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1. 发明申请

WO2011117105A3 MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND IHRE VERWENDUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2011117105A3
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：PCT/EP2011/053840
申请日：2011-03-15
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG , SILICON MICROSTRUCTURES, INC. , BURCHARD, Bernd , DOELLE, Michael , NINGNING, Zhou
发明人： BURCHARD, Bernd , DOELLE, Michael , NINGNING, Zhou
IPC分类号： B81B3/00
摘要： Die mikroelektromechanische Vorrichtung weist ein für die Herstellung mikroelektronischer Bauelemente geeignetes Substrat (1), insbesondere Halbleitersubstrat, auf. In das Substrat (1) ist ein mikromechanisches Bauelement, das ein reversibel verbiegbares Biegeelement (4) aufweist, welches ein mit dem Substrat (1) verbundenes erstes Ende (34) aufweist und sich von diesem ersten Ende (34) aus über einen Freiraum (3) erstreckt, integriert. Das Biegeelement (4) weist mindestens einen Steg (8) mit zwei Seitenrändern auf, deren Verlauf (35) durch an die Seitenränder angrenzende, in das Biegeelement (4) eingebrachte Vertiefungen (6) definiert ist. Zur Bildung eines innerhalb des Steges (8) liegenden Homogenisierungsbereichs, in dem beim Verbiegen des Biegeelements (4) auftretende mechanische Spannungen im Wesentlichen gleich groß sind, nimmt der gegenseitige Abstand der Seitenränder des Steges (8) von dem ersten Ende (34) des Biegeelements (4) aus betrachtet ab. Ferner weist die Vorrichtung mindestens ein für mechanische Spannungen empfindliches mikroelektronisches Bauelement (36) auf, das innerhalb des Homogenisierungsbereichs des Steges (8) in diesem integriert ist.

2. 发明申请

WO2015044442A2 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER SEQUENZ VON BINÄREN CODEWÖRTERN EINES MEHRBIT-CODES FÜR EIN ANSTEUERSIGNAL FÜR EINEN VERBRAUCHER 审中-公开
标题翻译： METHOD FOR GENERATING二进制代码字序列的多比特码的激活信号用于消费者
公开(公告)号：WO2015044442A2
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：PCT/EP2014/070885
申请日：2014-09-30
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG
发明人： BURCHARD, Bernd , SCHMITZ, Christian
CPC分类号： H05B33/0818 , H05B33/0842 , Y02B20/346
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer Sequenz von binären Codewörtern eines Mehrbit-Codes für ein Ansteuersignal, wobei beidem Verfahren -ein Mehrbit-Code mit einer Vielzahl von binären Codewörtern mit jeweils gleicher Anzahlvon n-Bits, mit n > 1 bereitgestellt wird, die sich in mindestens zwei Code-Klassen von Codewörtern unterteilen lassen, wobei mindestens eine Code-Klasse mehrere Codewörter mit der gleichen Anzahl von Eins-Bits aufweist und die Anzahl von Eins-Bits der Codewörter der Code-Klassen von Code-Klasse zu Code-Klasse verschieden ist, und -das Ansteuersignal als Sequenz der Codewörter einer Code-Klasse erzeugt wird, indem die Codewörter dieser Code-Klasse in dem Ansteuersignal zufalls- oder quasi zufallsgesteuert oder in beliebig variierender oder deterministisch variierender Reihenfolge aufeinanderfolgen, -wobei aus der Anzahl von Codewörtern einer Code-Klasse eine mindestens zwei Codewörter umfassende Untermenge an Codewörtern ausgewählt wird, und wobei die Codewörter dieser Untermenge zur Bildung des Ansteuersignals verwendet werden.
摘要翻译：
本发明涉及一种方法，用于产生的AM＆AUML序列;仁Codew＆OUML;出现的多比特的代码导航使用R A驱动信号，字，其中，在-a具有多个仓＆AUML的多比特代码的方法;任Codew＆OUML 每个具有相等数量的n个比特，其中n> 提供如图1所示，其中在Codew＆ouml的至少两个代码类;出现分裂空白即，至少一个码类中的多个Codew＆OUML;具有与相同数目的一个比特和Codew＆OUML之一的比特数[叔;的[叔代码类代码的类代码的类是不同的，并且作为Codew＆oUML序列-the控制信号[叔由Codew＆oUML的码类中产生; [叔在驱动信号的代码类随机或准随机地或以连续任意改变或确定性改变的顺序，从Codew＆oUML的数目 - 其中;出现的码类的至少两个Codew＆oUML字; Codew＆oUML的[叔广泛子集;显示所选BEAR词语是HLT，并且其中所述Codew＆oUML; [叔该子集以形成驱动信号被使用。

