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1. 发明申请

WO2006070161A1 CARACTERISATION METROLOGIQUE DE CIRCUITS DE MICROELECTRONIQUE 审中-公开
标题翻译：微电子电路的计量学特征
公开(公告)号：WO2006070161A1
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：PCT/FR2005/051130
申请日：2005-12-22
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
发明人： DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01B11/06 , G01J4/00 , G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/0641 , G01N2021/213
摘要： L'invention concerne un procédé et un dispositif de mesure par polarimétrie d'un objet plan portant des motifs répétés régulièrement et formant les lignes d'un réseau Selon le procédé de l'invention, on effectue une première mesure à l'ordre zéro, sous un angle d'incidence 1 et pour un premier angle azimuthal 1, on effectue au moins une deuxième mesure à l'ordre zéro, sous un angle d'incidence 2 et pour un deuxième angle azimuthal 2, la polarisation du faisceau incident est modulée et la polarisation du faisceau réfléchi est analysée pour chaque mesure, on calcul des données polarimétriques théoriques pour un objet modèle de l'objet réel, l'objet modèle comportant des paramètres ajustables à l'aide d'un formalisme de l'électromagnétisme, on caractérise l'objet en faisant une comparaison itérative des mesures avec les données polarimétriques théoriques pour différentes valeurs des paramètres ajustables.
摘要翻译：本发明涉及一种具有规则地重复形成网络线路的平坦物体的偏振测量的方法和装置。根据本发明，对于第一方位角（1）以入射角（1）进行第一零次测量，进行第二零次测量，对于第二方位角（1）具有入射角（2）角度（2），调制入射光束的偏振，并对每次测量分析反射光束的极化，计算出实物对象模型的理论极化数据，对象模型的参数可以通过手段形式主义的电磁学。该目的的特征在于对可调参数的不同值进行与理论极化数据测量的迭代比较。

2. 发明申请

WO2010049652A9 DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURES POLARIMETRIQUES SPECTROSCOPIQUES DANS LE DOMAINE VISIBLE ET PROCHE INFRAROUGE 审中-公开
公开(公告)号：WO2010049652A9
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：PCT/FR2009/052087
申请日：2009-10-28
申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , ECOLE POLYTECHNIQUE , CATTELAN, Denis , GARCIA-CAUREL, Enric , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
发明人： CATTELAN, Denis , GARCIA-CAUREL, Enric , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01N21/21
摘要： L'invention concerne un système polarimétrique spectroscopique sur un large domaine spectral, comprenant une source de lumière apte à émettre un faisceau lumineux incident sur un domaine de longueur d'onde, un générateur d'états de polarisation (PSG), un analyseur d'états de polarisation (PSA) et un détecteur. Le PSG et le PSA comprennent des moyens de modulation de la polarisation du faisceau lumineux. Selon l'invention, les moyens de modulation de la polarisation du PSG sont aptes à générer une séquence de m états de polarisation avec m > 4 à chaque longueur d'onde de mesure, les moyens de modulation de la polarisation du PSA sont aptes à déterminer une séquence de n états de polarisation avec n > 4 à chaque longueur d'onde de mesure, et les moyens de détection sont aptes à acquérir une séquence de N mesures avec 16

