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    • 3. 发明申请
    • HOCHFREQUENZ-MEMS-SCHALTER MIT GEBOGENEM SCHALTELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
    • 高频MEMS弓开关元件及其制造方法SWITCH
    • WO2005083734A1
    • 2005-09-09
    • PCT/DE2005/000317
    • 2005-02-25
    • EADS DEUTSCHLAND GMBHPRECHTEL, UlrichZIEGLER, Volker
    • PRECHTEL, UlrichZIEGLER, Volker
    • H01H59/00
    • H01H59/0009H01H2059/0081Y10T29/49105
    • Ein Hochfrequenz-MEMS-Schalter (10) umfasst einen Signalleiter (12), der auf einem Substrat (11) angeordnet ist, sowie ein länglich geformtes Schaltelement (13), das einen gebogenen, elastischen Biegebereich (133, 132) aufweist und frei­tragend auf dem Substrat (11) befestigt ist. Eine Elektrodenanordnung (14a, 14b) dient zur Erzeugung einer elektrostatischen Kraft, die auf das Schaltelement (13) wirkt, um das Schaltelement zum Signalleiter (12) hin zu biegen. Dabei ist das Schaltelement (13) in seiner Längsrichtung parallel zum Signalleiter (12) angeord­net, und es weist einen Kontaktbereich (15) auf, der sich quer zum Schalterele­ment (13) über den Signalleiter (12) erstreckt. Der elastische Biegebereich (131, 132) des Schaltelements (13) nähert sich bei Einwirkung der elektrostatischen Kraft fortschreitend an die Elektrodenanordnung (14a, 14b) an, in einer Richtung, die parallel zur Signalleitung (12) gerichtet ist. Das Schaltelement (13) hat z.B. zwei parallel zueinander verlaufende Schaltarme (1 3a, 13b), die durch eine Brü­cke als Kontaktbereich (15) miteinander verbunden und beidseitig der Signallei­tung (12) und parallel zu dieser angeordnet sind.
    • 的RF MEMS开关(10)包括(12)设置在衬底(11)上的信号导体,以及一个长方形的开关元件(13),其具有悬臂上的弯曲的弹性弯曲部分(133,132) 附连到所述基板(11)。 的电极布置(14A,14B)被用于产生作用于所述开关元件(13)上的静电力到开关元件转向信号导体(12)。 在这种情况下,在其纵向方向上的开关元件(13)被布置成平行于信号导体(12),它具有接触区域(15),其横向地延伸通过所述信号导体(12)的开关元件(13)。 逐步,开关元件(13)的弹性弯曲部分(131,132)的静电力的作用到电极组件下方通过(14A,14B),其中平行于所述信号线(12)的方向。 所述开关元件(13),例如 两个相互平行的开关臂(13A,13B),其通过桥作为接触区域(15)彼此之间以及在信号线(12)的两侧连接,并布置成与其平行。
    • 6. 发明申请
    • MIKROMECHANISCHER KAPAZITIVER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR
    • 微机械电容式加速度传感器
    • WO2002082101A1
    • 2002-10-17
    • PCT/DE2002/001202
    • 2002-04-03
    • EADS DEUTSCHLAND GMBHKNITTL, PeterPRECHTEL, Ulrich
    • KNITTL, PeterPRECHTEL, Ulrich
    • G01P15/125
    • G01P15/125B81B3/0078B81B7/0077B81B2201/0235G01P1/023
    • Es wird ein mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts beschrieben, mit einem Sensorgehäuse (1), welches bezüglich dem Objekt ortsfest ist, mit einer trägen Sensormasse (2), welche relativ zu dem Sensorgehäuse (1) um eine Ausgangslage elastisch beweglich gelagert und von diesem umgeben ist, und mit einer Erfassungseinrichtung zur Erzeugung eines die Beschleunigung des Objekts repräsentierenden Ausgangssignals aus der Lage der Sensormasse (2) relativ zu dem Sensorgehäuse (1), welche an der Sensormasse (2) vorgesehene erste Kondensatorelektroden und an der Innenseite des Sensorgehäuses (1) unter Bildung eines schmalen Spaltes (3, 4) in geringem Abstand den ersten Kondensatorelektroden gegenüberliegend angeordnete zweite Kondensatorelektroden umfasst. Erfindungsgemäss sind an einer oder mehreren den, schmalen Spalt (3, 4) zwischen Sensormasse (2) und Sensorgehäuse (1) begrenzenden Flächen Drainagestrukturen (5; 6; 7; 8) zur Aufnahme von in dem schmalen Spalt (3, 4) vorhandenen Gasteilchen bei deren Verdrängung aufgrund der Relativbewegung zwischen Sensormasse (2) und Sensorgehäuse (1) vorgesehen.
    • 描述了一种用于检测物体加速度的微机械电容式加速度传感器,其具有相对于物体静止的传感器壳体(1),传感器质量(2) 这相对于Sensorgeh BEAR被安装使用(1)到初始位置弹性移动,并通过所包围,并与一检测装置,用于产生所述对象再版&AUML的加速度;从所述传感器质量块(2)相对于所述Sensorgeh&AUML的位置sentierenden输出信号; 使用(1)安装在设置(2)的第一电容器电极和上Sensorgeh BEAR用途的内侧上的感测质量块(1),以形成在短距离对导航使用所述第一电容器电极包括berliegend设置在第二电容器电极的窄间隙(3,4)。 根据本发明,在传感器质量体(2)和传感器壳体(1)之间的一个或多个狭窄空间(3,4)处设置排水结构(5; 6; 7; 8),用于在窄间隙 (3,4)由于传感器质量体(2)和传感器壳体(1)之间的相对运动而在其位移期间被提供。