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1. 发明申请

WO2005083734A1 HOCHFREQUENZ-MEMS-SCHALTER MIT GEBOGENEM SCHALTELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：高频MEMS弓开关元件及其制造方法SWITCH
公开(公告)号：WO2005083734A1
公开(公告)日：2005-09-09
申请号：PCT/DE2005/000317
申请日：2005-02-25
申请人： EADS DEUTSCHLAND GMBH , PRECHTEL, Ulrich , ZIEGLER, Volker
发明人： PRECHTEL, Ulrich , ZIEGLER, Volker
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0081 , Y10T29/49105
摘要： Ein Hochfrequenz-MEMS-Schalter (10) umfasst einen Signalleiter (12), der auf einem Substrat (11) angeordnet ist, sowie ein länglich geformtes Schaltelement (13), das einen gebogenen, elastischen Biegebereich (133, 132) aufweist und freitragend auf dem Substrat (11) befestigt ist. Eine Elektrodenanordnung (14a, 14b) dient zur Erzeugung einer elektrostatischen Kraft, die auf das Schaltelement (13) wirkt, um das Schaltelement zum Signalleiter (12) hin zu biegen. Dabei ist das Schaltelement (13) in seiner Längsrichtung parallel zum Signalleiter (12) angeordnet, und es weist einen Kontaktbereich (15) auf, der sich quer zum Schalterelement (13) über den Signalleiter (12) erstreckt. Der elastische Biegebereich (131, 132) des Schaltelements (13) nähert sich bei Einwirkung der elektrostatischen Kraft fortschreitend an die Elektrodenanordnung (14a, 14b) an, in einer Richtung, die parallel zur Signalleitung (12) gerichtet ist. Das Schaltelement (13) hat z.B. zwei parallel zueinander verlaufende Schaltarme (1 3a, 13b), die durch eine Brücke als Kontaktbereich (15) miteinander verbunden und beidseitig der Signalleitung (12) und parallel zu dieser angeordnet sind.
摘要翻译：的RF MEMS开关（10）包括（12）设置在衬底（11）上的信号导体，以及一个长方形的开关元件（13），其具有悬臂上的弯曲的弹性弯曲部分（133，132）附连到所述基板（11）。的电极布置（14A，14B）被用于产生作用于所述开关元件（13）上的静电力到开关元件转向信号导体（12）。在这种情况下，在其纵向方向上的开关元件（13）被布置成平行于信号导体（12），它具有接触区域（15），其横向地延伸通过所述信号导体（12）的开关元件（13）。逐步，开关元件（13）的弹性弯曲部分（131，132）的静电力的作用到电极组件下方通过（14A，14B），其中平行于所述信号线（12）的方向。所述开关元件（13），例如两个相互平行的开关臂（13A，13B），其通过桥作为接触区域（15）彼此之间以及在信号线（12）的两侧连接，并布置成与其平行。