3. 发明申请

WO2012152753A1 VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG DES SPEKTRUMS ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG INNERHALB EINES VORGEGEBENEN WELLENLÄNGENBEREICHS 审中-公开
标题翻译：用于测量电磁辐射的光谱内的给定的波长范围内
公开(公告)号：WO2012152753A1
公开(公告)日：2012-11-15
申请号：PCT/EP2012/058367
申请日：2012-05-07
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG , BURCHARD, Bernd , BUDDE, Wolfram
发明人： BURCHARD, Bernd , BUDDE, Wolfram
IPC分类号： H01L27/146 , G02B5/18 , H01L31/0216 , G01J3/28
CPC分类号： H01L27/14621 , G01J3/04 , G01J3/12 , G01J3/2803 , G01J5/0862 , G01J2003/1213 , G02B5/204 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14629 , H01L27/14645 , H01L31/02162
摘要： Die Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs ist versehen mit einem Substrat (12), einer oberhalb des Substrats (12) angeordneten ersten Lochmaske (20) aus einem für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material, wobei die erste Lochmaske (20) eine Vielzahl von ersten Fenstern (22) aufweist, einer Vielzahl von in dem Substrat (12) angeordneten und für Strahlung innerhalb bei jeweils einer verschiedenen Wellenlänge des vorgegebenen Wellenlängenbereichs empfindlichen Sensorelementen, und einer oberhalb der ersten Lochmaske (20) angeordneten, zweite Fenster (36) aufweisenden zweiten Lochmaske (32) aus einem für die Strahlung innerhalb des vorgegebenen Welienlängenbereichs undurchlässigen Material. Die zweiten Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) sind überlappend mit den Fenstern der ersten Lochmaske (20) angeordnet und gegenüberliegende Ränder der jeweils zwei sich überlappenden Fenster der beiden Lochmasken (20, 32) definieren die Größe eines jeweils einem Sensorelement zugeordneten Strahlungsdurchlasses (42) zum Durchlassen von Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs zu dem unterhalb des Strahlungsdurchlasses (42) angeordneten Sensorelement. Für die Erfassung der Intensität von elektromagnetischer Strahlung bei jeder der mehreren, interessierenden Wellenlängen innerhalb des vorgegebenen Welienlängenbereichs ist mindestens einer der Strahlungsdurchlässe (42) mit einer der jeweils interessierenden Wellenlänge zugeordneten Größe vorgesehen.
摘要翻译：预定波长范围的材料中，第一阴影掩模（内的材料制成不可渗透的对放射线的基片（12），所述第一阴影掩模（20）上方，用于检测给定波长范围内的电磁辐射谱的装置，设置有基板（12），布置在一个 20）包括多个第一窗口（22），布置在多个（在该基板12），并在一个不同的波长的预定波长范围敏感的传感器元件中的每个设置成用于辐射，和一个（上方的第一荫罩20），第二窗口（36），其具有不透预定Welienlängenbereichs材料内的辐射的材料的第二荫罩（32）。第二荫罩的第二窗口（36）（32）被布置成与所述第一荫罩的窗口（20）和所述两个穿孔掩模（20，32），其限定分别分配的传感器元件的辐射通道的尺寸的两个重叠的窗口的相对边缘重叠（42）布置成用于辐射通过所述预定波长区域内的通道（42）的传感器元件下方的辐射。在每个所述多个预定Welienlängenbereichs至少所述辐射孔（42），用提供的相关尺寸每个感兴趣的波长中的一个的一个内的感兴趣的波长的检测电磁辐射的强度的。

