created.
摘要翻译：本发明涉及一种用于破坏从反应器排出的污水的方法，所述流出物通过至少一个泵输送到等离子体装置，所述等离子体装置能够在氟和其它元素之间破坏PFC或HFC型分子中的至少某些键的PFC或HFC类型的这些分子，以便产生第一物质，然后在将这些第二物质与干或湿净化装置相互作用之前将其转化为第二气态，液体或固体物质。根据本发明，至少一种还原剂被注入到等离子体的上游和/或下游，但在净化装置的上游，以便与所产生的第一种类物质反应。

6. 发明申请

WO2007007003A2 PROCEDE DE TRAITEMENT PAR PLASMA D'EFFLUENTS GAZEUX 审中-公开
标题翻译：气体处理等离子体处理方法
公开(公告)号：WO2007007003A2
公开(公告)日：2007-01-18
申请号：PCT/FR2006/050699
申请日：2006-07-10
申请人： L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE , AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS , GUERIN, Daniel , LARQUET, Christian , EL-KRID, Aicha , ROSTAING, Jean-Christophe , MOISAN, Michel , MOINE, Pascal , DULPHY, Hervé , LESORT, Anne-Laure , SANDRE, Etienne
发明人： GUERIN, Daniel , LARQUET, Christian , EL-KRID, Aicha , ROSTAING, Jean-Christophe , MOISAN, Michel , MOINE, Pascal , DULPHY, Hervé , LESORT, Anne-Laure , SANDRE, Etienne
CPC分类号： C23C16/4412 , B01D53/323 , B01D53/70 , B01D2259/818 , H05H1/46 , H05H2001/4615 , Y02C20/20 , Y02C20/30
摘要： L'invention concerne un procédé de traitement, par plasma, d'effluents gazeux à pression sensiblement atmosphérique, comportant - l'injection de l'effluent à traiter dans une torche à plasma, - l'injection de vapeur d'eau, en amont ou en aval du plasma.
摘要翻译：本发明涉及一种基本上在大气压下等离子体处理气体流出物的方法，包括：将待处理流出物注入等离子体焰炬中; 在等离子体的上游或下游注入水蒸气。

7. 发明申请

WO2017021617A1 PILOTAGE D'UNE INSTALLATION DE DISTRIBUTION DE GAZ À DISTANCE 审中-公开
标题翻译：气体分配设施的远程控制
公开(公告)号：WO2017021617A1
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：PCT/FR2016/051878
申请日：2016-07-20
申请人： L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE , AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
发明人： OUERD, Aziz , DOS REIS, Henrique , DULPHY, Hervé
IPC分类号： G05B19/042 , G05B19/05 , F17C13/02 , G05B15/02 , F17C13/08 , H01L21/67
CPC分类号： G05B19/0426 , F17C13/00 , F17C2221/035 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/036 , F17C2227/044 , F17C2250/034 , F17C2270/0518 , G05B15/02 , G05B19/058 , G05B2219/13144 , G05B2219/15117 , G05B2219/163 , G05B2219/25167 , G05B2219/2642
摘要： Installation de distribution de gaz comprenant: - un logement adapté pour recevoir au moins une bouteille de gaz et ayant une ouverture d'entrée de gaz et une ouverture de sortie de gaz; - un système de conduits de gaz arrangé dans ledit logement auquel ladite au moins une bouteille de gaz est connectée; - un système de distribution de gaz relié à ladite ouverture de sortie permettant l'alimentation d'un équipement, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un port de communication et un automate programmable, ledit automate étant muni d'un processeur apte à traiter des données provenant au moins en partie d'un système de stockage et de traitement de données portable distinct de l'installation.
摘要翻译：本发明涉及一种气体分配设备，包括：适于接收至少一个气瓶并具有气体入口和气体出口的凹部; 布置在所述凹部中并连接所述至少一个气瓶的气体管道系统; 气体分配系统，其连接到所述出口开口并且可以提供装置，其特征在于，所述设施包括至少一个通信端口和可编程控制器，所述控制器设置有能够处理源自至少部分地来自用于存储和处理与设施分离的数据的便携式系统。

