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1. 发明申请

WO2007016924A1 HALBLEITERSUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：半导体衬底及其制造方法
公开(公告)号：WO2007016924A1
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：PCT/DE2006/001450
申请日：2006-08-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. , DRABE, Christian , WOLTER, Alexander , STEADMAN, Roger , BERGMANN, Andreas , VOGTMEIER, Gereon , DORSCHEID, Ralf
发明人： DRABE, Christian , WOLTER, Alexander , STEADMAN, Roger , BERGMANN, Andreas , VOGTMEIER, Gereon , DORSCHEID, Ralf
IPC分类号： H01L21/768
CPC分类号： H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L27/14636 , H01L31/02005 , H01L2223/6622 , H01L2924/0002 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung betrifft Halbleitersubstrate und Verfahren zur Herstellung solcher Halbleitersubstrate. Dabei ist es Aufgabe der Erfindung Halbleitersubstrate zur Verfügung zu stellen, die kostengünstig herstellbar sind, mit denen eine hohe Anordnungsdichte sowie gute elektrische Leitfähigkeit und geschlossene Oberflächen erreichbar ist. Erfindungsgemäß ist elektrisch leitende Verbindung von seiner Vorderseite durch das Substrat hindurch bis zur Rückseite geführt ist. Die elektrisch leitende Verbindung ist von außen vollständig umschlossen. Der Isolator wird mit einer Durchbrechung gebildet, die mit einem Stoff ausgefüllt ist. Die Innenwandung ist mit einer dielektrischen Beschichtung versehen und/oder mit einem elektrisch isolierenden oder leitenden Stoff ausgefüllt. Die elektrisch leitende Verbindung ist mit einer weiteren Durchbrechung gebildet, die mit einem elektrisch leitenden Stoff ausgefüllt und im Inneren des Isolators angeordnet ist. Die Durchbrechungen sind mit absatzfreien orthogonal zur Vorderseite ausgerichteten bzw. sich kontinuierlich in Richtung auf die Rückseite verjüngenden Innenwänden ausgebildet.
摘要翻译：本发明涉及半导体衬底和制造这种半导体衬底的方法。发明内容本发明提供一种可以经济地制造，利用该高配置密度以及良好的导电性和闭曲面是可以实现可用的半导体衬底的一个目的。根据从正面穿过衬底的本发明导电连接被引导到后侧。的导电连接被完全从外侧包围。绝缘体与填充有物质的开口。内壁上设置有介电涂层和/或填充有电绝缘或导电材料。导电连接与另外的开口，其填充有导电材料和设置在所述绝缘体的内部形成。的开口与无台阶正交于前或朝锥形内壁连续地形成在后对齐。

2. 发明授权

EP1915777B1 Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung 有权转让
标题翻译：半导体衬底及其制造方法
公开(公告)号：EP1915777B1
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：EP06775875.5
申请日：2006-08-10
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , Koninklijke Philips Electronics N.V.
发明人： DRABE, Christian , WOLTER, Alexander , STEADMAN, Roger , BERGMANN, Andreas , VOGTMEIER, Gereon , DORSCHEID, Ralf
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/48
CPC分类号： H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L27/14636 , H01L31/02005 , H01L2223/6622 , H01L2924/0002 , H01L2924/00012 , H01L2924/00

3. 发明公开

EP1915777A1 HALBLEITERSUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 有权转让
标题翻译：半导体衬底及其制造方法
公开(公告)号：EP1915777A1
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：EP06775875.5
申请日：2006-08-10
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , Koninklijke Philips Electronics N.V.
发明人： DRABE, Christian , WOLTER, Alexander , STEADMAN, Roger , BERGMANN, Andreas , VOGTMEIER, Gereon , DORSCHEID, Ralf
IPC分类号： H01L21/768
CPC分类号： H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L27/14636 , H01L31/02005 , H01L2223/6622 , H01L2924/0002 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
摘要： The invention relates to semiconductor substrates and to methods for producing these semiconductor substrates. The aim of the invention is to provide semiconductor substrates that can be economically produced, with which a high arrangement density as well as good electric conductivity and closed surfaces can be achieved. According to the invention, an electrically conductive connection is provided from its front side and completely through the substrate to the rear side. The electrically conductive connection is completed enclosed from the outside. The insulator is formed with an opening that is filled with a substance. The inner wall is provided with a dielectric coating and/or with an electrically insulating or conducting substance. The electrically conductive connection is formed with another opening that is filled with an electrically conductive substance and is placed inside the insulator. The openings are formed with inner walls, which do not have reliefs, are oriented perpendicular to the front side or which continuously taper toward the rear side.

