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    • 1. 发明申请
      WO2011022573A3 IMAGE COLLECTION 审中-公开
    • IMAGE COLLECTION
    • 图像收藏
    • WO2011022573A3
    • 2011-07-14
    • PCT/US2010046055
    • 2010-08-20
    • KLA TENCOR CORP , KIRK GREGORY L , DERSTINE MATTHEW W , HWANG SHIOW-HWEI , LEWIS ISABELLA T
    • KIRK GREGORY L , DERSTINE MATTHEW W , HWANG SHIOW-HWEI , LEWIS ISABELLA T
    • H01L21/66
    • G01N21/956
    • An inspection system for creating images of a substrate. A light source directs an incident light onto the substrate, and a light source timing control controls a pulse timing of the incident light. A stage holds the substrate and moves the substrate under the incident light, so that the substrate reflects the incident light as a reflected light. A stage position sensor reports a position of the stage, and a stage position control controls the position of the stage. A time domain integration sensor receives the reflected light, and a time domain integration sensor timing control controls a line shift of the time domain integration sensor. A control system is in communication with the light source timing control, the stage position control, and the time delay integration sensor timing control, and sets the pulse timing of the incident light, the position of the stage, and the line shift of the time delay integration sensor, such that a single line of the time domain integration sensor integrates reflected light from more than one pulse of the incident light from the light source.
    • 一种用于创建基板的图像的检查系统。 光源将入射光引导到基板上，并且光源定时控制器控制入射光的脉冲定时。 台阶保持基板并在入射光下移动基板，使得基板作为反射光反射入射光。 舞台位置传感器报告舞台的位置，舞台位置控制控制舞台的位置。 时域积分传感器接收反射光，时域积分传感器定时控制控制时域积分传感器的线偏移。 控制系统与光源定时控制，平台位置控制和时间延迟积分传感器定时控制通信，并且设置入射光的脉冲定时，平台的位置和时间的线偏移 延迟积分传感器，使得单行的时域积分传感器集成来自光源的入射光的多于一个脉冲的反射光。
    • 基本信息 添加关注 加入工作空间 PDF全文 PDF下载 全文下载 相似专利 双屏查看 权利要求书 说明书全文 Global Dossier Espacenet 法律信息 同族专利 专利引用
    • 7. 发明申请
      WO2011022573A2 IMAGE COLLECTION 审中-公开
    • IMAGE COLLECTION
    • 图像收集
    • WO2011022573A2
    • 2011-02-24
    • PCT/US2010/046055
    • 2010-08-20
    • KLA-TENCOR CORPORATION , KIRK, Gregory L. , DERSTINE, Matthew W. , HWANG, Shiow-Hwei , LEWIS, Isabella T.
    • KIRK, Gregory L. , DERSTINE, Matthew W. , HWANG, Shiow-Hwei , LEWIS, Isabella T.
    • H01L21/66
    • G01N21/956
    • An inspection system for creating images of a substrate. A light source directs an incident light onto the substrate, and a light source timing control controls a pulse timing of the incident light. A stage holds the substrate and moves the substrate under the incident light, so that the substrate reflects the incident light as a reflected light. A stage position sensor reports a position of the stage, and a stage position control controls the position of the stage. A time domain integration sensor receives the reflected light, and a time domain integration sensor timing control controls a line shift of the time domain integration sensor. A control system is in communication with the light source timing control, the stage position control, and the time delay integration sensor timing control, and sets the pulse timing of the incident light, the position of the stage, and the line shift of the time delay integration sensor, such that a single line of the time domain integration sensor integrates reflected light from more than one pulse of the incident light from the light source.

    • 用于创建基板图像的检查系统。 光源将入射光引导到基板上，并且光源定时控制器控制入射光的脉冲定时。 平台保持基板并在入射光下移动基板，使得基板将入射光反射为反射光。 舞台位置传感器报告舞台的位置，舞台位置控制器控制舞台的位置。 时域积分传感器接收反射光，时域积分传感器定时控制控制时域积分传感器的线偏移。 控制系统与光源定时控制，台架位置控制和时间延迟积分传感器定时控制进行通信，并且设置入射光的脉冲定时，台架的位置以及时间的线偏移 延迟积分传感器，使得时域积分传感器的单一线积分来自光源的入射光的多于一个脉冲的反射光。

    • 基本信息 添加关注 加入工作空间 PDF全文 PDF下载 全文下载 相似专利 双屏查看 权利要求书 说明书全文 Global Dossier Espacenet 法律信息 同族专利 专利引用
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