4. 发明申请

WO2012150341A2 VERFAHREN ZUR ERFASSUNG EINES VON EINER ERSTEN EINHEIT ZU EINER ZWEITEN EINHEIT TRANSFERIERBAREN, MENGENMÄSSIG BESTIMMBAREN MEDIUMS 审中-公开
标题翻译： METHOD FOR A股从第一至第二单元转让的检测，定量确定MEDIUM
公开(公告)号：WO2012150341A2
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：PCT/EP2012/058265
申请日：2012-05-04
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG , WOLLINGER, Thomas , KÜSTER, Matthias , MONTINO, Ralf , BURCHARD, Bernd
发明人： WOLLINGER, Thomas , KÜSTER, Matthias , MONTINO, Ralf , BURCHARD, Bernd
IPC分类号： B60L11/18
CPC分类号： B60L11/1846 , B60L11/1816 , B60L11/182 , B60L11/184 , B60L11/1842 , B60L11/1844 , B60L11/1848 , B60L2240/70 , B60L2250/10 , B60L2250/16 , Y02E60/721 , Y02T10/7005 , Y02T10/7072 , Y02T10/7291 , Y02T90/121 , Y02T90/122 , Y02T90/128 , Y02T90/14 , Y02T90/16 , Y02T90/163 , Y02T90/169 , Y04S10/126 , Y04S30/14
摘要： Verfahren zur Erfassung eines von einer ersten Einheit zu einer zweiten Einheit transferierbaren, mengenmäßig bestimmbaren Mediums, mit den folgenden Schritten: kontinuierliches Erfassen der von der ersten Einheit an die zweite Einheit transferierten Menge an Medium, kontinuierliches Erfassen der Menge an Medium, die zweite Einheit von der ersten Einheit empfangen hat, kontinuierliches Vergleichen beider erfasster Mengen, und Bewerten des aktuellen Ergebnisses des Vergleichs. Dieses Verfahren kann bidirektional arbeiten.
摘要翻译：一种用于检测转移从一个第一单元至一个第二单元，定量确定的介质，其包括以下步骤的方法：连续地感测所传送的从第一单元到介质的第二单位量，连续地检测介质的量，所述第二单元第一单元已经接收，连续地比较这两个检测量，并评估比较的当前结果。这个过程可以双向操作。

5. 发明申请

WO2014096385A1 VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG EINER EIGENSCHAFT EINES UEBERTRAGUNGSKANALS ZWISCHEN EINEM SENDER UND EINEM EMPFAENGER 审中-公开
标题翻译：一种用于确定传输信道的状态之间达成具有发送器和接收
公开(公告)号：WO2014096385A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/077749
申请日：2013-12-20
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG
发明人： BURCHARD, Bernd , SCHMITZ, Denis
IPC分类号： G01S17/02 , G01S7/486
CPC分类号： G01S17/026 , G01S7/486
摘要： Die Vorrichtung zur Bestimmung mindestens einer Eigenschaft eines Übertragungskanals zwischen einem Nutzsignalsender (2) und einem Empfänger (3) ist versehen mit einem Analog-Digital-Wandler (22, 9, 10a, b, c), der einen Eingang (6) zur Kopplung mit dem Nutzsignalsender (2) und einen Ausgang (11) aufweist. Ferner ist die Vorrichtung mit einem Kondensator (5), der in Reihe zwischen dem Nutzsignalsender (2) und dem Eingang (6) des Analog-Digital-Wandlers (22,9,10,a,b,c) geschaltet ist, und einer Skalarprodukteinheit (12) zur Ermittlung des Skalarprodukts zwischen dem Ausgangssignal des Analog-Digital-Wandlers (22,9,10,a,b,c) und einem Referenztaktsignal (25,27) versehen. Die Vorrichtung weist ein Filter (13,14) zur Filterung des Produktergeb- nissignals und eine Multiplikationseinheit (26) zur Multiplikation des Ausgangssignals des Filters (13,14) mit dem Referenztaktsignal (25,27) auf. Die Vorrichtung ist mit einem Digital-Analog-Wandler oder einer PWM-Einheit (16) zur Umsetzung des digitalen Multiplikationsergebnissignals in ein Analog-Signal versehen, wobei das Ausgangssignal des Digital-Analog-Wandlersbzw. der PWM-Einheit (16)mit dem Eingang des Analog-Digital-Wandlers (22, 9, 10, a, b, c) gekoppelt ist.
摘要翻译：用于确定Nutzsignalsender（2）和一个接收器之间的传输信道的至少一个特征的装置（3）设置有模拟数字转换器（22，图9，图10A，B，C），具有一个输入端（6），用于耦合具有Nutzsignalsender（2）和输出（11）。此外，包括一个冷凝器（5），其被串联连接在Nutzsignalsender（2）和所述输入端（6）的模拟数字转换器的（22,9,10，A，B，C）之间，以及装置点积部（12），用于确定所述模拟 - 数字转换器的输出信号之间的标量积（22,9,10，A，b，c）和提供的参考时钟信号（25,27）。该装置包括用于为所述过滤器（13,14）到所述基准时钟信号（25,27）的输出信号乘以滤波Produktergeb- nissignals和乘法单元（26）的过滤器（13,14）。该装置设置有一数字 - 模拟转换器或者用于数字乘法结果信号转换为模拟信号的PWM单元（16），其中，所述数字 - 模拟Wandlersbzw的输出信号。 PWM单元（16）的模拟数字转换器（22，9，10，A，B，C）耦合的输入端。