3. 发明申请

WO2007082937A1 POLARIMETRIC RAMAN SYSTEM AND METHOD FOR ANALYSING A SAMPLE 审中-公开
标题翻译：极化拉曼系统和分析样品的方法
公开(公告)号：WO2007082937A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/EP2007/050547
申请日：2007-01-19
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , OSSIKOVSKI, Razvigor , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
发明人： OSSIKOVSKI, Razvigor , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01N21/65 , G01N21/21 , G01J3/44
CPC分类号： G01J3/44 , G01J3/02 , G01J3/0224 , G01N21/21 , G01N21/65 , G01N21/658 , G01N2021/4792
摘要： The present invention concerns a Raman method and system for analysing a sample (4) comprising an excitation source (1) emitting an incident light beam (2), a sample holder (3), on which the sample (4) can be mounted, means for focusing the incident light beam (2) onto the sample surface (16) to generate a Raman scattered light having an intensity, means for collecting the Raman scattered light to form a Raman scattered light beam (5), a detection system (6) measuring intensity of the Raman scattered light beam (5) as a function of time. According to the invention, it comprises at least a polarization state generator (PSG) (7) able to generate four independent polarization states or a polarization state analyser (PSA) (8) able to analyse four independent polarization states in order to detect the intensity of the Raman scattered light beam (5) making it possible to calculate a partial or complete Mueller- Stokes matrix of the sample (4), the incident light beam (2) passing through said PSG (7) before being scattered by the sample (4) and the Raman scattered light beam (5) passing through said PSA (8) after being scattered by the sample (4).
摘要翻译：本发明涉及一种用于分析样品（4）的拉曼方法和系统，该样品（4）包括发射入射光束（2）的激发源（1），可以安装样品（4）的样品保持器（3）用于将入射光束（2）聚焦到样品表面（16）上以产生具有强度的拉曼散射光的装置，用于收集拉曼散射光以形成拉曼散射光束（5）的装置，检测系统（6））测量拉曼散射光束（5）的强度作为时间的函数。根据本发明，它包括至少能够产生四个独立极化状态的偏振状态发生器（PSG）（7）或能够分析四个独立极化状态的偏振状态分析器（PSA）（8），以便检测强度的拉曼散射光束（5），使得可以计算样品（4）的部分或完整的米勒 - 斯托克斯矩阵，入射光束（2）在被样品散射之前穿过所述PSG（7） 4）和被样品（4）散射之后穿过所述PSA（8）的拉曼散射光束（5）。

4. 发明公开

EP1828712A1 CARACTERISATION METROLOGIQUE DE CIRCUITS DE MICROELECTRONIQUE 有权
标题翻译：麦德龙合理定位微电路的电子
公开(公告)号：EP1828712A1
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：EP05848201.9
申请日：2005-12-22
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , Centre National de la Recherche Scientifique
发明人： DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01B11/06 , G01J4/00 , G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/0641 , G01N2021/213
摘要： The invention relates to a method and device for the polarimetric measurement of a flat object with regularly repeating patterns forming lines of a network. According to the invention, a first zero order measurement is carried out with an angle of incidence (1) for a first azimuthal angle (1), a second zero order measurement is made, with an angle of incidence (2) for a second azimuthal angle (2), the polarisation of the incident beam is modulated and the polarisation of the reflected beam analysed for each measurement, the theoretical polarimetric data for an object model of the real object are calculated, the object model having parameters which may be adjusted by means of a formalism of the electromagnetism. The object is characterised by making an iterative comparison of measured with the theoretical polarimetric data for different values for the adjustable parameters.

5. 发明公开

EP1974204A1 POLARIMETRIC RAMAN SYSTEM AND METHOD FOR ANALYSING A SAMPLE 审中-公开
标题翻译：偏振拉曼光谱仪和方法分析样品
公开(公告)号：EP1974204A1
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：EP07704017.8
申请日：2007-01-19
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
发明人： OSSIKOVSKI, Razvigor , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01N21/65 , G01N21/21 , G01J3/44
CPC分类号： G01J3/44 , G01J3/02 , G01J3/0224 , G01N21/21 , G01N21/65 , G01N21/658 , G01N2021/4792
摘要： The present invention concerns a Raman method and system for analysing a sample (4) comprising an excitation source (1) emitting an incident light beam (2), a sample holder (3), on which the sample (4) can be mounted, means for focusing the incident light beam (2) onto the sample surface (16) to generate a Raman scattered light having an intensity, means for collecting the Raman scattered light to form a Raman scattered light beam (5), a detection system (6) measuring intensity of the Raman scattered light beam (5) as a function of time. According to the invention, it comprises at least a polarization state generator (PSG) (7) able to generate four independent polarization states or a polarization state analyser (PSA) (8) able to analyse four independent polarization states in order to detect the intensity of the Raman scattered light beam (5) making it possible to calculate a partial or complete Mueller- Stokes matrix of the sample (4), the incident light beam (2) passing through said PSG (7) before being scattered by the sample (4) and the Raman scattered light beam (5) passing through said PSA (8) after being scattered by the sample (4).

