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    • 2. 发明公开
    • MODULAR FILTER CASSETTE
    • MODULARE FILTERKASSETTE
    • EP2747867A1
    • 2014-07-02
    • EP12775858.9
    • 2012-10-03
    • Entegris, Inc.
    • PUGLIA, John P.BARROWS, Louis Jr.LOWE, Christopher JohnLEE, Ben Mai PakLAVERDIERE, Marc
    • B01D29/07
    • The present disclosure relates to modular filtration cassettes for filtering liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A filter housing may define a filter cavity comprising an upstream portion and a downstream portion. The filter may further comprise a filter element disposed in the filter cavity. The filter element may at least partially overlap the filter inlet on a first side of the filter element. The filter element may comprise a rectangular pleated filter with a set of pleats having a first set of pleat tips on an upstream side of the filter element and a second set of pleat tips on a downstream side of the pleated filter.
    • 本公开涉及用于过滤液体的模块化过滤盒,包括例如半导体制造中使用的液体。 过滤器壳体可以限定包括上游部分和下游部分的过滤腔。 过滤器还可以包括设置在过滤腔中的过滤元件。 过滤元件可以至少部分地与过滤元件的第一侧上的过滤器入口重叠。 过滤元件可以包括具有一组褶皱的矩形褶皱过滤器,该褶皱在过滤元件的上游侧具有第一组褶皱尖端,在褶皱过滤器的下游侧具有第二组褶皱尖端。