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1. 发明申请

WO2007093153A1 ULTRASCHALLAKTOR ZUR REINIGUNG VON OBJEKTEN 审中-公开
标题翻译：超声波执行FOR清洗对象
公开(公告)号：WO2007093153A1
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：PCT/DE2007/000243
申请日：2007-02-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
发明人： DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
IPC分类号： B08B3/12 , B06B3/04
CPC分类号： B08B3/12 , B08B7/028 , H01L21/67057
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallaktor zur Reinigung von Objekten, der ein Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) für Ultraschall aufweist, an dem ein oder mehrere Ultraschallwandler (5) angeordnet sind. Das Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) ist von einem akustischen Auskoppelfenster (8) mit einer Koppelfläche zur akustischen Ankopplung eines zu reinigenden Objektes (1, 12) und von einer oder mehreren Reflexionsflächen (6, 7) für eingekoppelten Ultraschall begrenzt. Die Ultraschallwandler (5) sind derart am Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) angeordnet, dass der eingekoppelte Ultraschall erst nach ein oder mehreren Reflexionen an den Reflexionsflächen (6, 7) über das Auskoppelf enster (8) aus dem Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) austritt. Die Reflexionsflächen sind derart ausgebildet, dass sich am Auskoppelfenster (8) eine vorgebbare Verteilung der Ultraschallenergie ohne Intensitätsspitzen ergibt. Mit dem vorliegenden Ultraschallaktor wird eine schonende Reinigung der Objekte bei geringem Einsatz an Reinigungsflüssigkeit erreicht.
摘要翻译：本发明涉及一种超声致动器为对象的清洗，这是超声波的传播体积（3,4，13），在其上的一个或多个超声换能器（5）被布置。该分散体的体积（3,4，13）通过具有用于物体的声学耦合的耦合面的声学耦合输出窗口（8）要被清洁（1，12）和一个或多个反射表面（6,7）是有限的输入超声波。超声波换能器（5）是这样的传播体积（3,4，13）布置成使得在所述反射面耦合的超声波后仅一次或多次反射（6,7）（经由Auskoppelf Enster（8）从传播体积3,4 ，13）出射。该超声波能量的预定分布在输出窗口（8），而不强度峰值产生的反射面形成。与对象的本超声波致动器温和的清洁与低使用清洗液来实现的。

2. 发明申请

WO2013014556A1 IMPROVED ULTRASONIC CLEANING METHOD AND APPARATUS 审中-公开
标题翻译：改进的超声波清洗方法和装置
公开(公告)号：WO2013014556A1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：PCT/IB2012/053361
申请日：2012-07-02
申请人： LAM RESEARCH AG , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , LAM RESEARCH CORPORATION , HOLSTEYNS, Frank Ludwig , LIPPERT, Alexander , DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
发明人： HOLSTEYNS, Frank Ludwig , LIPPERT, Alexander , DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
IPC分类号： B08B3/12
CPC分类号： B08B3/12 , B06B3/00 , H01L21/02052 , H01L21/67051 , H01L21/67057
摘要： A device and method for treating the surface of a semiconductor wafer provides a treatment fluid in the form of a dispersion of gas bubbles in a treatment liquid generated at acoustic pressures less than those required to induce cavitation in the treatment liquid. A resonator supplies ultrasonic or megasonic energy to the treatment fluid and is configured to create an interference pattern in the treatment fluid comprising regions of pressure amplitude minima and maxima at an interface of the treatment fluid and the semiconductor wafer.
摘要翻译：用于处理半导体晶片的表面的装置和方法提供处于以低于在处理液体中引起空化所需的声压下产生的处理液中的气泡分散形式的处理流体。谐振器向处理流体提供超声波或兆声波能量，并且被配置为在处理流体中产生干涉图案，所述干涉图案包括处理流体和半导体晶片的界面处的压力幅度最小值和最大值的区域。

3. 发明公开

EP1984125A1 ULTRASCHALLAKTOR ZUR REINIGUNG VON OBJEKTEN 审中-公开
标题翻译：超声波执行FOR清洗对象
公开(公告)号：EP1984125A1
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：EP07721911.1
申请日：2007-02-09
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
IPC分类号： B08B3/12 , B06B3/04
CPC分类号： B08B3/12 , B08B7/028 , H01L21/67057
摘要： The present invention relates to an ultrasound actuator for cleaning objects, having a propagation volume (3, 4, 13) for ultrasound, on which one or more ultrasonic transducers (5) are arranged. The propagation volume (3, 4, 13) is delimited by an acoustic coupling-out window (8) with a coupling face for acoustically coupling an object (1, 12) to be cleaned and by one or more reflection faces (6, 7) for coupled-in ultrasound. The ultrasonic transducers (5) are arranged on the propagation volume (3, 4, 13) such that the coupled-in ultrasound exits the propagation volume (3, 4, 13) via the coupling-out window (8) only after one or more reflections at the reflection faces (6, 7). The reflection faces are designed such that a predeterminable distribution of the ultrasound energy without intensity peaks results at the coupling-out window (8). The present ultrasound actuator is used to achieve gentle cleaning of the objects with economic use of cleaning liquid.

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