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1. 发明申请

WO2010093903A3 OPTICAL PUMPING TO SUSTAIN HOT PLASMA 审中-公开
标题翻译：光泵浦以维持热等离子体
公开(公告)号：WO2010093903A3
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/US2010024074
申请日：2010-02-12
申请人： KLA TENCOR CORP , BEZEL ILYA V , SHCHEMELININ ANOTOLY , SHIFRIN EUGENE , DERSTINE MATTHEW W
发明人： BEZEL ILYA V , SHCHEMELININ ANOTOLY , SHIFRIN EUGENE , DERSTINE MATTHEW W
IPC分类号： H05G2/00 , H05H1/24
CPC分类号： G21B1/23
摘要： This application claims all rights and priority on co-pending United States provisional patent application serial number 61/152,578 filed 2009.02.13. This invention relates to the field of plasma light sources. More particularly, this invention relates to increasing the brightness of plasma light sources.
摘要翻译：本申请要求于2009年2月13日提交的共同未决的美国临时专利申请序列号61 / 152,578的全部权利和优先权。等离子光源技术领域本发明涉及等离子光源领域。更具体地说，本发明涉及增加等离子光源的亮度。

2. 发明申请

WO2011022573A3 IMAGE COLLECTION 审中-公开
标题翻译：图像收藏
公开(公告)号：WO2011022573A3
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：PCT/US2010046055
申请日：2010-08-20
申请人： KLA TENCOR CORP , KIRK GREGORY L , DERSTINE MATTHEW W , HWANG SHIOW-HWEI , LEWIS ISABELLA T
发明人： KIRK GREGORY L , DERSTINE MATTHEW W , HWANG SHIOW-HWEI , LEWIS ISABELLA T
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/956
摘要： An inspection system for creating images of a substrate. A light source directs an incident light onto the substrate, and a light source timing control controls a pulse timing of the incident light. A stage holds the substrate and moves the substrate under the incident light, so that the substrate reflects the incident light as a reflected light. A stage position sensor reports a position of the stage, and a stage position control controls the position of the stage. A time domain integration sensor receives the reflected light, and a time domain integration sensor timing control controls a line shift of the time domain integration sensor. A control system is in communication with the light source timing control, the stage position control, and the time delay integration sensor timing control, and sets the pulse timing of the incident light, the position of the stage, and the line shift of the time delay integration sensor, such that a single line of the time domain integration sensor integrates reflected light from more than one pulse of the incident light from the light source.
摘要翻译：一种用于创建基板的图像的检查系统。光源将入射光引导到基板上，并且光源定时控制器控制入射光的脉冲定时。台阶保持基板并在入射光下移动基板，使得基板作为反射光反射入射光。舞台位置传感器报告舞台的位置，舞台位置控制控制舞台的位置。时域积分传感器接收反射光，时域积分传感器定时控制控制时域积分传感器的线偏移。控制系统与光源定时控制，平台位置控制和时间延迟积分传感器定时控制通信，并且设置入射光的脉冲定时，平台的位置和时间的线偏移延迟积分传感器，使得单行的时域积分传感器集成来自光源的入射光的多于一个脉冲的反射光。

3. 发明专利

DE112014001493T5 Verfahren und System zur Steuerung der Konvektion innerhalb einer Plasmazelle 未知
公开(公告)号：DE112014001493T5
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：DE112014001493
申请日：2014-05-28
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA , SHCHEMELININ ANATOLY , DERSTINE MATTHEW W
IPC分类号： H01J61/30
摘要： Eine Plasmazelle zur Steuerung von Konvektion beinhaltet ein Transmissionselement, welches dazu ausgebildet ist, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um ein Plasma innerhalb eines Plasmaerzeugungsgebiets des Gasvolumens zu erzeugen. Die Plasmazelle beinhaltet auch ein oberes Strömungssteuerelement, welches oberhalb der Plasmaerzeugung angeordnet ist und einen inneren Kanal beinhaltet, der dazu ausgelegt ist, eine Fahne des Plasmas nach oben zu leiten, und ein unteres Strömungssteuerelement, welches unterhalb des Plasmaerzeugungsgebiets angeordnet ist und einen Kanal beinhaltet, der dazu ausgelegt ist, Gas nach oben zu dem Plasmaerzeugungsgebiet zu leiten. Das obere Strömungssteuerelement und das untere Strömungssteuerelement sind so innerhalb des Transmissionselements angeordnet, dass sie einen oder mehrere Gasrückführkanäle bilden, um Gas von einem Bereich oberhalb des Plasmaerzeugungsgebiets zu einem Bereich unterhalb des Plasmaerzeugungsgebiets zu leiten.

