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1. 发明申请

WO2012113651A3 METHOD FOR PRODUCING LIGHTWEIGHT CONSTRUCTION STRUCTURAL ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：用于生产轻质结构元素
公开(公告)号：WO2012113651A3
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：PCT/EP2012052207
申请日：2012-02-09
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , KALKOWSKI GERHARD , RISSE STEFAN , EBERHARDT RAMONA
发明人： KALKOWSKI GERHARD , RISSE STEFAN , EBERHARDT RAMONA
IPC分类号： G02B7/183 , B32B17/06 , C03B23/203 , G02B5/18
CPC分类号： C03B23/203 , B32B3/266 , B32B17/06 , C03B23/20 , C04B37/001 , C04B37/04 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C04B2237/366 , C04B2237/52 , C04B2237/62 , G02B5/1847 , G02B7/183
摘要： The invention relates to a method for producing lightweight construction structural elements which are produced as a composite construction element having at least one cover plate and one carrier element that are connected to each other. A carrier element, on which at least one through-hole and/or at least one recess is formed, and at least one other element, which is a cover plate, are connected to each other. The carrier element and at least one cover plate can be made of glass, glass ceramic, ceramic and/or silicon having an oxidic surface layer, which is formed at least in the joining region of the elements to be connected to each other. According to the invention, the carrier element should have an at least double thickness with respect to the thickness of a cover plate. The surfaces of the cover plate(s) to be connected to each other and of the carrier element should be intensively cleaned and smoothed in the joining regions thereof such that a roughness of the surface is attained in said regions and such that, under the action of a compressive force, at least 80% of the joining surfaces of said surfaces are in direct contact, and a thermal treatment at a temperature of at least 100°C and a maintaining of the temperature over a period of at least 0.5 hrs is carried out in order to establish a joint connection of the cover plate(s) and the carrier element. Further, at least one cover plate should be connected to a surface of the carrier element, on which at least one opening of a through-hole or a recess is arranged.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产具有至少一个顶板并且被彼此连接的支撑元件的复合部件轻质结构元件的制造方法。它可以是这是一个盖板，其上形成至少一个开口和/或至少一个凹部的支撑构件，和至少另一种元素，而彼此连接。承载元件和至少一个覆盖板可以由玻璃，玻璃陶瓷，陶瓷和/或硅与可以至少被形成为连接元件形成在所述接合区的氧化物表面层的。所述支撑构件的厚度应至少两倍相对于盖板的厚度。表面接合在一起覆盖板（S）和所述载体元件可以在它们的接合区域集中地清洁，因此平滑的，有表面的粗糙度达到，它们是在一定压力下在直接相邻接触作用的它们的接合表面的至少80％的力而在至少100℃的温度下的热处理和保持温度在一段至少为0.5小时，以产生所述盖板（S）和所述载体元件的关节连接。在这种情况下，应连接的至少一个覆盖板与所述支撑构件的表面被布置在一开口或凹部中的所述至少一个开口。

2. 发明申请

WO2012113787A1 VERFAHREN ZUM FÜGEN VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：方法连接基材
公开(公告)号：WO2012113787A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/EP2012/052929
申请日：2012-02-21
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , Friedrich-Schiller-Universität Jena , KALKOWSKI, Gerhard , ROTHHARDT, Carolin , ROHDE, Mathias , EBERHARDT, Ramona
发明人： KALKOWSKI, Gerhard , ROTHHARDT, Carolin , ROHDE, Mathias , EBERHARDT, Ramona
IPC分类号： C03C27/00 , C03C27/06 , C03C27/08 , C03C23/00 , C03B23/203 , C04B37/04 , B23K20/02 , B23K20/24 , H01L21/18 , H01L21/20
CPC分类号： B32B37/14 , B23K20/02 , B23K20/24 , C03B23/20 , C03C27/06 , C04B35/645 , C04B37/005 , C04B37/006 , C04B2235/6581 , C04B2235/963 , C04B2237/06 , C04B2237/12 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/345 , C04B2237/36 , C04B2237/365 , C04B2237/52 , C04B2237/56 , C04B2237/704 , H01L21/2007
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Fügen von Substraten. Aufgabe der Erfindung ist es dabei, Substrate aus Substratwerkstoffen miteinander zu fügen, ohne einen erhöhten Aufwand für eine Beschichtung mit zusätzlich durchzuführenden Beschichtungsverfahren aufwenden zu müssen und eine gute Qualität der Fügeverbindung dabei erreichen zu können. Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird eine Vorbehandlung mindestens einer Fügefläche eines zu fügenden Substrats in einem Sauerstoff-Niederdruckplasma vor dem eigentlichen Fügen durchgeführt. Beim Fügen wirkt auf die zu fügenden Substrate eine Anpresskraft im Bereich 2 kPa bis 5 MPa und es wird dabei eine Wärmebehandlung auf erhöhter Temperatur von mindestens 100 °C und bei Unterdruckbedingungen von maximal 10 mbar, vorzugsweise -3 mbar durchgeführt.
摘要翻译：本发明涉及一种用于接合基材的方法。本发明的目的是增加底物材料的基材粘合在一起，而不必花费增加的努力用于涂层与另外的涂覆工艺来进行，并以能够实现接头的良好质量那里。在本发明方法中，衬底的至少一个接合面被接合的前处理在氧气低压等离子体的实际接合之前被执行。当作用在基板的区域接合的接触力被接合2千帕至5MPa，它是在这种情况下，在升高的温度至少100℃和至多10毫巴减压条件下进行热处理，优选进行-3毫巴。