4. 发明申请

WO2007121693A1 TORSIONSFEDERELEMENT FÜR DIE AUFHÄNGUNG AUSLENKBARER MIKROMECHANISCHER ELEMENTE 审中-公开
标题翻译：扭簧悬挂偏转微机械元件
公开(公告)号：WO2007121693A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/DE2006/000746
申请日：2006-04-24
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , WOLTER, Alexander , DRABE, Christian , KLOSE, Thomas
发明人： WOLTER, Alexander , DRABE, Christian , KLOSE, Thomas
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0078 , B81B2201/042 , B81B2203/0109
摘要： Die Erfindung betrifft Torsionsfederelemente für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente, wie z.B. um eine Rotationsachse verschwenkbare reflektierende Elemente. Es ist Aufgabe der Erfindung Torsionsfederelemente für Aufhängungen auslenkbarer mikromechanischer Elemente zur Verfügung zu stellen, die gegenüber bekannten Federelementen verbesserte Eigenschaften beim Betrieb erreichen können. Erfindungsgemäße Torsionsfederelemente sind dabei so aus gebildet, dass sie in Richtung ihrer Längsachse eine sich verändernde geometrische Gestaltung und dadurch eine nicht lineare Federkennlinie aufweisen. Die Längsachse ist dabei zwischen einer Einspannung oder Lagerung und dem auslenkbaren mikromechanischen Element, das mit mindestens einem Torsionsfederelement gehalten ist, ausgerichtet. Dabei kann ein erfindungsgemäßes Torsionsfederelement einen geradlinigen Bereich, der in der Längsachsrichtung ausgerichtet ist und mindestens an einer Stirnseite eine Gabelung/Verzweigung, in die der geradlinige Bereich übergeht aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及一种扭转弹簧元件，用于将悬浮液可偏转的微机械元件如绕轴线的反射元件的旋转。本发明的目的是提供一种用于偏转微型机械元件扭转悬浮液是可用的，其可以在操作期间已知的弹簧元件达到超过改善的性质。根据本发明的扭转弹簧在此情况下，从形成为具有变化的几何构型，因此在其纵向轴线的方向上的非线性弹簧特性。纵向轴线的夹紧或存储和保持与至少一个扭转弹簧偏转微机械元件之间对齐。这里，根据本发明，其在纵轴方向上排列，并且具有一个叉/分支，其中所述直线部分通过在一个端面上至少一个直线部分的扭转弹簧元件。

5. 发明申请

WO2007121692A1 OSZILLIEREND AUSLENKBARES MIKROMECHANISCHES ELEMENT UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DES ELEMENTES 审中-公开
标题翻译：振动偏转微机械元件和方法用于操作元
公开(公告)号：WO2007121692A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/DE2006/000745
申请日：2006-04-24
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SCHENK, Harald , WOLTER, Alexander , SANDNER, Thilo , DRABE, Christian , KLOSE, Thomas
发明人： SCHENK, Harald , WOLTER, Alexander , SANDNER, Thilo , DRABE, Christian , KLOSE, Thomas
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0078 , B81B2201/042 , B81B2203/0109
摘要： Die Erfindung betrifft oszillierend auslenkbare mikromechanische Element sowie ein Verfahren zum Betreiben solcher Elemente. Es ist dabei Aufgabe der Erfindung die mikromechanischen Elemente bei der oszillierenden Auslenkung unter Berücksichtigung der jeweiligen mechanischen Resonanzfrequenz stabil und einfach betreiben zu können. An erfindungsgemäßen Elementen ist mindestens ein Federelement vorhanden mit dem es gehalten ist. Es wird zwischen zwei Umkehrpunkten unter Einsatz einer elektrischen Wechselspannung ausgelenkt. Das eine oder mehrere Federelement(e) weist/weisen eine nicht lineare Federkennlinie auf, so dass sich eine in Abhängigkeit der jeweiligen Auslenkung eine veränderte mechanische Resonanzfrequenz ergibt.
摘要翻译：本发明涉及一种振荡偏转微机械元件和用于操作这样的元件的方法。它是本发明工作在振荡偏转考虑到机械共振频率稳定且容易地微机械元件的目的。本发明的要素的至少一个弹簧元件是本与它被保持。据两个换向点之间偏转，使用交流电压。所述一个或多个弹簧元件（一个或多个）已/具有非线性的弹簧特性，以使得导致在机械共振频率作为各自的偏转的函数的变化。