4. 发明专利

DE112014001747B4 Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Konvektionsströmung in einem lichtgestützten Plasma 未知
公开(公告)号：DE112014001747B4
公开(公告)日：2022-07-28
申请号：DE112014001747
申请日：2014-03-28
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA V , SHCHEMELININ ANATOLY , DERSTINE MATTHEW W , GROSS KENNETH P , SHORTT DAVID W , ZHAO WEI , CHIMMALGI ANANT , WANG JINCHENG
IPC分类号： H01J65/04 , H01J65/00 , H05H1/24
摘要： Vorrichtung (100) zur Steuerung einer Konvektionsströmung in einem lichtgestützten Plasma umfassend:• eine Beleuchtungsquelle (112), die konfiguriert ist, um Beleuchtung (114) zu erzeugen;• eine Plasmazelle (104), die einen Kolben (105) umfasst, um ein Gasvolumen (103) zu enthalten;• ein Kollektorelement (102), das angeordnet ist, um die Beleuchtung (114) aus der Beleuchtungsquelle (112) in das Gasvolumen (103) zu fokussieren, um ein Plasma (106) innerhalb des im Kolben enthaltenen Gasvolumens (103) zu erzeugen, wobei ein Teil der Plasmazelle (104) in einem konkaven Bereich (109) des Kollektorelements (102) angeordnet ist, und wobei das Kollektorelement (102) eine Öffnung (108) enthält, durch welche Öffnung sich ein Teil der Plasmazelle erstreckt, damit ein Teil einer Plasmafahne (107) sich zu einem Bereich (110) außerhalb des konkaven Bereichs (109) des Kollektorelements (102) ausbreitet;• ein außenliegendes Plasmasteuerelement (128), welches im Bereich (110) außerhalb des konkaven Bereichs (109) des Kollektorelements (102) platziert ist, wobei das außenliegende Plasmasteuerelement (128) wenigstens eine Struktur beinhaltet, die innerhalb des Plasmakolbens (105) angeordnet ist oder die außerhalb des Plasmakolbens (105) angeordnet ist;• wobei das außenliegende Plasmasteuerelement (128) ein außenliegendes Konvektionssteuerelement umfasst, wobei das außenliegende Konvektionssteuerelement innerhalb des Plasmakolbens (105) platziert und dazu angeordnet ist, Konvektionsströme innerhalb des Plasmakolbens (105) zu steuern.

5. 发明专利

DE112014001493B4 Plasmazelle zur Steuerung von Konvektion sowie Verfahren und System zur Steuerung von Konvektion in einer Plasmazelle 未知
公开(公告)号：DE112014001493B4
公开(公告)日：2022-09-01
申请号：DE112014001493
申请日：2014-05-28
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA , SHCHEMELININ ANATOLY , DERSTINE MATTHEW W
IPC分类号： H01J65/04 , H01J61/30 , H01J65/00
摘要： Plasmazelle zur Steuerung von Konvektion, umfassend:ein Transmissionselement, das eine oder mehrere Öffnungen aufweist,einen oder mehrere Flansche, die an der einen oder den mehreren Öffnungen des Transmissionselements angebracht und dazu ausgebildet sind, das Innenvolumen des Transmissionselements einzuschließen, um ein Gasvolumen innerhalb des Transmissionselements einzuschließen, wobei das Transmissionselement dazu ausgebildet ist, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um ein Plasma innerhalb eines Plasmaerzeugungsgebietes des Gasvolumens zu erzeugen, wobei das Plasma Breitbandstrahlung emittiert, wobei das Transmissionselement der Plasmazelle zumindest teilweise transparent für zumindest einen Teil der von der Beleuchtungsquelle erzeugten Beleuchtung und zumindest einen Teil der vom Plasma emittierten Breitbandstrahlung ist;ein oberes Strömungssteuerelement, welches oberhalb des Plasmaerzeugungsgebietes und innerhalb des Transmissionselements angeordnet ist, wobei das obere Strömungssteuerelement einen oder mehrere innere Kanäle beinhaltet, die dazu ausgelegt sind, zumindest einen Teil einer Fahne des Plasmas nach oben zu leiten;ein unteres Strömungssteuerelement, welches unterhalb des Plasmaerzeugungsgebietes und innerhalb des Transmissionselements angeordnet ist, wobei das untere Strömungssteuerelement einen oder mehrere innere Kanäle beinhaltet, die dazu ausgelegt sind, Gas nach oben zu dem Plasmaerzeugungsgebiet zu leiten; undwobei das obere Strömungssteuerelement und das untere Strömungssteuerelement so innerhalb des Transmissionselements angeordnet sind, dass sie einen oder mehrere Gasrückführkanäle bilden, um Gas von einem Bereich oberhalb des Plasmaerzeugungsgebietes zu einem Bereich unterhalb des Plasmaerzeugungsgebietes zu transferieren, wobei sich die Ausdrücke „oben“, „oberhalb“, „unterhalb“, „obere“ und „untere“ auf eine Richtung der natürlichen Konvektion beziehen, welche aufwärts gerichtet ist.