3. 发明申请

WO2011141438A1 VERFAHREN ZUM SILIKATISCHEN BONDEN VON BESCHICHTETEN UND UNBESCHICHTETEN OPTISCHEN KÖRPERN 审中-公开
标题翻译： METHOD FOR硅酸盐的粘结涂布和未涂布光学体
公开(公告)号：WO2011141438A1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/EP2011/057448
申请日：2011-05-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , KALKOWSKI, Gerhard , FABIAN, Simone , JAHNKE, Charlotte , EBERHARDT, Ramona , SCHÜRMANN, Mark
发明人： KALKOWSKI, Gerhard , FABIAN, Simone , JAHNKE, Charlotte , EBERHARDT, Ramona , SCHÜRMANN, Mark
IPC分类号： C03C17/23 , C03C27/10 , B32B17/10 , C04B37/00 , C09J1/02 , C04B37/04
CPC分类号： C03C27/10 , C03C17/23 , C04B37/005 , C04B2237/064 , C04B2237/068 , C04B2237/341 , C04B2237/345 , C04B2237/346 , C04B2237/348 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C04B2237/80 , C04B2237/86 , C09J5/02 , C09J2400/143 , C09J2400/146 , C09J2400/163 , C09J2400/166
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum silikatischen Bonden von einander zugewandten Fügeflächen zweier Bauteile zum Zwecke der Herstellung eines optischen Elements mit Hilfe einer wässrigen, alkalischen, Siliciumkationen enthaltenden Fügelösung, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder beide der genannten Fügeflächen (1; 2b; 10) mit einer Schicht eines Oxids (3), das einen höheren Brechungsindex als SiO 2 aufweist und ausgewählt ist unter Oxiden der 3. und 4. Hauptgruppenelemente, der 2. und 3. Gruppe der Übergangselemente sowie Zirkonium und unter Mischoxiden der genannten Elemente, bedeckt werden, worauf die Fügelösung auf mindestens eine der zu fügenden Flächen aufgebracht und die Flächen miteinander gebondet werden. Die Erfindung lehrt weiterhin die Verwendung der Oxidschicht (3) als oberste Schicht eines mit Hilfe einer alkalischen, silikathaltigen Lösung zu fügenden Bauteils zur Vermeiden oder Reduzierung von Trübungen und/oder Fehlstellen infolge eines chemischen Angriffs auf die darunterliegende Schicht durch die genannte alkalische Lösung.
摘要翻译：本发明涉及的硅酸盐结合相互面对的两个部件的接合面用于通过含水碱性的装置制造光学元件的目的的方法，含硅的阳离子加入溶液，其特征在于，一个或两个所述接合表面（1; 2B; 10）氧化物（3），其具有比SiO 2的较高的折射率和从所述第三氧化物和过渡元素组成的第二和第三组的第四主族元素，以及锆和所述元素的混合氧化物中选择的一个层覆盖，随后结合溶液被施加到表面的至少一个被接合并且表面被粘结在一起。本发明还教导了使用的氧化物层（3）的作为最上层一个用碱性，含硅酸盐的溶液将被接合构件，用于避免或减少混浊和/或缺陷的作为底层上的化学侵蚀的结果通过所述碱性溶液。