6. 发明申请

WO2007059718A1 AUSLENKBARES MIKROMECHANISCHES ELEMENT 审中-公开
标题翻译：偏转微机械元件
公开(公告)号：WO2007059718A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/DE2005/002182
申请日：2005-11-25
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , WOLTER, Alexander , KLOSE, Thomas
发明人： WOLTER, Alexander , KLOSE, Thomas
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0062 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft auslenkbare mikromechanische Elemente, die bevorzugt translatorisch und ggf. auch oszillierend ausgelenkt werden können. Gegenüber bekannten Lösungen ist es Aufgabe der Erfindung größere Auslenkungen bei gleichzeitig verbesserter Resistenz gegenüber Seitenkräften und Drehmomenten zu ermöglichen. An erfindungsgemäßen Elementen ist dabei eine Aufhängung mit mindestens eine Federsystem vorhanden. An Federsystemen sind Hebel, die mit Torsionsfederelementen gelenkig verbunden sind, vorhanden. Torsionsfederelemente eines Federsystems sind in einer gemeinsamen Achse und/oder mehreren parallel zueinander ausgerichteten Achsen ausgerichtet und es ist mindestens ein Torsionsfederelement fest eingespannt.
摘要翻译：本发明涉及一种偏转微机械元件和，如果需要，也可以在优选的振荡平移偏转。相对于已知的解决方案，这是本发明的一个目的是允许具有侧向力和扭矩改善的耐更大的偏转。存在于本发明的元件中的悬浮液的至少一个弹簧系统。在弹簧系统是其铰接于扭簧杠杆，存在。一个弹簧系统的扭力弹簧元件在共同的轴线和/或多个相互平行的轴线的对准，并且它是至少一个扭转弹簧牢固地夹紧。

7. 发明授权

EP1613969B1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT EINSTELLBARER RESONANZFREQUENZ 有权
标题翻译：与共振频率可调节的微机械部件
公开(公告)号：EP1613969B1
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：EP03720476.5
申请日：2003-04-15
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： DRABE, Christian , WOLTER, Alexander , SCHENK, Harald
IPC分类号： G02B26/08 , G01P15/10 , G01C19/56 , H03H9/24 , H03H3/013 , B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5642 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , H02N1/006 , H03H9/02409 , H03H9/2457 , H03H2009/02511
摘要： A micromechanical component comprises an oscillating system, which has an oscillating body (12) and an elastic suspension (11) by means of which the oscillating body (12) is suspended in a manner that enables it to oscillate. The micromechanical component also comprises a device for setting the resonance frequency of the oscillating system by applying a voltage difference (12) between at least one part of the oscillating body and at least one stationary electrode (20a, 20b).

8. 发明公开

EP1613969A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT EINSTELLBARER RESONANZFREQUENZ 有权
标题翻译：与共振频率可调节的微机械部件
公开(公告)号：EP1613969A1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：EP03720476.5
申请日：2003-04-15
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： DRABE, Christian , WOLTER, Alexander , SCHENK, Harald
IPC分类号： G01P15/10 , G01C19/56 , H03H9/24 , H03H3/013 , B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5642 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , H02N1/006 , H03H9/02409 , H03H9/2457 , H03H2009/02511
摘要： A micromechanical component comprises an oscillating system, which has an oscillating body (12) and an elastic suspension (11) by means of which the oscillating body (12) is suspended in a manner that enables it to oscillate. The micromechanical component also comprises a device for setting the resonance frequency of the oscillating system by applying a voltage difference (12) between at least one part of the oscillating body and at least one stationary electrode (20a, 20b).

9. 发明授权

EP1419411B1 PROJEKTIONSVORRICHTUNG 有权
标题翻译：投影设备
公开(公告)号：EP1419411B1
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：EP01978397.6
申请日：2001-10-05
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： SCHENK, Harald , WOLTER, Alexander , SCHWARZENBERG, Markus
IPC分类号： G02B26/10 , G02B27/18
CPC分类号： G02B27/18 , G02B26/101 , G02B26/105 , H04N5/7416

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