2. 发明申请

WO2009053460A1 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN RADARSENSOR 审中-公开
标题翻译：处理对雷达传感器
公开(公告)号：WO2009053460A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/EP2008/064431
申请日：2008-10-24
申请人： EADS DEUTSCHLAND GMBH , ASTYX GMBH , UNIVERSITÄT DES SAARLANDES WISSENS- UND TECHNOLOGIETRANSFER GMBH , KÖRBER, Richard , BITTNER, Achim , SCHMID, Ulrich , PRECHTEL, Ulrich , ZIEGLER, Volker , FEURER, Ernst
发明人： KÖRBER, Richard , BITTNER, Achim , SCHMID, Ulrich , PRECHTEL, Ulrich , ZIEGLER, Volker , FEURER, Ernst
IPC分类号： H01Q1/38 , H01L23/15 , H05K1/03 , G01S13/00 , H01Q9/04
CPC分类号： H05K1/024 , G01S7/032 , H01L2224/48091 , H01L2924/1461 , H01Q1/38 , H01Q9/0407 , H05K1/0306 , H05K3/4611 , H05K3/4629 , H05K2201/0116 , H05K2201/0187 , H05K2201/0254 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Radarsensors (10), das besonders zur Herstellung hochintegrierter und dennoch hochempfindlicher Radarsensoren geeignet ist. Der Radarsensor (10) weist mehrere unterschiedlich ansteuerbare Antennen (18, 20) und ein Verteilnetzwerk (14) zur Ansteuerung der Antennen (18, 20) auf. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die Schritte: a) Bereitstellen einer keramischen Trägerstruktur mit dem Verteil netzwerk (14), in welcher Kavitäten ausgebildet werden, b) Befüllen der Kavitäten mit einer Materialmatrix aus ei nem ersten Material mit Einschlüssen aus einem zweiten Material, um innerhalb der Materialmatrix eine Vielzahl von Bereichen auszubilden, die eine niedrigere Dielektrizitätszahl als das erste Material aufweisen, c) Aufbringen planarer Antennenpatches auf die Materialmatrix.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于制造雷达传感器（10），其特别适用于生产高集成度，但高度敏感雷达传感器。雷达传感器（10）具有用于驱动所述天线（18，20）的多个不同的可控制的天线（18,20）和一分配网络（14）。本发明的方法包括以下步骤：a）提供一个陶瓷支撑结构与所述分配网络（14）形成在其中的空腔，b）用蛋NEM第一材料具有第二材料的夹杂物中的一种材料基质填充所述空腔基质形成材料的多个区域，其具有比所述第一材料更低的介电常数，c）施加的平面天线的补丁的材料基体。

3. 发明申请

WO2010028625A1 ANTENNENVORRICHTUNG FÜR HOCHFREQUENTE ELEKTROMAGNETISCHE WELLEN 审中-公开
标题翻译：天线装置高频无线电波
公开(公告)号：WO2010028625A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/DE2009/001238
申请日：2009-09-03
申请人： LFK-LENKFLUGKÖRPERSYSTEME GMBH , ZIEGLER, Volker , SCHÖNLINNER, Bernhardt , PRECHTEL, Ulrich
发明人： ZIEGLER, Volker , SCHÖNLINNER, Bernhardt , PRECHTEL, Ulrich
IPC分类号： H01Q3/46
CPC分类号： H01Q3/46
摘要： Eine sehr flache Antennenvorrichtung (10) für hochfrequente elektromagnetische Wellen weist eine Mehrzahl von Einzel-Antennenvorrichtungen auf. Die Antennenvorrichtung (10) ist als Transmissionstyp aus mehreren planaren Schichten aufgebaut, wobei die Antennenvorrichtung (10) wenigstens eine Einleitungsschicht (20), eine erste Phasenschiebungsschicht (30) mit Phasenschiebereinrichtungen (32), eine Abstrahlschicht (60) und ein Verteilnetzwerk (36, 58) aufweist und wobei die Schichten (20, 30, 40, 60) aperturgekoppelt sind.
摘要翻译：用于高频电磁波的非常平坦的天线装置（10）包括多个单天线设备。所述的天线装置（10）被构造为多个平面层的透射型，其中，所述天线装置（10）至少一个注入层（20），第一相移层（30）与相移装置（32），辐射层（60）和一分配网络（36， 58），并且其中所述层（20，30，40，60）aperturgekoppelt。