6. 发明专利

DE112015001498T5 Offene Plasmalampe zur Bildung eines mittels Licht aufrechterhaltenen Plasmas 未知
公开(公告)号：DE112015001498T5
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：DE112015001498
申请日：2015-03-27
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： DELGADO GILDARDO , WILSON LAUREN , CHIMMALGI ANANT , BEZEL ILYA , SHCHEMELININ ANATOLY , DERSTINE MATTHEW W
IPC分类号： H01J65/04
摘要： Eine offene Plasmalampe enthält einen Hohlraumabschnitt. Ein Gaseinlass und Gasauslass des Hohlraumabschnitts sind angeordnet, um Gas durch den Hohlraumabschnitt fließen zu lassen. Die Plasmalampe weist auch eine Gasversorgungsanordnung auf, die fluide mit dem Gaseinlass des Hohlraumabschnitts gekoppelt und konfiguriert ist, Gas zu einem inneren Volumen des Hohlraumabschnitts zu liefern. Die Plasmalampe umfasst auch eine Düsenanordnung, die fluide mit dem Gasauslass des Hohlraumabschnitts gekoppelt ist. Die Düsenanordnung und Hohlraumabschnitt sind derart angeordnet, dass ein Volumen des Gases von einer Pumpquelle eine Beleuchtung zum Pumpen empfängt, wobei das mittels Licht aufrechterhaltene Plasma eine Breitbandstrahlung emittiert. Die Düsenanordnung ist konfiguriert, um eine konvektive Gasströmung aus dem Inneren des Hohlraumabschnitts zu einem Bereich außerhalb der Hohlraumabschnitt bereitzustellen, so dass ein Teil des aufrechterhaltenen Plasmas aus dem Hohlraumabschnitt durch den Gasstrom entfernt wird.

7. 发明专利

DE112012002703T5 Optisches Pumpen zum Erhalt von Plasma 未知
公开(公告)号：DE112012002703T5
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：DE112012002703
申请日：2012-06-25
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA V , SHCHEMELININ ANOTOLY , DERSTINE MATTHEW W
IPC分类号： H05H1/24
摘要： Es ist ein Verfahren zum Aufrechterhalten eines Plasmas offenbart, das das Bereitstellen eines Gasvolumens umfasst. Es wird eine erste ausgewählte Wellenlänge erzeugt. Danach erfolgt das Bilden einer ersten Plasmaart in einer ersten Region des Gases und einer zweiten Plasmaart in mindestens einer zweiten Region des Gases, indem eine Fokussierung der Beleuchtung der ersten ausgewählten Wellenlänge in das Volumen des Gases erfolgt, wobei die erste Region eine erste Durchschnittstemperatur und eine erste Größe hat, die mindestens eine zweite Region mindestens eine zweite Durchschnittstemperatur und mindestens eine zweite Größe hat, die Beleuchtung der ersten ausgewählten Wellenlänge im Wesentlichen durch die mindestens eine zweite Plasmaart übertragen wird, die Beleuchtung der ersten ausgewählten Wellenlänge im Wesentlichen durch die erste Plasmaart absorbiert wird, indem die erste ausgewählte Wellenlänge der Beleuchtung auf eine Absorptionslinie der ersten Plasmaart angepasst wird, und die Absorptionslinie mit mindestens einem ionischen Absorptionsübergang oder einem neutralen Absorptionsübergang der ersten Plasmaart verbunden ist.