4. 发明申请

WO2009077458A1 NIEDERTEMPERATURVERFAHREN ZUM FÜGEN VON GLAS UND DERGLEICHEN FÜR OPTIK UND PRÄZISIONSMECHANIK 审中-公开
标题翻译：低温制备用于连接玻璃等的光学和PRÄZISIONSMECHANIK
公开(公告)号：WO2009077458A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/EP2008/067442
申请日：2008-12-12
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , KRAUSS, Manfred , LEOPOLDSBERGER, Gudrun , KALKOWSKI, Gerhard , EBERHARDT, Ramona , TUENNERMANN, Andreas , JAHNKE, Charlotte , FABIAN, Simone
发明人： KRAUSS, Manfred , LEOPOLDSBERGER, Gudrun , KALKOWSKI, Gerhard , EBERHARDT, Ramona , TUENNERMANN, Andreas , JAHNKE, Charlotte , FABIAN, Simone
IPC分类号： C03C27/06 , C04B28/26
CPC分类号： C04B28/26 , C03C27/06 , C04B28/24 , C04B37/005 , C04B2111/00637 , C04B2237/06 , C04B2237/062 , C04B2237/064 , C04B2237/066 , C04B2237/068 , C04B2237/34 , C04B2237/341 , C04B22/0013 , C04B40/0263 , C04B40/0272 , C04B12/04 , C04B24/045 , C04B14/041 , C04B14/305 , C04B14/306
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Fügen von zwei oder mehr Bauteilen aus Glas, Keramik und/oder Glaskeramik mit Hilfe einer Wasserglas-Fügelösung mit Natrium-, Kalium- und/oder Lithiumionen und/oder eines Kieselsols, bei welchem die Fügelösung auf Fügeflächen zwischen die zu fügenden Bauteile gebracht und bei milden Temperaturen verfestigt wird, wobei das Verfahren entweder dadurch gekennzeichnet ist, dass die Fügelösung einen Zusatz enthält, ausgewählt unter Borsäure, Borverbindungen, aus denen durch Hydrolyse Borsäure entstehen kann, Aluminiumacetaten, Aluminiumsilicat/NH 3 /H 2 O Titanverbindungen, die in wässriger Lösung Titan-Hydroxokationen bilden, wasserlöslichen Zinkverbindungen, wasserlöslichen Zirkonverbindungen und wasserlöslichen Yttriumverbindungen, wobei dieser Zusatz in einer Menge zugegeben wird, die den pH-Wert der zugrunde liegenden Wasserglas-Fügelösung verringert, und/oder dadurch gekennzeichnet ist, dass nach Aufbringen der Fügelösung und Zusammenfügen der zu fügenden Bauteile und deren Fixierung eine Trocknung der gefügten Bauteile durch Entfernen von Wasser bei Raumtemperatur erfolgt, wobei nach der Trocknung eine Temperung der gefügten Bauteile im Vakuum bei einer Temperatur im Bereich von oberhalb Raumtemperatur bis zu 200°C erfolgt.
摘要翻译：本发明涉及一种用于连接两个或由玻璃制成的多个部件，陶瓷和/或玻璃陶瓷与钠，钾和/或锂离子和/或硅溶胶的水玻璃接合溶液的助剂，其中上之间的接合表面的接合溶液其带来的部件被接合，并在温和的温度下，该方法包括任一的特征在于，所述关节溶液含有从硼酸，硼化合物中选出的添加剂，可以进行那些由硼酸，Aluminiumacetaten，铝/ NH 3 / H 2 O的钛化合物的水解而形成的固化，形成在水溶液中，水溶性锌化合物，水溶性锆化合物和水溶性钇钛羟基阳离子，所述添加剂以减少潜在的水玻璃接合部溶液的pH值的量添加，和/或表征的是，涂布后该FUG ，Elösung和组装的部件被接合和它们的固定是通过相结合的成分的干燥通过在来自上述室温至200℃的范围内的温度除去在室温下的水所发生干燥后，在真空中进行退火相结合的成分进行