6. 发明申请

WO2013167208A1 MIKROOPTISCHES FILTER UND DESSEN VERWENDUNG IN EINEM SPEKTROMETER 审中-公开
标题翻译：微光学滤镜和用法光谱仪
公开(公告)号：WO2013167208A1
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：PCT/EP2012/071595
申请日：2012-10-31
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG
发明人： BURCHARD, Bernd , KLEINSCHMIDT, Frank , MÖLLER, Jesco
IPC分类号： G01J3/02 , G02B5/20 , G02B5/00 , H01L31/0216 , H01L27/146
CPC分类号： G01J3/0205 , G01J3/0229 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G02B5/008 , G02B5/201 , G02B5/204 , G02B5/208
摘要： Die Vorrichtung zur selektiven Transmission des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs ist versehen mit einem Träger (115), einer oberhalb des Trägers (115) angeordneten Lochblende aus einem für die interessierende Strahlung im Wesentlichen undurchlässigen Material, wobei die Lochblende mindesten eine Strahlungsdurchlassöffnung mit einer Größe zum Hindurchlassen von Strahlung mit einer Wellenlänge aufweist, die kleiner oder gleich einer vorgebbaren oberen Grenzwellenlänge ist, und einer elektrisch isolierenden und optisch transparenten Dielektrizitätsschicht (103), die innerhalb der Strahlungsdurchlassöffnung auf dem Träger (115) ausgebildet ist und sich an die Strahlungsdurchlassöffnung angrenzend zwischen dem Träger (115) und zumindest einem Teilbereich unterhalb der Lochblende erstreckt. Die Dielektrizitätsschicht (103) weist eine Dicke auf, die kleiner als die oder gleich der Hälfte einer vorgebbaren unteren Grenzwellenlänge ist, welche kleiner als die obere Grenzwellenlänge ist.
摘要翻译：对于给定的波长范围内的电磁辐射光谱的选择性传输的装置上设置有支撑件（115），从不可透过感兴趣的辐射是基本上材料的材料，其针孔至少一个辐射通道开口的载体上布置成一个在（115）孔板具有波长小于或等于预定的上截止波长具有大小为辐射的通道，并在所述支承件（115）的辐射通道开口内形成并位于邻近所述辐射通道开口的电绝缘和光学透明电介质层（103）所述支撑件（115）和针孔隔膜下方的区域的至少一部分之间延伸。该介电层（103）的厚度小于或等于一半的预定下限截止波长比上限波长小。

