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    • 1. 发明申请
    • 感放射線性樹脂組成物
    • 辐射敏感性树脂组合物
    • WO2005101129A1
    • 2005-10-27
    • PCT/JP2005/007123
    • 2005-04-13
    • JSR株式会社西村 功千葉 隆下川 努
    • 西村 功千葉 隆下川 努
    • G03F7/075
    • G03F7/0046G03F7/0045G03F7/0757
    •  193nm以下の波長において透明性が高く、特に、焦点深度(DOF)に優れた化学増幅型レジストとして、保存後の感度変化が著しく抑制された感放射線性樹脂組成物を提供する。  感放射線性樹脂組成物は、(イ)下記式(I)で表される構造単位(I)および/または下記式(II)で表される構造単位(II)を有するシロキサン樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、並びに(ハ)溶剤を含有し、樹脂組成物中の(イ)~(ハ)成分以外の含窒素化合物の含有率が100ppm以下であることを特徴とする。   【化1】 (AおよびBは直鎖状、分岐状もしくは環状の2価の(置換)炭化水素基を示し、R 1  は1価の酸解離性基を示し、R 2  は水素原子または1価の酸解離性基を示す。)
    • 公开了对波长不大于193nm高度透明的特别适合于具有优异的焦深(DOF)的化学放大型抗蚀剂的辐射敏感性树脂组合物。 此外,在该放射线敏感性树脂组合物中,抑制了储存后的灵敏度变化。 辐射敏感性树脂组合物的特征在于,其含有(i)具有由下式(I)表示的结构单元(I)和/或由下式(II)表示的结构单元(II))的硅氧烷树脂 ,(ii)辐射敏感性酸产生剂和(iii)溶剂,除了组分(i) - (iii)以外的含氮化合物的含量不超过100ppm。 (I)(II)(上式中,A和B分别表示直链,支链或环状二价(取代)烃基,R 1表示一价酸可裂解基团,R 2表示 氢原子或一价酸可裂解基团。)