5. 发明申请

WO2008101699A3 METHOD FOR LASER SUPPORTED BONDING SUBSTRATES BONDED THUS AND USE THEREOF 审中-公开
标题翻译：基于激光的键合，键合的亚阈值及其用途的方法
公开(公告)号：WO2008101699A3
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/EP2008001362
申请日：2008-02-21
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , UNIV SCHILLER JENA , TUENNERMANN ANDREAS , EBERHARDT RAMONA , KALKOWSKI GERHARD , NOLTE STEFAN
发明人： TUENNERMANN ANDREAS , EBERHARDT RAMONA , KALKOWSKI GERHARD , NOLTE STEFAN
IPC分类号： H01L21/04 , H01L21/762
CPC分类号： B29C65/16 , C03B23/203 , C03C23/0025 , C03C27/06 , C04B37/042 , C04B2235/658 , C04B2235/6581 , C04B2235/665 , C04B2237/30 , C04B2237/341 , C04B2237/346 , C04B2237/36 , C04B2237/52 , C04B2237/55 , C04B2237/60 , H01L21/187 , H01L21/2007
摘要： The invention relates to a method for laser-supported bonding of substrates, wherein firstly said substrates are non-positively connected by pressure and then a local laser radiation induced activation of a fixing of the connection between the substrates is achieved. The invention further relates to substrates produced as above.
摘要翻译：本发明涉及一种用于衬底的激光支撑结合的方法，其中它们首先通过压力以力锁合的方式彼此连接，并且随后通过激光辐射引发的区域激活而发生衬底之间的连接的固化。同样，本发明涉及随后制备的基材。

6. 发明申请

WO2012113651A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LEICHTBAUSTRUKTURELEMENTEN 审中-公开
标题翻译：用于生产轻质结构元素
公开(公告)号：WO2012113651A2
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/EP2012/052207
申请日：2012-02-09
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , KALKOWSKI, Gerhard , RISSE, Stefan , EBERHARDT, Ramona
发明人： KALKOWSKI, Gerhard , RISSE, Stefan , EBERHARDT, Ramona
IPC分类号： G02B7/183 , B32B17/06 , C03B23/203 , G02B5/18
CPC分类号： C03B23/203 , B32B3/266 , B32B17/06 , C03B23/20 , C04B37/001 , C04B37/04 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C04B2237/366 , C04B2237/52 , C04B2237/62 , G02B5/1847 , G02B7/183
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Leichtbaustrukturelementen, die als Verbundbauelement mit mindestens einer Deckplatte und einem Trägerelement, die miteinander verbunden sind, hergestellt werden. Es werden ein Trägerelement, an dem mindestens eine Durchbrechung und/oder mindestens eine Aussparung ausgebildet ist, und mindestens ein weiteres Element, das eine Deckplatte ist, miteinander verbunden. Trägerelement und mindestens eine Deckplatte können aus einem Glas, einer Glaskeramik, einer Keramik und/oder Silicium mit einer oxidischen Oberflächenschicht, die zumindest im Fügebereich der miteinander zu verbindenden Elemente ausgebildet ist, gebildet sein. Das Trägerelement soll eine mindestens zweifache Dicke in Bezug zur Dicke einer Deckplatte aufweisen. Die Oberflächen der miteinander zu verbindenden Deckplatte (n) und des Trägerelements sollen in ihren Fügebereichen intensiv gereinigt und so geglättet werden, dass dort eine Rauheit der Oberfläche erreicht wird, dass sie bei einer wirkenden Druckkraft mit mindestens 80 % ihrer Fügefläche in unmittelbarem berührenden Kontakt stehen und dabei eine thermische Behandlung bei einer Temperatur von mindestens 100 °C und einem Halten der Temperatur über einen Zeitraum von mindestens 0,5 h durchgeführt wird, um eine Fügeverbindung der Deckplatte (n) und dem Trägerelement herzustellen. Dabei soll mindestens eine Deckplatte mit einer Oberfläche des Trägerelements verbunden werden, an der mindestens eine Öffnung einer Durchbrechung oder einer Aussparung angeordnet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产具有至少一个顶板并且被彼此连接的支撑元件的复合部件轻质结构元件的制造方法。它可以是这是一个盖板，其上形成至少一个开口和/或至少一个凹部的支撑构件，和至少另一种元素，而彼此连接。承载元件和至少一个覆盖板可以由玻璃，玻璃陶瓷，陶瓷和/或硅与可以至少被形成为连接元件形成在所述接合区的氧化物表面层的。所述支撑构件的厚度应至少两倍相对于盖板的厚度。表面接合在一起覆盖板（S）和所述载体元件可以在它们的接合区域集中地清洁，因此平滑的，有表面的粗糙度达到，它们是在一定压力下在直接相邻接触作用的它们的接合表面的至少80％的力而在至少100℃的温度下的热处理和保持温度在一段至少为0.5小时，以产生所述盖板（S）和所述载体元件的关节连接。在这种情况下，应连接的至少一个覆盖板与所述支撑构件的表面被布置在一开口或凹部中的所述至少一个开口。