7. 发明申请

WO2013076079A1 VERFAHREN UND MESSSYSTEM ZUR ABSTANDSMESSUNG MITTELS DER LAUFZEIT VON KOMPENSIERTEN IMPULSEN 审中-公开
标题翻译：方法和测量系统测量距离COMPENSATED使用脉冲的TERM
公开(公告)号：WO2013076079A1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：PCT/EP2012/073109
申请日：2012-11-20
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG
发明人： BURCHARD, Bernd , BERGMANN, Joachim
IPC分类号： G01S7/486 , G01S7/497
CPC分类号： G01S7/486 , G01S7/497
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Laufzeitmessung eines Sendesignals (6) durch wenigstens eine erste Übertragungsstrecke eines auf einer rückgekoppelten Kompensation beruhenden Messsystems (100) zwischen wenigstens einem ersten Sender (7) und wenigstens einem Empfänger (12). In einem Schritt erfolgt das Senden des Sendesignals (6) von dem ersten Sender (7) in eine erste Übertragungsstrecke (41) mit mindestens einer ersten Laufzeit an den Empfänger (12) und Senden eines Kompensationssignals (19) von einem zweiten Sender (20) in eine zweite Übertragungsstrecke (42), wobei die Übertragungseigenschaften der zweiten Übertragungsstrecke (42) bekannt sind. In einem weiteren Schritt werden die sich überlagernden Sendesignale (6) und Kompensationssignale (19) mittels des Empfängers (12) empfangen. Weiter wird ein Empfängerausgangssignal (11) aus den überlagerten Signalen (6, 19) gebildet. Dabei erfolgt ein Erzeugen eines Impulssignals (4) mit Impulsen mit einem Impulsabstand, wobei der Impulsabstand mindestens das Doppelte der maximal zu erfassenden Laufzeit des Sendesignals (6) beträgt und die Impulsdauer des Impulses höchstens ein Viertel des Impulsabstands ist. Des Weiteren folgt: Erzeugen des mindestens einen Sendesignals (6) durch die erzeugten Impulse des Impulssignals (4), wobei das Kompensationssignal (19) gegenüber dem Sendesignal (6) des ersten Senders (7) regelbar verzögert oder in der Phasenlage verändert ist und wobei das Kompensationssignal (19) derart geformt und in der Amplitude ausgeregelt ist, dass es bei Summenbildung mit dem Sendesignal (6) des ersten Senders (7) ein Konstantsignal (11) an dem wenigstens einen Empfänger (12) bildet und wobei an dem Empfänger (12) mindestens eine Laufzeit oder Veränderung der Laufzeit des durch die Impulse gepulsten Sendesignals (6) vom ersten Sender (7) zu dem Empfänger (12) erfasst wird.
摘要翻译：本发明通过至少基于反馈补偿测量系统（100）上的系统的第一传输路径涉及一种用于发送信号（6）的传输时间测量的处理至少一个第一发射器（7）和至少一个接收器（12）之间。在一个步骤中，从第一发送器的发送信号（6）的发送（7）发生在第一传输链路（41），其具有至少一个第一项到接收器（12）和从第二发射机发送的补偿信号（19）（20）在第二传输路径（42），其中，所述第二传输路径（42）的传输特性是已知的。在进一步的步骤中，由接收器（12）接收到的叠加传输信号（6）和所述的补偿信号（19）。另外，从叠加的信号（6，19）的接收器输出信号（11）形成。在这种情况下发生产生脉冲信号（4）与具有脉冲间隔的脉冲，脉冲间隔是传输信号的至少两倍要检测的最大持续时间（6）和所述脉冲的脉冲持续时间是脉冲间隔超过四分之一。此外如下：（6）由所述脉冲信号（4）的所产生的脉冲，生成所述至少一个传输信号，其中所述补偿信号（19）相对于所述发送信号（6）的第一传送器（7）延迟控制或相位位置，并且其中改变的是补偿信号（19），从而成形和在幅度调整使得其形成在与所述第一发射器的传输信号（6）求和（7）是一个恒定的信号（11）到所述至少一个接收器（12），并且其中（在接收器处 12）被检测到的至少一个词或改变由从第一发送机（7）到接收器（12））发送的信号（6脉冲的脉冲的持续时间。