6. 发明授权

EP3120134B1 DISPOSITIF ET MÉTHODE DE CARACTÉRISATION POLARIMÉTRIQUE DÉPORTÉE 有权
标题翻译：用于深度极性表征的装置和方法
公开(公告)号：EP3120134B1
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：EP15709113.3
申请日：2015-02-18
申请人： Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.) , Ecole Polytechnique
发明人： PAGNOUX, Dominique , VIZET, Jérémy , MANHAS, Sandeep , VANEL, Jean-Charles , DEBY, Stanislas , DE MARTINO, Antonello
IPC分类号： G01N21/21 , A61B1/07
CPC分类号： G01N21/21 , A61B1/07 , G01N2201/0636 , G01N2201/0683 , G01N2201/08 , G01N2201/12

7. 发明授权

EP1828712B1 CARACTERISATION METROLOGIQUE DE CIRCUITS DE MICROELECTRONIQUE 有权
标题翻译：麦德龙合理定位微电路的电子
公开(公告)号：EP1828712B1
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：EP05848201.9
申请日：2005-12-22
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , Centre National de la Recherche Scientifique
发明人： DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01B11/06 , G01J4/00 , G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/0641 , G01N2021/213
摘要： The invention relates to a method and device for the polarimetric measurement of a flat object with regularly repeating patterns forming lines of a network. According to the invention, a first zero order measurement is carried out with an angle of incidence (1) for a first azimuthal angle (1), a second zero order measurement is made, with an angle of incidence (2) for a second azimuthal angle (2), the polarisation of the incident beam is modulated and the polarisation of the reflected beam analysed for each measurement, the theoretical polarimetric data for an object model of the real object are calculated, the object model having parameters which may be adjusted by means of a formalism of the electromagnetism. The object is characterised by making an iterative comparison of measured with the theoretical polarimetric data for different values for the adjustable parameters.

8. 发明申请

WO2007071480A1 A BROADBAND ELLIPSOMETER/POLARIMETER SYSTEM 审中-公开
标题翻译：宽带测量仪/偏光仪系统
公开(公告)号：WO2007071480A1
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：PCT/EP2006/067860
申请日：2006-10-27
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , GARCIA-CAUREL, Enric , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
发明人： GARCIA-CAUREL, Enric , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/04
CPC分类号： G01J4/04 , G01N21/211
摘要： The present invention concerns a broadband ellipsometer / polarimeter system for analysing a sample (8) comprising an illumination source (5) emitting a polychromatic light beam (12), a polarisation state generator (PSG) (6) including a fixed linear polarizer (13) and a substantially achromatic retarder (21 ) mounted on a rotating holder (14), a sample holder (3), a polarisation state analyser (PSA) (10) including a fixed linear polarizer (20) and a substantially achromatic retarder (22) mounted on a rotating holder (19), a primary detection system (11 ) measuring the intensities at each wavelength of the light beam transmitted through said PSA (10), optics to collimate the beam into the PSG (6) and into the PSA (10) and to focus the beam into the sample surface (8) and the detector (11 ). According to the invention, said linear polarizer (20) and said substantially achromatic retarder (22) in the PSA (10) are identical to the linear polarizer (13) and the substantially achromatic retarder (21 ) of the PSG (6) but mounted in a reverse order, said rotating holders (14, 19) run in a stepper mode allowing a set of four selected orientation angles for the retarders (21 , 22), said four selected orientation angles being optimized in order to maintain the condition numbers of the modulation and analysis matrices associated respectively with the PSG (6) and the PSA (10), over 0.2.
摘要翻译：本发明涉及用于分析包括发射多色光束（12）的照明源（5），包括固定线性偏振器（13）的偏振态发生器（PSG）（6））的样品（8）的宽带椭偏仪/偏振计系统）和安装在旋转保持器（14）上的基本上消色差的延迟器（21），样品保持器（3），包括固定线性偏振器（20）和基本上消色差延迟器（22）的偏振态分析器（PSA））安装在旋转保持器（19）上的主要检测系统（11），测量透过所述PSA（10）的光束的每个波长处的强度的光学器件，用于将光束准直到PSG（6）中并进入PSA （10）并将光束聚焦到样品表面（8）和检测器（11）中。根据本发明，PSA（10）中的所述线性偏振器（20）和所述基本消色差延迟器（22）与PSG（6）的线性偏振器（13）和基本消色差延迟器（21）相同，但安装以相反的顺序，所述旋转保持器（14,19）以步进模式运行，允许针对延迟器（21,22）的一组四个选定的取向角，所述四个选定的取向角度被优化以便维持条件数分别与PSG（6）和PSA（10）相关联的调制和分析矩阵超过0.2。