7. 发明申请

WO2008101699A2 VERFAHREN ZUM LASER-GESTÜTZTEN BONDEN, DERART GEBONDETE SUBTRATE UND DEREN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：方法基于激光的粘接，粘接此类subtrate及其用途
公开(公告)号：WO2008101699A2
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/EP2008/001362
申请日：2008-02-21
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITÄT JENA , TÜNNERMANN, Andreas , EBERHARDT, Ramona , KALKOWSKI, Gerhard , NOLTE, Stefan
发明人： TÜNNERMANN, Andreas , EBERHARDT, Ramona , KALKOWSKI, Gerhard , NOLTE, Stefan
IPC分类号： H01L21/04 , H01L21/762
CPC分类号： B29C65/16 , C03B23/203 , C03C23/0025 , C03C27/06 , C04B37/042 , C04B2235/658 , C04B2235/6581 , C04B2235/665 , C04B2237/30 , C04B2237/341 , C04B2237/346 , C04B2237/36 , C04B2237/52 , C04B2237/55 , C04B2237/60 , H01L21/187 , H01L21/2007
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Laser-gestützten Bonden von Substraten, bei dem diese zunächst durch Anpressen kraftschlüssig miteinander verbunden werden und im Anschluss durch Laserstrahlung induzierte bereichsweise Aktivierung eine Verfestigung der Verbindung zwischen den Substraten erfolgt. Ebenso betrifft die Erfindung hiernach hergestellte Substrate.
摘要翻译：本发明涉及基于激光的粘结基材的方法，在其中它们通过第一按压力配合彼此连接，并随后通过激光辐射诱导的活化区域，加强基板之间的连接的情况下进行。本发明还涉及下文制成基材。

8. 发明申请

WO02052326A3 DEVICE AND METHOD FOR INTRODUCING FLEXIBLE FIBRES INTO HOLES 审中-公开
标题翻译：设备和方法引入HOLES弯曲弹性纤维
公开(公告)号：WO02052326A3
公开(公告)日：2003-05-08
申请号：PCT/DE0104962
申请日：2001-12-21
申请人： SCHOTT GLAS , ZEISS STIFTUNG , FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , OLBRICHT KAI , SCHUSTER MARKUS , KALKOWSKI GERHARD , HARNISCH GERD , EBERHARDT RAMONA , MOHAUPT MATHIAS
发明人： OLBRICHT KAI , SCHUSTER MARKUS , KALKOWSKI GERHARD , HARNISCH GERD , EBERHARDT RAMONA , MOHAUPT MATHIAS
IPC分类号： G02B6/36 , G02B6/38 , G02B6/46 , G02B6/42
CPC分类号： G02B6/3616 , G02B6/3636 , G02B6/3644 , G02B6/3672 , G02B6/3833
摘要： The invention relates to a device and method for introducing flexible fibres into holes, which are close together in a hole plate. The aim of the invention is to solve the problem of introducing said flexible fibres, such as for example, glass fibres, into individual holes of said hole plates in an automatic manner and with little time taken and avoiding damage to the fibres. Said aim is achieved, whereby two grabs, arranged at a distance from each other are used for gripping each fibre and moving said fibre towards a hole in the hole plate and introducing the same into said hole. The at least two applied grips are thus rigidly connected to each other and one of the both grips compensates for the weight and or acceleration forces of the fibre.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和在其中紧密地彼此相邻的形成在多孔板的孔进行灵活的弹性纤维的插入的方法。通过本发明，这个问题的目的是要解决的，例如弯曲弹性的纤维，如玻璃纤维引入自动化的方法，并用在这种孔板的各个孔中短时间泽可以和避免对纤维的损伤。为了解决该问题，在两个相互间隔夹具，与相对于所采取的各纤维移动到一个孔中的多孔板和插入该孔中。所述至少两个中使用抓持器被牢固地连接在一起，并且该纤维的两个抓补偿的重量和/或加速力中的一个。

