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热词
    • 6. 发明申请
    • Sort interface unit having probe capacitors
    • 对具有探针电容器的接口单元进行排序
    • US20060038576A1
    • 2006-02-23
    • US10922323
    • 2004-08-19
    • Pooya Tadayon
    • Pooya Tadayon
    • G01R31/02
    • G01R1/06766
    • Briefly, in accordance with one embodiment of the invention, a sort interface unit of a wafer tester may include a micro-electromechanical system (MEMS) capacitor disposed between selected pairs of the probe tips of the sort interface unit, for example between power and ground probes. In one embodiment, the MEMS capacitor may be disposed at the ends of the probe tips nearer the wafer when the wafer is tested by the wafer tester. In another embodiment, a first capacitor having a higher value may be used for higher power circuits on the wafer, and a second capacitor having a lower value may be used for lower power circuits on the wafer. In such an arrangement, the capacitors on the probes of the sort interface unit may be selected according to a spatial power distribution of the power of the circuit or circuits on the wafer.
    • 简而言之,根据本发明的一个实施例,晶片测试器的分类接口单元可以包括设置在分类接口单元的选定对的探针尖端之间的微机电系统(MEMS)电容器,例如在电源和地之间 探针。 在一个实施例中,当通过晶片测试器测试晶片时,MEMS电容器可以设置在靠近晶片的探针尖端的端部。 在另一个实施例中,具有较高值的​​第一电容器可用于晶片上的较高功率电路,并且具有较低值的第二电容器可用于晶片上的较低功率电路。 在这种布置中,可以根据晶片上的电路或电路的功率的空间功率分布来选择分类接口单元的探针上的电容​​器。