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1. 发明申请

WO2013014556A1 IMPROVED ULTRASONIC CLEANING METHOD AND APPARATUS 审中-公开
标题翻译：改进的超声波清洗方法和装置
公开(公告)号：WO2013014556A1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：PCT/IB2012/053361
申请日：2012-07-02
申请人： LAM RESEARCH AG , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , LAM RESEARCH CORPORATION , HOLSTEYNS, Frank Ludwig , LIPPERT, Alexander , DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
发明人： HOLSTEYNS, Frank Ludwig , LIPPERT, Alexander , DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
IPC分类号： B08B3/12
CPC分类号： B08B3/12 , B06B3/00 , H01L21/02052 , H01L21/67051 , H01L21/67057
摘要： A device and method for treating the surface of a semiconductor wafer provides a treatment fluid in the form of a dispersion of gas bubbles in a treatment liquid generated at acoustic pressures less than those required to induce cavitation in the treatment liquid. A resonator supplies ultrasonic or megasonic energy to the treatment fluid and is configured to create an interference pattern in the treatment fluid comprising regions of pressure amplitude minima and maxima at an interface of the treatment fluid and the semiconductor wafer.
摘要翻译：用于处理半导体晶片的表面的装置和方法提供处于以低于在处理液体中引起空化所需的声压下产生的处理液中的气泡分散形式的处理流体。谐振器向处理流体提供超声波或兆声波能量，并且被配置为在处理流体中产生干涉图案，所述干涉图案包括处理流体和半导体晶片的界面处的压力幅度最小值和最大值的区域。

2. 发明申请

WO2009086805A1 ULTRASCHALLWANDLER ZUR ERZEUGUNG ASYMMETRISCHER SCHALLFELDER 审中-公开
标题翻译：超声波换能器于产生非对称声场
公开(公告)号：WO2009086805A1
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/DE2008/002140
申请日：2008-12-19
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEGEL, Christian , SCHMITT, Daniel
发明人： DEGEL, Christian , SCHMITT, Daniel
IPC分类号： B06B1/06
CPC分类号： G10K9/122
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler zur Erzeugung asymmetrischer Schallfelder, der ein Gehäuse (1) mit einer länglich ausgebildeten Membran (2) und einem auf einer Seite einer Hauptfläche der Membran (2) angeordneten plattenförmigen Wandlerelement (3) aus einem elektrostriktiven Material aufweist, durch das die Membran (2) zu Schwingungen im Ultraschallbereich anregbar ist. Zwischen der Membran (2) und dem Wandlerelement (3) ist ein Spalt ausgebildet, wobei die Membran (2) nur über ihren Rand mechanisch mit dem Wandlerelement (3) gekoppelt ist. Mit einem derartig ausgestalteten Ultraschallwandler lassen sich asymmetrische Schallfelder erzeugen, die ein Öffnungsverhältnis von 1:3 oder darüber aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及一种超声波换能器，用于产生非对称的声场，包括：壳体（1）具有细长的膜片（2）和（2）上设置板状的换能器元件（3）由电致伸缩材料制成的，通过该膜的主要表面中的一个侧所述膜（2）是可激发到在超声波范围内的振动。所述膜（2）和（3）形成一个间隙的换能器元件，其中，所述隔膜（2）仅通过它们的边缘机械地连接到换能器元件耦合（3）之间。利用这种配置超声波换能器是不对称的声场能制造出具有1的孔径比：3或以上。

3. 发明申请

WO2005007290A1 SUBSTRATSTAPEL, INSBESONDERE FÜR DIE KRYOKONSERVIERUNG BIOLOGISCHER PROBEN 审中-公开
标题翻译：衬底堆，尤其是生物样品冷冻保存
公开(公告)号：WO2005007290A1
公开(公告)日：2005-01-27
申请号：PCT/EP2004/007956
申请日：2004-07-16
申请人： FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEGEL, Christian , ZIMMERMANN, Heiko , FUHR, Günter
发明人： DEGEL, Christian , ZIMMERMANN, Heiko , FUHR, Günter
IPC分类号： B01L3/00
CPC分类号： B01L3/5085 , A01N1/02 , A01N1/0263 , A01N1/0268 , B01L9/523 , B01L2200/025 , B01L2300/0829 , F25D25/00 , Y10S436/807 , Y10S436/809
摘要： Es werden Substrate (1200) zur Aufnahme einer Vielzahl von Proben, insbesondere zur Tieftemperatur-Kryospeicherung biologischer Proben beschrieben, die eine Vielzahl von Substratplatten (11, 12, 13), die als Stapel (10) übereinander angeordnet sind, und eine Verankerungsachse (20) umfassen, mit der die Substratplatten (11, 12, 13) verbunden sind. Es werden auch Verfahren zur Tieftemperatur-Kryospeicherung biologischer Proben beschrieben.
摘要翻译：有基板（1200），用于接收多个样本，尤其是生物样品的低温cryostorage描述了多个被布置为叠层（10）一个在另一个之上，并且锚定轴基底板（11，12，13）的（20 ）包括，但连接到衬底板（11，12，13）。方法也可用于描述生物样品的低温cryostorage说明。