8. 发明专利

DE112014001747T5 Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Konvektionsströmung in einem lichtgestützten Plasma 未知
公开(公告)号：DE112014001747T5
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：DE112014001747
申请日：2014-03-28
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA V , DERSTINE MATTHEW W , GROSS KENNETH P , SHORTT DAVID W , ZHAO WEI , CHIMMALGI ANANT , WANG JINCHENG , SHCHEMELININ ANATOLY
IPC分类号： H01J61/02
摘要： Eine Vorrichtung zur Steuerung einer Konvektionsströmung in einem lichtgestützten Plasma umfasst eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist, um Beleuchtung zu erzeugen, eine Plasmazelle, die einen Kolben zum Einschluss eines Gasvolumens umfasst, ein Kollektorelement, das angebracht ist, um Beleuchtung aus der Beleuchtungsquelle in das Gasvolumen zu fokussieren, um ein Plasma innerhalb des Gasvolumens, das im Kolben enthalten ist, zu erzeugen. Außerdem ist die Plasmazelle innerhalb eines konkaven Bereichs des Kollektorelements angeordnet, wobei das Kollektorelement eine Öffnung umfasst, damit ein Teil einer Plasmafahne sich zu einem Bereich außerhalb des konkaven Bereichs des Kollektorelements ausbreitet.

9. 发明专利

DE112013000595T5 Plasmazelle zur Filterung von VUV-Strahlung in einer mittels eines Lasers aufrechterhaltenen Plasmalichtquelle 未知
公开(公告)号：DE112013000595T5
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：DE112013000595
申请日：2013-01-17
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA V , PANZER MATTHEW , DERSTINE MATTHEW W , PATIL RAJEEV , SHCHEMELININ ANATOLY , SHIFRIN EUGENE , WANG JINCHENG , CHIMMALGI ANANT , BRUNNER RUDOLF
IPC分类号： H01J65/04
摘要： Eine Plasmazelle (100) zur Verwendung in einer mittels Laser aufrechterhaltenen Plasmalichtquelle umfasst einen Plasmakolben (102), der derart konfiguriert ist, dass er ein zur Erzeugung eines Plasmas (106) geeignetes Gas enthält. Der Plasmakolben (102) ist im Wesentlichen für Licht von einem Pumplaser transparent, um das Plasma (106) innerhalb des Plasmakolbens (102) aufrecht zu erhalten. Der Plasmakolben (102) ist im Wesentlichen transparent für mindestens einen Abschnitt eines sammelbaren spektralen Bereichs der Beleuchtung, die durch das Plasma (106) emittiert wird. Eine Filterschicht (104) ist auf einer inneren Oberfläche des Plasmakolbens (102) angeordnet, wobei die Filterschicht (104) so konfiguriert ist, dass sie einen ausgewählten Spektralbereich der vom Plasma (106) emittierten Beleuchtung blockiert.

10. 发明专利

DE112012002689T5 Adaptive Optik zum Ausgleich von Aberrationen bei mit Licht aufrechterhaltenen Plasmazellen 未知
公开(公告)号：DE112012002689T5
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：DE112012002689
申请日：2012-06-25
申请人： KLA TENCOR CORP
发明人： BEZEL ILYA V , SHCHEMELININ ANOTOLY , ZHAO YANMING , DERSTINE MATTHEW W
IPC分类号： H01S3/097 , G02B26/00
摘要： Es ist eine Vorrichtung zur Korrektur von in einer Plasmazelle erzeugten Aberrationen offenbart. Die Vorrichtung umfasst eine Lichtquelle zum Erzeugen einer Beleuchtung. Ferner ist eine Plasmazelle vorgesehen, wobei die Plasmazelle einen Kolben für ein Gasvolumen besitzt. Eine Ellipse ist derart ausgebildet, dass eine Beleuchtung von der Beleuchtungsquelle in das Gasvolumen fokussierbar ist, um ein Plasma innerhalb des Gasvolumens zu erzeugen. Ein oder mehrere adaptive optische Elemente sind derart konfiguriert, dass Aberrationen von einem oder mehreren optischen Elementen kompensiert werden, wobei das eine oder die mehreren adaptiven optischen Elemente entlang eines Beleuchtungspfads zwischen der Lichtquelle und der Plasmazelle angeordnet sind.

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