9. 发明申请

WO2007003840A2 SYSTEME D'IMAGERIE POLARIMETRIQUE ELECTRONIQUE POUR APPAREIL DE COLPOSCOPIE, BOITIER ADAPTATEUR 审中-公开
标题翻译：彩色电子设备，适配器外壳的电子极图成像系统
公开(公告)号：WO2007003840A2
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：PCT/FR2006/050634
申请日：2006-06-27
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE , INSTITUT MUTUALISTE MONTSOURIS , ASSISTANCE PUBLIQUE - HOPITAUX DE PARIS , HUYNH, Bernard , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard , SCHWARTZ, Laurent , NAZAC, André
发明人： HUYNH, Bernard , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard , SCHWARTZ, Laurent , NAZAC, André
CPC分类号： A61B1/303 , A61B1/042 , A61B1/0669 , A61B5/0084 , G01J4/04 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： L'invention concerne un système d'imagerie polarimétrique électronique pour appareil de colposcopie destiné à l'observation in vivo d'un col utérin, l'appareil de colposcopie comportant une source de lumière pour éclairage du col à observer et des moyens d'observation au moins visuels d'une image dudit col, le trajet optique de l'éclairage vers le col et le trajet optique de l'image en retour du col étant séparés l'un de l'autre sur au moins une partie de leurs trajets. Selon l'invention, le système comporte un boîtier adaptateur polarimétrique amovible dans la partie séparée des trajets optiques de l'éclairage et de l'image, ledit boîtier adaptateur polarimétrique comportant un générateur d'états de polarisation (PSG) sur le trajet optique de l'éclairage et un analyseur de polarisation (PSA) sur le trajet optique de l'image, le générateur d'états de polarisation (PSG) et l'analyseur de polarisation (PSA) étant commandés. Plusieurs niveaux de caractérisation polarimétrique sont possibles. Un boîtier adaptateur est revendiqué.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在阴道镜领域使用的阴道镜机器的电极化成像系统。＆Agrave; 体内观察宫颈，所述阴道镜设备包括用于照亮子宫颈的光源; 观察和观察所述颈部的图像的至少一个视觉装置，所述照明朝向颈部的光路以及图像的光路通过所述颈圈分开至少在他们的一部分旅程中彼此相遇。根据本发明，该系统包括在照明和图像的光路的分离部分中的可移除的极化适配器盒，所述极化适配器盒。在照明的光路中具有偏振状态发生器（PSG），并且在图像的光路中具有偏振分析器（PSA），发生器偏振态（PSG）和偏振分析仪（PSA）都受到控制。几个级别的极化表征是可能的。声称一个盒子适配器。

10. 发明公开

EP1963822A1 A BROADBAND ELLIPSOMETER/POLARIMETER SYSTEM 审中-公开
标题翻译：宽带椭偏仪/偏振系统
公开(公告)号：EP1963822A1
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：EP06807610.8
申请日：2006-10-27
申请人： ECOLE POLYTECHNIQUE
发明人： GARCIA-CAUREL, Enric , DE MARTINO, Antonello , DREVILLON, Bernard
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/04
CPC分类号： G01J4/04 , G01N21/211
摘要： The present invention concerns a broadband ellipsometer / polarimeter system for analysing a sample (8) comprising an illumination source (5) emitting a polychromatic light beam (12), a polarisation state generator (PSG) (6) including a fixed linear polarizer (13) and a substantially achromatic retarder (21 ) mounted on a rotating holder (14), a sample holder (3), a polarisation state analyser (PSA) (10) including a fixed linear polarizer (20) and a substantially achromatic retarder (22) mounted on a rotating holder (19), a primary detection system (11 ) measuring the intensities at each wavelength of the light beam transmitted through said PSA (10), optics to collimate the beam into the PSG (6) and into the PSA (10) and to focus the beam into the sample surface (8) and the detector (11 ). According to the invention, said linear polarizer (20) and said substantially achromatic retarder (22) in the PSA (10) are identical to the linear polarizer (13) and the substantially achromatic retarder (21 ) of the PSG (6) but mounted in a reverse order, said rotating holders (14, 19) run in a stepper mode allowing a set of four selected orientation angles for the retarders (21 , 22), said four selected orientation angles being optimized in order to maintain the condition numbers of the modulation and analysis matrices associated respectively with the PSG (6) and the PSA (10), over 0.2.

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