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1. 发明专利

DD247581A3 未知
公开(公告)号：DD247581A3
公开(公告)日：1987-07-15
申请号：DD25207483
申请日：1983-06-16
申请人： FELDHOFER FRIEDHELM , KLEINEBERG JOHANN , SCHUBERT GERHARD , HANSKE EBERHARD , STRUEMPFEL JOHANNES
发明人： FELDHOFER FRIEDHELM , KLEINEBERG JOHANN , SCHUBERT GERHARD , HANSKE EBERHARD , STRUEMPFEL JOHANNES
IPC分类号： C23C14/10 , C23C14/40

2. 发明专利

DD231228A3 未知
公开(公告)号：DD231228A3
公开(公告)日：1985-12-24
申请号：DD25846983
申请日：1983-12-22
申请人： SCHUBERT GERHARD , FELDHOFER FRIEDHELM , FRANKE HEINZ , HANSKE EBERHARD , KORNDOERFER CHRISTIAN
发明人： SCHUBERT GERHARD , FELDHOFER FRIEDHELM , FRANKE HEINZ , HANSKE EBERHARD , KORNDOERFER CHRISTIAN
IPC分类号： C23C14/04

3. 发明专利

DD214091A1 未知
公开(公告)号：DD214091A1
公开(公告)日：1984-10-03
申请号：DD24898383
申请日：1983-03-21
申请人： SCHUBERT GERHARD , FELDHOFER FRIEDHELM , KLEINEBERG JOHANN , FRANKE HEINZ , HEISIG ULRICH , STEINFELDER KARL , KORNDOERFER CHRISTIAN
发明人： SCHUBERT GERHARD , FELDHOFER FRIEDHELM , KLEINEBERG JOHANN , FRANKE HEINZ , HEISIG ULRICH , STEINFELDER KARL , KORNDOERFER CHRISTIAN
IPC分类号： B41J3/20

4. 发明专利

DD148964A1 未知
公开(公告)号：DD148964A1
公开(公告)日：1981-06-17
申请号：DD21888180
申请日：1980-02-05
申请人： FELDHOFER FRIEDHELM , SCHUBERT GERHARD , STEINFELDER KARL , STRUEMPFEL JOHANNES , JOSEIT JUERGEN
发明人： FELDHOFER FRIEDHELM , SCHUBERT GERHARD , STEINFELDER KARL , STRUEMPFEL JOHANNES , JOSEIT JUERGEN
IPC分类号： C23C15/00

5. 发明专利

DD144568A1 未知
公开(公告)号：DD144568A1
公开(公告)日：1980-10-22
申请号：DD21386379
申请日：1979-06-25
申请人： FELDHOFER FRIEDHELM , HARTMANN ULRICH , SCHUBERT GERHARD
发明人： FELDHOFER FRIEDHELM , HARTMANN ULRICH , SCHUBERT GERHARD
IPC分类号： C23C15/00

6. 发明专利

DD147930A1 未知
公开(公告)号：DD147930A1
公开(公告)日：1981-04-29
申请号：DD21745279
申请日：1979-12-07
申请人： KLEINEBERG JOHANN , SCHUBERT GERHARD
发明人： KLEINEBERG JOHANN , SCHUBERT GERHARD
IPC分类号： B41J3/20

7. 发明专利

JPH1077010A PACKAGING MACHINE 失效
公开(公告)号：JPH1077010A
公开(公告)日：1998-03-24
申请号：JP21910897
申请日：1997-07-30
申请人： SCHUBERT GERHARD GMBH
发明人： SCHUBERT GERHARD
IPC分类号： B65B59/04 , F16M5/00 , F16M11/20
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To perform a certain specific work, to raise multi-purpose level and to respond speedily and easily to a required condition by providing a machine body support table which is connected continuously in a longitudinal direction and which is provided with 2 lines of hollow support table modules held and alienated by a horizontal support. SOLUTION: The machine support table 1 of a packaging machine is provided with hollow support table modules 2, 2' alienated as the first and the second lines. These modules 2, 2' are connected to each other, placed continuously in the longitudinal direction 3 of the machine body support table 1, and are held with an interval sideways by a horizontal support 4 fixed with a screw means at a predetermined position between the modules 2, 2'. These horizontal supports 4 are composed by a plate iron member placed perpendicular and are provided with adjusting leg parts 8. The height and the width of the closed box member composing the support module 2 are always the same. Therefore, the packaging machine can set the machine body support table 1 at a horizontal position or at any other desirable position making it possible to support hoizontally.

8. 发明专利

JPH10181827A CONVEYOR 失效
公开(公告)号：JPH10181827A
公开(公告)日：1998-07-07
申请号：JP21141097
申请日：1997-07-22
申请人： SCHUBERT GERHARD GMBH
发明人： SCHUBERT GERHARD , FOHRER HELMUT
IPC分类号： B65G17/42
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the assembling and operation performance of a conveyor as compared with existing design structures. SOLUTION: A conveyor comprises a conveyor mechanical element 9 including bar members 3 extending vertically to the transfer direction, and a transfer body 10 fixed on the bar members 3 for supporting at least one product to be transferred. A locking pin 11 serving as a fixing means for fixing the transfer body 10 on the bar members 3 crosses the plane where the conveyor mechanical element 9 lies to thereby permit the mounting of the transfer body 10 on the conveyor mechanical element 9 only from one side of the plane of the conveyor mechanical element 9.