9. 发明申请

WO0031774A2 HOLDING DEVICE FOR A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：保持装置用于基板
公开(公告)号：WO0031774A2
公开(公告)日：2000-06-02
申请号：PCT/DE9903638
申请日：1999-11-16
申请人： LEICA MICROSYS LITHOGRAPHY LTD , SCHUBERT GERHARD , KIRSCHSTEIN ULF CARSTEN , RISSE STEFAN , HARNISCH GERD , KALKOWSKI GERHARD , GUYENOT VOLKER
发明人： SCHUBERT GERHARD , KIRSCHSTEIN ULF-CARSTEN , RISSE STEFAN , HARNISCH GERD , KALKOWSKI GERHARD , GUYENOT VOLKER
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/683 , H01L21/00
CPC分类号： G03F7/707 , G03F7/70708 , H01L21/6831
摘要： The invention relates to a device for holding a substrate (18) in an exposure apparatus, wherein the surface of the substrate (18) to be exposed lies in a plane which is generated by the coordinates X, Y. The substrate (18) is linked to a table (1) which can be displaced within the coordinates X, Y and material measure means are provided between the table surface (5) and the substrate (18) for adjusting the distance and for orienting the substrate (18) in relation to an exposure optic (2). Particle radiation is emitted from said exposure optic (2) and is directed onto the substrate surface at a right angle in accordance with the coordinate Z. The inventive device provides for two supporting plates (3, 16) which are arranged parallel to the X, Y plane and which are mounted on the table (1) in the direction of the exposure optic (2) and at different distances from the table surface (5). A first supporting plate (3) is directly connected to the table (1) and the second supporting plate (16) is connected to said first supporting plate (3) by means of at least one holding device whose holding function can be switched on or off. A base plate for the substrate (18) is configured on the side of the second supporting plate (16) facing the exposure optic (2).
摘要翻译：本发明涉及一种设备，用于在其中待曝光的衬底（18）位于由坐标X跨越的平面的表面的曝光装置与一个在保持基板（18），Y平面，基板（18）坐标X，Y可动台（1）连接到和所述表面（5）和基片（18）massverkörpernde之间用于间隔所述衬底的调整和对准提供（18）相对于曝光光学系统（2），从该成直角的微粒辐射，对应于坐标Z，被引导至衬底表面。在上述类型（2）的装置，两个平行于平面X，Y取向的支撑板（3，16）上的表（1）在从所述表面（5）的距离不同的曝光光学系统的方向提供，其中（第一支撑板 3）直接连接到所述表（1）和通过至少一个保持装置的第二支撑板（16），所述保持功能被关闭，并且（与第一支承板3）连接。在此情况下，在第二支撑板（16）的面向曝光光学器件（2）的一侧上形成用于基板（18）的支撑平面。

10. 发明申请

WO1997049151A1 GAS-FILLED OVERVOLTAGE ARRESTERS WITH THREE ELECTRODES FOR A HORIZONTAL ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：充满气体的产生浪涌三个导说谎安排
公开(公告)号：WO1997049151A1
公开(公告)日：1997-12-24
申请号：PCT/DE1997001291
申请日：1997-06-18
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , KALKOWSKI, Gerhard
发明人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： H01T04/08
CPC分类号： H01T4/12
摘要： The invention relates to a three-electrode overvoltage arrester without leads which is to be arranged on a contact wafer and to be bonded by soldering. For this purpose, two of the three electrodes of the arrester are provided with solder flanges with an external diameter which is at least approximately 1 mm larger than the external diameter of the insulators arranged between the electrodes. Secondly, a sheet-metal strip is welded tangentially to the third electrode and forms a foot on a support when the arrester is arranged parallel to the axis. The supporting surface of said foot touches the solder flanges of the two other electrodes at the same time.
摘要翻译：安排一个三电极避雷器，而不在电路基板上的连接线，并通过焊接接触，两个避雷器的三个电极的设置有Lötflanschen其外径大至少比设置在电极绝缘体之间的外直径为约1毫米; 在另一方面片金属条焊接切向于第三电极，其形成脚与基座上的避雷器的轴向平行排列。该脚的支承表面也涉及其它两个电极的焊料凸缘。

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