4. 发明申请

WO2007093153A1 ULTRASCHALLAKTOR ZUR REINIGUNG VON OBJEKTEN 审中-公开
标题翻译：超声波执行FOR清洗对象
公开(公告)号：WO2007093153A1
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：PCT/DE2007/000243
申请日：2007-02-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
发明人： DEGEL, Christian , JAKOB, Anette , BECKER, Franz Josef
IPC分类号： B08B3/12 , B06B3/04
CPC分类号： B08B3/12 , B08B7/028 , H01L21/67057
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallaktor zur Reinigung von Objekten, der ein Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) für Ultraschall aufweist, an dem ein oder mehrere Ultraschallwandler (5) angeordnet sind. Das Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) ist von einem akustischen Auskoppelfenster (8) mit einer Koppelfläche zur akustischen Ankopplung eines zu reinigenden Objektes (1, 12) und von einer oder mehreren Reflexionsflächen (6, 7) für eingekoppelten Ultraschall begrenzt. Die Ultraschallwandler (5) sind derart am Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) angeordnet, dass der eingekoppelte Ultraschall erst nach ein oder mehreren Reflexionen an den Reflexionsflächen (6, 7) über das Auskoppelf enster (8) aus dem Ausbreitungsvolumen (3, 4, 13) austritt. Die Reflexionsflächen sind derart ausgebildet, dass sich am Auskoppelfenster (8) eine vorgebbare Verteilung der Ultraschallenergie ohne Intensitätsspitzen ergibt. Mit dem vorliegenden Ultraschallaktor wird eine schonende Reinigung der Objekte bei geringem Einsatz an Reinigungsflüssigkeit erreicht.
摘要翻译：本发明涉及一种超声致动器为对象的清洗，这是超声波的传播体积（3,4，13），在其上的一个或多个超声换能器（5）被布置。该分散体的体积（3,4，13）通过具有用于物体的声学耦合的耦合面的声学耦合输出窗口（8）要被清洁（1，12）和一个或多个反射表面（6,7）是有限的输入超声波。超声波换能器（5）是这样的传播体积（3,4，13）布置成使得在所述反射面耦合的超声波后仅一次或多次反射（6,7）（经由Auskoppelf Enster（8）从传播体积3,4 ，13）出射。该超声波能量的预定分布在输出窗口（8），而不强度峰值产生的反射面形成。与对象的本超声波致动器温和的清洁与低使用清洗液来实现的。

5. 发明申请

WO2004008432A1 VERFAHREN ZUR AKUSTISCHEN ANPASSUNG EINES AKTIVEN ELEMENTS EINES ELEKTROAKUSTISCHEN WANDLERS ZUM AUSSENDEN UND EMPFANGEN VON ULTRASCHALLWELLEN SOWIE VORRICHTUNG ZUM AUSSENDEN UND EMPFANGEN VON ULTRASCHALLWELLEN 审中-公开
标题翻译：方法适应声的积极元素的电声转换器，用于发送和接收超声波的发送和接收超声波和设备
公开(公告)号：WO2004008432A1
公开(公告)日：2004-01-22
申请号：PCT/EP2003/007500
申请日：2003-07-10
申请人： FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , POTAPOV, Vladimir , DEGEL, Christian
发明人： POTAPOV, Vladimir , DEGEL, Christian
IPC分类号： G10K11/02
CPC分类号： G10K11/02
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren zur akustischen Anpassung eines aktiven Elements (1) eines elektroakustischen Wandlers zum Aussenden und Empfangen von Ultraschallwellen mit vorgegebener Wellenlänge in ein Belastungsmedium (BM), das über eine dem Belastungsmedium zugewandte Vorderseite (1V), über die durch das aktive Element erzeugbare, axialwärts gerichtete Schallwellen in das Belastungsmedium abgestrahlt oder in das aktive Element eingekoppelt werden, und über eine die Vorderseite wenigstens teilweise begrenzende Seitenfläche (1S) verfügt, über die durch das aktive Element erzeugbare Randwellen abgestrahlt oder eingekoppelt werden, die sich im wesentlichen orthogonal zu den axialwärts gerichteten Schallwellen ausbreiten. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass zwischen der Seitenfläche und einem der Seitenfläche zugewandten Medium eine akustische Anpassung derart vorgenommen wird, dass wenigstens ein Teil der in den von der Seitenfläche des aktiven Elements austretenden Randwellen innewohnende Schallenergie in Form von axialwärts gerichtete Schallwellen umgewandelt wird und/oder in umgekehrter Weise wenigstens ein Teil der in den axialwärts gerichteten Schallwellen innewohnende Schallenergie in auf die Seitenfläche gerichtete Randwellen umgewandelt wird.
摘要翻译：公开了一种方法适应用于在装载介质覆盖面向加载介质前（1V），通过该可通过将活性元件中产生的表面的预定波长（BM），其发射和接收超声波的电换能器的有源元件（1）的声的，轴向定向的声波被辐射在装载介质或注入到有源元件，以及所述前侧上的至少部分地限界端表面（1S）必须由有源元件边缘波经由可生产射出或注入，其延伸基本上垂直于轴向定向的声波传播。本发明的特征在于，面对介质由在侧表面和侧表面之间的这样一种方式的声匹配，在从声音能量的有源元件边缘波的侧面新兴在轴向定向声波的形式的固有的至少一部分被转换并或至少在声能的轴向指向的声波的固有的一部分被转换为朝向侧面边缘波/以相反的方式。