4. 发明申请

WO2009100704A1 ABSTIMMBARER PLANARER FERROELEKTRISCHER KONDENSATOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：可调平面铁电电容器及其制造方法
公开(公告)号：WO2009100704A1
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：PCT/DE2009/000142
申请日：2009-01-31
申请人： EADS DEUTSCHLAND GMBH , CHERMAN, Vladimir , ZIEGLER, Volker
发明人： CHERMAN, Vladimir , ZIEGLER, Volker
IPC分类号： H01G4/33
CPC分类号： H01G4/33 , H01G7/06
摘要： Abstimmbarer planarer ferroelektrischer Kondensator mit einem Substrat (10), zwei Elektroden (11, 12), die nebeneinander auf dem Substrat (10) angeordnet sind, und einer unter den Elektroden (11, 12) angeordneten Bodenelektrode (14), die zumindest von einer der beiden Elektroden (11, 12) galvanisch getrennt ist, und mit einer zumindest teilweise zwischen den Elektroden (11, 12) und der Bodenelektrode (14) vorgesehenen ferroelektrischen Schicht (13), welche in Ansprache auf ein angelegtes Gleichspannungs- oder niederfrequentes Signal zur Veränderung der kapazitiven Kopplung zwischen den Elektroden (11, 12) vorgesehen ist. Erfindungsgemäß ist die Bodenelektrode (14) durch eine im Substrat (10) ausgebildete gut leitende Implantationsschicht gebildet.
摘要翻译：可调平面包括衬底（10），两个电极（11,12）的铁电电容器被并排布置在基板（10）上，并且所述电极中的一个（11，12）布置在至少底部电极（14）从一个在两个电极（11，12）是电隔离，并且具有至少为（13），其响应于对所施加的直流或低频信号提供的铁电体层上的电极（11,12）和底部电极（14）之间的部分改变电极（11，12）之间的电容耦合提供。根据本发明，底部电极（14）由形成在衬底（10）形成的阱型注入层。

5. 发明申请

WO2008077581A1 INTEGRIERTE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：集成器件及其制造方法
公开(公告)号：WO2008077581A1
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：PCT/EP2007/011271
申请日：2007-12-20
申请人： ATMEL GERMANY GMBH , EADS DEUTSCHLAND GMBH , WÜRTZ, Alida , ZIEGLER, Volker , SCHMID, Ulrich
发明人： WÜRTZ, Alida , ZIEGLER, Volker , SCHMID, Ulrich
IPC分类号： H01H59/00 , H01P1/12 , B81C1/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B2201/014 , B81C1/00246 , B81C2203/0728 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Integrierte Anordnung mit einem Schaltkreis und einem MEMS-Schaltelement (500) - bei der der Schaltkreis eine Mehrzahl von Halbleiterbauelementen (400) aufweist, die über metallische Leitbahnen (101...104, 201...204, 301...304) in mehreren übereinander angeordneten Metallisierungsebenen (100, 200, 300) miteinander zur Ausbildung des Schaltkreises verbunden sind, - bei der die Metallisierungsebenen (100, 200, 300) zwischen dem MEMS-Schaltelement (500) und den Halbleiterbauelementen (400) ausgebildet sind, so dass das MEMS-Schaltelement (500) oberhalb der obersten Metallisierungsebene (300) ausgebildet ist, - bei der das MEMS-Schaltelement (500) beweglich ausgebildet ist, - das MEMS-Schaltelement (500) positioniert zu einem Dielektrikum (26) ausgebildet ist, so dass das bewegliche MEMS-Schaltelement (500) und das Dielektrikum (26) eine veränderbare Impedanz (für ein Hochfrequenzsignal) bilden, und - bei der in der obersten Metallisierungsebene (300) eine zum MEMS-Schaltelement (500) positionierte Antriebselektrode (303) zur Erzeugung einer elektrostatischen Kraft zur Bewegung des MEMS-Schaltelements (500) ausgebildet ist.
摘要翻译：集成组件，其包括一个电路和一个MEMS开关元件（500） - ，其中所述电路包括多个半导体器件（400），覆盖金属导电线（101 ... 104，201 ... 204，301 ... 304）在几个叠置的金属化水平（100，200，300）相互连接以形成电路， - 其中，所述MEMS之间的金属化（100，200，300）开关元件（500）和形成（400）的半导体器件，所以该MEMS开关元件（500）的最上金属化（300），上述形成 - 在其中MEMS开关元件（500）是可移动的， - 定位在电介质中的MEMS开关元件（500），（26）形成，形式，使得可动MEMS开关元件（500）和所述电介质（26）包括一个可变阻抗（为一个高频信号），以及 - 其中在最上方的金属化（300）的MEMS开关元件（500）是用于生成静电力用于移动MEMS形成定位的驱动电极（303）开关元件（500）。