8. 发明申请

WO2015044447A3 BELEUCHTUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2015044447A3
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：PCT/EP2014/070893
申请日：2014-09-30
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG
发明人： BURCHARD, Bernd , SCHMITZ, Christian
IPC分类号： H05B33/08
摘要： Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung umfasst eine Mehrzahl von Leuchtmitteln insbesondere in Form von LEDs in mehreren Farben und Treiber zum Betreiben der Mehrzahl von LEDs. Des Weiteren umfasst sie mehrere, mit der Mehrzahl von LEDs in einem Stromkreis verschaltete und den jeweiligen Strompfaden entsprechende Schalter und/oder Regler, die Teil der Treiber sind, sowie eine zugehörige Steuerung (101) zum aperiodischen und unabhängigen Öffnen und Schließen der besagten Schalter oder Regler. Dabei kann die Steuerung (101) eine veränderliche Bus-Adresse aufweisen, um einen jeweiligen Anteil eines zugewiesenen Eingangsdatenflusses zu identifizieren und darauf zu reagieren. Dabei erzeugt die Steuereinrichtung (101) eine Mehrzahl von Ansteuersignalen (102, 103, 104). Jedes Ansteuersignal (102, 103, 104) entspricht dabei jeweils einer Farbe der Mehrzahl von LEDs (106, 107, 108, R, G, B) verschiedener Farben. Der logische Zustand jedes der Ansteuersignale (102, 103, 104) wird dabei durch das Öffnen und Schließen eines der Schalter oder der Regler entsprechend dem jeweiligen logischen Zustand eines Ansteuersignals bestimmt. Das Frequenzspektrum des Betrags der Frequenz des jeweiligen Ansteuersignals (102, 103, 104) und/oder des jeweiligen Ansteuersignals ist dabei bandbegrenzt. Dabei umfasst ein Datenflussanteil des Datenstromes auf einem Datenbus (EBUS, 109) oder innerhalb eines funkgestützten Datenstroms Daten zur Bestimmung des jeweiligen Füllfaktors des jeweiligen Ansteuersignais (102, 103, 104) und/oder des jeweiligen Ansteuersignals für die jeweilige verschiedenfarbige LED.

9. 发明申请

WO2013124018A1 VERFAHREN UND SENSORSYSTEM ZUR VERMESSUNG DER EIGENSCHAFTEN EINER ÜBERTRAGUNGSSTRECKE EINES MESSSYSTEMS ZWISCHEN SENDER UND EMPFÄNGER 审中-公开
标题翻译：方法和传感器系统测量的测量系统的传输路径之间的特性发射机和接收机
公开(公告)号：WO2013124018A1
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：PCT/EP2012/076663
申请日：2012-12-21
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG
发明人： BURCHARD, Bernd
IPC分类号： G01S17/46 , G01S17/10 , G01S7/487 , G01S7/497 , G01S17/02
CPC分类号： H04B17/3913 , G01S7/4876 , G01S7/497 , G01S17/026 , G01S17/10 , G01S17/46 , H04B17/14 , H04B17/24 , H04J3/14
摘要： Verfahren und Sensorsystem zur Vermessung der Übertragungseigenschaften einer ersten Übertragungsstrecke (T1) eines auf einer rückgekoppelten Kompensation beruhenden Messsystems zwischen einem ersten Sender (H1) und einem Empfänger (D1), wobei in dem Empfänger (D1) neben dem ausgestrahlten Sendesignal (I2) des ersten Senders (H1) ein Kompensationssignal (I2) eines Kompensationssenders (K) überlagert empfangen wird. Ein Speisesignal (S5) für den ersten Sender (H1) und ein Empfängerausgangssignal (S1) des Empfängers (D) bilden je einen Vektor in einem Prä-Hilbert-Raum. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt eine Hilbert-Projektion zwischen dem Empfängerausgangssignal (S1) des Empfängers (D) und dem Speisesignal (S5), so dass ein Projektionsbildsignal (S10) erzeugt wird. Aus dem Projektionsbildsignal (S10) wird ein Ausgangssignal (S4) gebildet. Mittels einer zumindest teilweisen Rücktransformation des Ausgangssignals (S4) mit dem Speisesignal (S5) wird ein Vorsignal (S6) erzeugt. Die Rücktransformation erfolgt bevorzugt mittels einer Multiplikation. Ein Kompensationssignal (S3) zum Speisen des Kompensationssenders (K) wird aus dem gebildeten Vorsignal (S6) generiert, um eine rückkoppelnde Regelung des Empfängerausgangssignals (S1) zu erzielen.
摘要翻译：用于测量基于第一发射器（H1）和一个接收器（D1）之间的反馈补偿测量系统上的度量的第一传输线（T1）的传输特性的方法和传感器系统，其中在邻近所述第一的发射传输信号（I 2）的接收器（D1）发射机（H1）的补偿信号（I 2）被接收到的叠加（K）的补偿发射机。所述第一发射机（H1）和所述接收器（D）的接收器输出（S1）的供给信号（S5）分别形成在预希尔伯特空间中的向量。通过本发明方法的装置中，进行接收器输出信号之间的希尔伯特投影所述接收器（D）和所述供电信号，从而生成投影图像信号（S10）（S5）的（S1）。从投影图像信号（S10）的输出信号（S4）被形成。通过与一个遥远的信号（S6）被产生的电源信号（S5）的至少部分的输出信号（S4）的变换装置。逆变换优选通过乘法来进行。用于进给发射机补偿（K）的补偿信号（S3）从预先形成的信号（S6）产生，以实现接收器输出信号（S1）的反馈控制。