6. 发明申请

WO2008135004A1 ULTRASCHALLWANDLER-ARRAY FÜR ANWENDUNGEN IN GASFÖRMIGEN MEDIEN 审中-公开
标题翻译：超声换能器阵列，用于气态介质应用
公开(公告)号：WO2008135004A1
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：PCT/DE2008/000540
申请日：2008-03-28
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEGEL, Christian , VELTEN, Thomas
发明人： DEGEL, Christian , VELTEN, Thomas
IPC分类号： B06B1/06
CPC分类号： B06B1/0692
摘要： Die Erfindung betrifft ein Ultraschallwandler-Array, das wenigstens eine Schicht (1) aus einem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial zwischen einer ersten (2) und einer zweiten Elektrodenstruktur (4) aufweist. Die erste Elektrodenstruktur (2) ist aus mehreren unabhängig voneinander adressierbaren Elektrodenelementen (3) gebildet, durch die jeweils in Verbindung mit der zweiten Elektrodenstruktur (4) lokale Dickenschwingungen der Schicht (1) oder von Poren in der Schicht (1) mit Frequenzen im Ultraschallbereich erzeugbar und/oder detektierbar sind. Das vorgeschlagene Ultraschallwandler-Array lässt sich vorteilhaft für Anwendungen in gasförmigen Medien einsetzen, lässt sich einfach herstellen und ermöglicht einen phasengesteuerten Betrieb für eine gerichtete Ultraschallabstrahlung und einen gerichteten Ultraschallempfang.
摘要翻译：本发明涉及一种具有至少一个层的超声换能器阵列（1）包括第一（2）和第二电极结构之间的压电活性，细胞驻极体材料的（4）。第一电极结构（2）的多个可独立寻址电极元件中的（3），通过其中的每一个与所述第二电极结构（4）的层的局部厚度振荡（1）或从毛孔中的层（1），其具有在超声波范围内的频率形成，并结合产生和/或检测。所提出的超声换能器阵列可以是有利的气态介质中使用的应用程序，可以容易地制造，并且允许有向超声辐射和定向超声波接收分阶段操作。

7. 发明申请

WO0045446A2 DEVICE AND METHOD FOR GLUING TOGETHER PARTS TO BE JOINED 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR BONDING添加共享
公开(公告)号：WO0045446A2
公开(公告)日：2000-08-03
申请号：PCT/DE0000259
申请日：2000-01-27
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , HAHN JOSE THOMAS , DEGEL CHRISTIAN
发明人： HAHN-JOSE THOMAS , DEGEL CHRISTIAN
IPC分类号： B29C65/00 , B29C65/48 , B29C65/78 , C09J5/06 , H01L41/22
CPC分类号： B29C66/341 , B29C65/48 , B29C65/483 , B29C65/4845 , B29C65/7847 , B29C66/73161 , B29C66/8322 , C09J5/06
摘要： The invention relates to a device and to a method for gluing together parts to be joined, especially for use in the field of ultrasonics. The inventive device consists of first drive means (5) for moving a first part to be joined (3) towards a second part to be joined (4) in order to press the surfaces of the parts (3, 4) to be joined against one another. According to the invention, the device also comprises second drive means (6) for producing a cyclic relative movement of the two parts to be joined (3, 4) in parallel to the surfaces to be joined. The device effects a cyclic relative movement between the two surfaces to be bonded during the process of compression. The invention provides a means of ensuring a homogeneous distribution of the adhesive in the glueline and a high reproducibility of the result of the bonding process.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于粘合粘附体的超声波范围内的方法，特别是。该装置由一个第一驱动装置（5），用于对第二部分移动第一接合部件（3）的将被接合（4）压在连接相互嵌合部件（3,4）的表面上。根据本发明，第二驱动装置（6），用于产生两个结合部的环状的相对运动（3,4）被提供在平行于待接合的表面上。与此装置中，在压制过程中相对于彼此在两个连接表面之间进行循环的相对运动。这允许粘合剂在具有高粘合结果的再现性的粘合剂间隙的均匀分布。

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