8. 发明申请

WO2017021615A1 INSTALLATION DE DISTRIBUTION DE GAZ DE TRAVAIL 审中-公开
标题翻译：分配工作气体的设施
公开(公告)号：WO2017021615A1
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：PCT/FR2016/051876
申请日：2016-07-20
申请人： L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE , AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS
发明人： OUERD, Aziz , DULPHY, Hervé , LAURENT, Valère , SIAUVE, Stéphane
IPC分类号： F17C13/08
CPC分类号： F17C13/084 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0134 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2221/016 , F17C2221/033 , F17C2221/035 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2227/042 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/034 , F17C2250/043 , F17C2260/018 , F17C2260/044 , F17C2270/05 , F17C2270/0518 , Y02E60/321
摘要： Installation (1) de fourniture de gaz munie d'une enceinte d'isolation comprenant une paroi arrière (102) et deux parois latérales (100) ainsi que d'une porte (101) pivotant autour d'un axe vertical (X) pour permettre l'ouverture et la fermeture de l'enceinte, ladite installation (1) comprenant deux blocs multifonctions (3), abritant un circuit de fluide, fixés sur ladite paroi arrière à l'intérieure de ladite enceinte et comprenant chacun: - un unique détendeur (4) haute pression, - un système de purge constitué de trois vannes (V1, V2, V3) basse pression, - un moyen de connexion (6) fluidique vers le contenu d'une bouteille (B, B'), - une sortie permettant l'alimentation en gaz d'un équipement, caractérisée en ce que le détendeur (4) haute pression est situé en amont du système de purge et en ce que la surface de l'empreinte murale de chaque bloc multifonctions sur ladite paroi arrière est inférieure à 270 cm 2 , de préférence inférieure à 220 cm 2 .
摘要翻译：本发明涉及一种用于提供设置有包括后壁（102）和两个侧壁（100）的绝缘室的气体的设备（1）以及围绕垂直轴线（X）顺序枢转的门（101）为了允许室的打开和关闭，包括保护流体回路的两个多功能块（3）的所述设备（1）附接到所述室内的所述后壁，并且每个包括：单个高压调节器（4））; 由三个低压阀（V1，V2，V3）组成的清洗系统; 用于流体连接到气缸（B，B'）的内容物的装置（6）; 以及允许设备供应气体的出口，其特征在于，所述高压调节器（4）位于所述清洗系统的上游，并且所述后壁上的每个多功能块的所述壁凹槽的表面积为小于270cm2，优选小于220cm2。

9. 发明申请

WO2006070166A1 SYSTEME ET METHODE DE DISTRIBUTION DE LIQUIDES CHIMIQUES 审中-公开
标题翻译：用于分配化学液体的系统和方法
公开(公告)号：WO2006070166A1
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：PCT/FR2005/051135
申请日：2005-12-22
申请人： AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS , DULPHY, Hervé , TANTET, Jacqueline , TAGLIONE, Frédérique
发明人： DULPHY, Hervé , TANTET, Jacqueline , TAGLIONE, Frédérique
IPC分类号： B67D5/02
CPC分类号： B67D7/025 , Y10T137/0318 , Y10T137/0324 , Y10T137/0424 , Y10T137/8593 , Y10T428/139
摘要： L'invention concerne un système de distribution de produits chimiques dans une usine de fabrication de semi-conducteurs d'écrans plats ou de diodes électroluminescentes qui comporte des moyens de stockage desdits produits liquides, des moyens de distribution desdits produits liquides et des moyens d'utilisation desdits produits liquides, les liquides étant distribués de moyens de stockage vers les moyens d'utilisation par l'intermédiaire de moyens de distribution.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在生产玻璃屏半导体或发光二极管的工厂中分配化学产品的系统，包括用于存储所述液体产品的装置和用于其分配和使用的装置，其中液体产品可从存储装置通过分发手段来使用手段。

10. 发明申请

WO2003050634A3 PROCEDE DE REGULATION DU TITRE D'UNE SOLUTION, DISPOSITIF DE COMMANDE DE CETTE REGULATION ET SYSTEME COMPORTANT UN TEL DISPOSITIF 审中-公开
公开(公告)号：WO2003050634A3
公开(公告)日：2003-06-19
申请号：PCT/FR2002/004250
申请日：2002-12-10
申请人： AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS , DULPHY, Hervé , MARTIN, Christophe
发明人： DULPHY, Hervé , MARTIN, Christophe
IPC分类号： G05D11/13
摘要： L'invention concerne un procédé de régulation du titre d'une solution, dans lequel une quantité prédéterminée d'un produit contenu dans la solution est ajoutée dans la solution selon un intervalle de temps, dit intervalle d'ajout, proportionnel au produit du coefficient temporel D de dégradation dudit produit en solution et au volume total Vt de la solution au moment de l'ajout. Elle concerne également un dispositif de commande de la régulation du titre d'une solution, cette solution contenant un produit, comportant des moyens (10) pour commander l'injection d'une quantité prédéterminée dudit produit dans ladite solution selon un intervalle de temps, dit intervalle d'ajout, proportionnel au produit du coefficient temporel D de dégradation dudit produit en solution et au volume total Vt de la solution au moment de l'ajout.

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