10. 发明申请

WO2012101257A1 MIKROELEKTROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUM TESTEN EINES MIKROELEKTROMECHANISCHEN BAUELEMENTS 审中-公开
标题翻译：微电机部件和检验方法微机电元件
公开(公告)号：WO2012101257A1
公开(公告)日：2012-08-02
申请号：PCT/EP2012/051336
申请日：2012-01-27
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG , SILICON MICROSTRUCTURES, INC. , BURCHARD, Bernd , DOELLE, Michael
发明人： BURCHARD, Bernd , DOELLE, Michael
IPC分类号： G01L27/00 , B81C99/00
CPC分类号： B81B3/0018 , B81B2201/0264 , B81C99/0045 , G01L25/00 , G01L27/007
摘要： Das mikroelektromechanische Bauelement weist ein Halbleitersubstrat (1) mit in diesem ausgebildeter Kavität (2a) auf, die von einer reversibel verformbaren Membran (2) überdeckt ist. Innerhalb des Bereichs der Membran (2) ist ein Sensor (17) zur Erfassung einer Verformung der Membran (2) ausgebildet. Ebenfalls innerhalb des Bereichs der Membran (2) ist ein Testaktuator (28, 29, 30) zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran (2) angeordnet. Schließlich weist das mikroelektromechanische Bauelement eine mit dem Sensor ( 17) und dem Testaktuator (28, 29, 30) verbundene Auswerte- und Ansteuereinheit (41) zur Ansteuerung des Testaktuators (28, 29, 30) zur testweisen Verformung der Membran (2) und zur Auswertung eines Messsignals des Sensors (17) als sensorische Erfassung einer Verformung der Membran (2) infolge der Ansteuerung des Testaktuators (28, 29, 30) auf.
摘要翻译：所述微机电装置包括由一个可逆变形的膜片（2）覆盖的半导体衬底（1），其具有形成在该空腔（2a）中。内的膜（2），用于检测所述膜（2）的变形的传感器（17）的范围形成。另外，膜（2）的范围内是一个Testaktuator（28，29，30）被布置为发生了膜的测试目的变形（2）。最后，微机电装置包括一个给连接到评估和控制单元（41），所述传感器（17）和所述Testaktuator（28，29，30），用于驱动所述Testaktuators（28，29，30）的膜片的描述试验变形（2）和用于传感器（17），为所述膜（2）的变形的传感检测的测量信号的评价由于Testaktuators（28，29，30）的驱动。

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