9. 发明公开

EP0749917A3 Gruppier- und Puffervorrichtung 失效
标题翻译：分组和缓冲装置
公开(公告)号：EP0749917A3
公开(公告)日：1998-06-17
申请号：EP96108320
申请日：1996-05-24
申请人： SCHUBERT GERHARD GMBH
发明人： SCHUBERT GERHARD
IPC分类号： B65G47/31 , B65G17/26 , B65G47/08 , B65G47/51 , B65B35/04
CPC分类号： B65G17/26 , B65G47/082 , B65G47/5113 , B65G2201/02
摘要： Es wird eine Gruppier- und Puffervorrichtung zum Sammeln stückiger Produkte (201) in einem Zuführbereich (17), zum Zwischenspeichern dieser Produkte (20) sowie zum Bereitstellen einer Anzahl dieser Produkte zur Entnahme in Entnahmegruppen in einem Entnahmebereich und bestehend aus wenigstens einem Endlosförderer (1,2), den Mitnehmern (3,4) zur Aufnahme und zum Transport der Produkte (20), und einem Zuförderer (11) der Produkte, vorgestellt, so daß sie einerseits die unregelmäßig antransportierten, zu verpackenden stückigen Produkte annimmt und vorübergehend speichert, und andererseits eine gruppenweise Abnahme der Produkte zur Abgabe zB an eine Verpackungsmaschine ermöglicht, dabei jedoch so einfach und kostengünstig wie möglich ausgebildet ist, einen geringen Grundflächen-Bedarf besitzt und möglichst hohe Arbeitsgeschwindigkeiten erlaubt. Dabei sind wenigstens zwei parallele Endlosförderer (1,2) vorhanden, die mit wenigstens einem Trum parallel zueinander laufen, jeder Endlosförderer (1,2) hat wenigstens eine Gruppe von Mitnehmern (3,4), und die Endlosförderer (1,2) sind unabhängig voneinander steuerbar.

10. 发明申请

WO0031774A2 HOLDING DEVICE FOR A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：保持装置用于基板
公开(公告)号：WO0031774A2
公开(公告)日：2000-06-02
申请号：PCT/DE9903638
申请日：1999-11-16
申请人： LEICA MICROSYS LITHOGRAPHY LTD , SCHUBERT GERHARD , KIRSCHSTEIN ULF CARSTEN , RISSE STEFAN , HARNISCH GERD , KALKOWSKI GERHARD , GUYENOT VOLKER
发明人： SCHUBERT GERHARD , KIRSCHSTEIN ULF-CARSTEN , RISSE STEFAN , HARNISCH GERD , KALKOWSKI GERHARD , GUYENOT VOLKER
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/683 , H01L21/00
CPC分类号： G03F7/707 , G03F7/70708 , H01L21/6831
摘要： The invention relates to a device for holding a substrate (18) in an exposure apparatus, wherein the surface of the substrate (18) to be exposed lies in a plane which is generated by the coordinates X, Y. The substrate (18) is linked to a table (1) which can be displaced within the coordinates X, Y and material measure means are provided between the table surface (5) and the substrate (18) for adjusting the distance and for orienting the substrate (18) in relation to an exposure optic (2). Particle radiation is emitted from said exposure optic (2) and is directed onto the substrate surface at a right angle in accordance with the coordinate Z. The inventive device provides for two supporting plates (3, 16) which are arranged parallel to the X, Y plane and which are mounted on the table (1) in the direction of the exposure optic (2) and at different distances from the table surface (5). A first supporting plate (3) is directly connected to the table (1) and the second supporting plate (16) is connected to said first supporting plate (3) by means of at least one holding device whose holding function can be switched on or off. A base plate for the substrate (18) is configured on the side of the second supporting plate (16) facing the exposure optic (2).
摘要翻译：本发明涉及一种设备，用于在其中待曝光的衬底（18）位于由坐标X跨越的平面的表面的曝光装置与一个在保持基板（18），Y平面，基板（18）坐标X，Y可动台（1）连接到和所述表面（5）和基片（18）massverkörpernde之间用于间隔所述衬底的调整和对准提供（18）相对于曝光光学系统（2），从该成直角的微粒辐射，对应于坐标Z，被引导至衬底表面。在上述类型（2）的装置，两个平行于平面X，Y取向的支撑板（3，16）上的表（1）在从所述表面（5）的距离不同的曝光光学系统的方向提供，其中（第一支撑板 3）直接连接到所述表（1）和通过至少一个保持装置的第二支撑板（16），所述保持功能被关闭，并且（与第一支承板3）连接。在此情况下，在第二支撑板（16）的面向曝光光学器件（2）的一侧上形成用于基板（18）的支撑平面。

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