6. 发明公开

EP1719144A1 HOCHFREQUENZ-MEMS-SCHALTER MIT GEBOGENEM SCHALTELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 失效转让
标题翻译：高频MEMS弓开关元件及其制造方法SWITCH
公开(公告)号：EP1719144A1
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：EP05715021.1
申请日：2005-02-25
申请人： EADS Deutschland GmbH
发明人： PRECHTEL, Ulrich , ZIEGLER, Volker
IPC分类号： H01H59/00 , H01P1/12
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0081 , Y10T29/49105
摘要： The invention relates to a high-frequency MEMS switch (10) comprising a signal conductor (12), which is located on a substrate (11), in addition to an elongated switching element (13) that has a curved, elastic flexible region (131, 132) and is fixed in a self-supporting manner to the substrate (11). An electrode assembly (14a, 14b) generates an electrostatic force that acts on the switching element (13) in order to move the switching element towards the signal conductor (12). The switching element (13) is aligned longitudinally in parallel with the signal conductor (12) and comprises a contact region (15), which extends transversally to the switching element (13) over the signal conductor (12). The elastic flexible region (131, 132) of the switching element (13) moves progressively towards the electrode assembly (14a, 14b) with the action of the electrostatic force in a direction that runs parallel to the signal conductor (12). The switching element (13) comprises e.g. two parallel switching arms (13a, 13b), which are interconnected by a bridge that forms a contact region (15) and which are located on either side of the signal conductor (12), running parallel to the latter.

7. 发明公开

EP2245642A1 ABSTIMMBARER PLANARER FERROELEKTRISCHER KONDENSATOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 失效转让
标题翻译：可调平面铁电电容器及其制造方法
公开(公告)号：EP2245642A1
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：EP09709749.7
申请日：2009-01-31
申请人： EADS Deutschland GmbH
发明人： CHERMAN, Vladimir , ZIEGLER, Volker
IPC分类号： H01G4/33
CPC分类号： H01G4/33 , H01G7/06
摘要： A tunable planar ferroelectric capacitor, comprising a substrate (10), two electrodes (11, 12) disposed next to each other on the substrate (10), and a hearth electrode (14), which is disposed beneath the electrodes (11, 12) and is electrically isolated from at least one of the two electrodes (11, 12), and further comprising a ferroelectric layer (13), which is provided at least in regions between the electrodes (11, 12) and the hearth electrode (14) and which in response to an applied direct-current or low-frequency signal is provided for varying the capacitive coupling between the electrodes (11, 12). According to the invention, the hearth electrode (14) is formed by an implantation layer that is configured in the substrate (10) and has good conductive properties.

8. 发明公开

EP2203955A1 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN RADARSENSOR 有权
标题翻译：处理对雷达传感器
公开(公告)号：EP2203955A1
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：EP08842456.9
申请日：2008-10-24
申请人： EADS Deutschland GmbH , Universität des Saarlandes
发明人： KÖRBER, Richard , BITTNER, Achim , SCHMID, Ulrich , PRECHTEL, Ulrich , ZIEGLER, Volker , FEURER, Ernst
IPC分类号： H01Q1/38 , H01L23/15 , H05K1/03 , G01S13/00 , H01Q9/04
CPC分类号： H05K1/024 , G01S7/032 , H01L2224/48091 , H01L2924/1461 , H01Q1/38 , H01Q9/0407 , H05K1/0306 , H05K3/4611 , H05K3/4629 , H05K2201/0116 , H05K2201/0187 , H05K2201/0254 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： The invention relates to a method for producing a radar sensor (10) which is suitable particularly for producing highly integrated and nevertheless highly sensitive radar sensors. The radar sensor (10) has a plurality of antennas (18, 20) which can be driven differently and a distribution network (14) for driving the antennas (18, 20). The method according to the invention comprises the steps of: a) providing a ceramic support structure with the distribution network (14), in which support structure cavities are formed, b) filling the cavities with a material matrix comprising a first material with inclusions of a second material in order to form, within the material matrix, a large number of regions which have a lower dielectric constant than the first material, c) applying planar antenna patches to the material matrix.

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