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1. 发明申请

WO2012042022A1 ELLIPSOMETER 审中-公开
标题翻译：椭偏仪
公开(公告)号：WO2012042022A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/EP2011/067116
申请日：2011-09-30
申请人： CARL ZEISS AG , TOTZECK, Michael , CORRENS, Nico , WIDULLE, Frank , KOOS, Christian
发明人： TOTZECK, Michael , CORRENS, Nico , WIDULLE, Frank , KOOS, Christian
IPC分类号： G01B11/06 , G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G01N2021/213
摘要： Ellipsometer zur Untersuchung einer Probe (2, 3), mit einem Beleuchtungsstrahlengang (4), der ausgebildet ist, die Probe (2, 3) mit Beleuchtungsstrahlung (10) bestimmter Polarisation und Divergenz (w) unter einem bestimmten Winkel (a) zu beleuchten, einem Meßstrahlengang (5), der ausgebildet ist, an der Probe (2, 3) in einen Reflexwinkelbereich (u) oder Reflexortsbereich reflektierte Beleuchtungsstrahlung (1 0) als divergierendes Reflexstrahlungsbündel (11) aufzusammeln und hinsichtlich spektraler Zusammensetzung und Polarisationszustand zu analysieren, wobei der Meßstrahlengang (5) aufweist: ein Spektrometer (13), in das das Reflexstrahlungsbündel (11) eingekoppelt ist und das das Reflexstrahlungsbündel (11) spektral aufgliedert, einen im Spektrometer (13) angeordneten 2D-Detektor (15) und eine Polarisatoreinrichtung, die dem Detektor (15) vorgeordnet ist, und die das Reflexstrahlungsbündel (11) vor der spektralen Zerlegung abhängig vom Polarisationszustand räumlich filtert, wobei das Spektrometer (13) einen längs erstreckten Eintrittsspalt (17) aufweist, der Meßstrahlengang (5) eine Einrichtung zum Sammeln (12) aufweist, welche das Reflexstrahlenbündel (11) aufsammelt und zum Eintrittsspalt (17) des Spektrometer (13) leitet, und das Spektrometer (13) das Reflexstrahlungsbündel (11) quer zur Ausbreitungsrichtung des Reflexstrahlungsbündels (11) und quer zur Längserstreckung des Eintrittspaltes (17) spektral zerlegt auf den Detektor (15) lenkt, wobei die Polarisatoreinrichtung mehrere Gruppen (G1-Gn), jeweils mit mehreren unterschiedlichen Polarisatoren (18-21), umfaßt, die jeweils das Reflexstrahlungsbündel (11) hinsichtlich unterschiedlicher Polarisationszustände filtern, wobei die Gruppen (G1-Gn) wie auch die Polarisatoren (18-21) in den Gruppen (G1-Gn) nebeneinander auf dem Eintrittsspalt (17) oder im Eintrittsspalt (17) des Spektrometers (15) angeordnet sind, die Einrichtung zum Sammeln (12) das Reflexstrahlungsbündel (11) abhängig vom Reflexwinkel oder Reflexort auf die Gruppen (G1-Gn) verteilt und so auf den Eintrittsspalt (17) leitet, daß längs der Längserstreckung des Eintrittsspaltes (17) der Reflexwinkel oder Reflexorte variiert.
摘要翻译：照亮椭偏仪对以一定的角度检查的样品（2，3），具有照明光束路径（4），其形成时，样品（2，3）与照明一定偏振和发散（W）的辐射（10）的（a）中，形成在样品上的测量光束的路径（5）（2，3）在一个优角（U）或反射性局部区域反射的照射辐射（1 0），为发散反射的辐射束拾取（11）和相对于光谱组成和偏振状态，其特征在于分析有测量光束路径（5）：光谱仪（13），所述反射的辐射光束（11）耦合并且频谱击穿反射的辐射光束（11），在光谱仪布置为一个（13）的2D检测器（15）和一个偏振器，所述所述检测器（15）布置的上游，并且频谱分解依赖于偏振状态之前，其过滤所述反射的辐射光束（11）在空间上瓦特 obei分光计（13）包括细长的入口狭缝（17），它收集反射的辐射光束（11）的测量光束路径（5）包括用于收集（12）和所述入口狭缝（17）穿过该光谱仪（13），和光谱仪（13）反射的辐射光束（11）横向于所述反射的辐射光束（11）的传播方向和横向于入射狭缝的纵向延伸（17）的光谱分解检测器上（15）铰接，其中，与多个组（G1至Gn）的每个偏振器设备包括若干个不同的偏振器（18-21），每一个相对于不同偏振状态的所述过滤器反射的辐射光束（11）组（G1至Gn），以及在所述组（G1至Gn）彼此相邻的偏振器（18-21）入口狭缝（17）或在光谱仪（15）的入口间隙（17）被布置，所述用于收集（12）反射的辐射取决于反射光束（11）角度或Reflexort分配给组（G1至Gn），并且因此到入口狭缝（17）穿过沿入口间隙（17）的纵向范围变化的反射角或反射位置。

2. 发明申请

WO2011036033A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN ZUR BESTIMMUNG VON ORIENTIERUNG UND POSITION EINES OBJEKTS 审中-公开
标题翻译：方法和设备对象的厘定方向和位置
公开(公告)号：WO2011036033A1
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/EP2010/062636
申请日：2010-08-30
申请人： CARL ZEISS AG , CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , HOELLER, Frank , TREMONT, Marc , SCHMIDT, Oliver , WAGENER, Marc , KOOS, Christian
发明人： HOELLER, Frank , TREMONT, Marc , SCHMIDT, Oliver , WAGENER, Marc , KOOS, Christian
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/002
摘要： Es werden Verfahren und Vorrichtungen bereitgestellt, bei denen eine Position an einem Abschnitt (31) einer Mehrachskinematik (2) durch eine optische Messung bestimmt wird und die Orientierung des Abschnitts (31) basierend auf Steuerdaten der Mehrachskinematik (2) erhalten wird. Bei anderen Ausführungsbeispielen können Position und Orientierung von anderen Objekten bestimmt werden und/oder andere Daten als Steuerdaten zur Bestimmung der Orientierung verwendet werden.
摘要翻译：它在其中一个位置是在通过光学测量一个Mehrachskinematik（2）的部分（31），以及基于（2）获得的所提供的方法和装置的Mehrachskinematik的控制数据的部分（31）的方位来确定。在其它实施方案中，其它对象的位置和取向可以被确定和/或其它数据被用作控制数据，用于确定方位。

3. 发明申请

WO2012028389A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN ZUR POSITIONSBESTIMMUNG 审中-公开
标题翻译：方法和装置用于确定位置
公开(公告)号：WO2012028389A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/EP2011/062788
申请日：2011-07-26
申请人： CARL ZEISS AG , KOOS, Christian , SCHMIDT, Oliver
发明人： KOOS, Christian , SCHMIDT, Oliver
IPC分类号： G01B21/04 , G01B5/008
CPC分类号： G01B11/002 , G01B21/04 , G01S5/163 , G01S17/87
摘要： Es werden Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung einer Position und/oder Orientierung eines Objekts (11) beschrieben. Hierzu werden Werte einer Mehrzahl von Messgrößen zu jeweils verschiedenen Zeitpunkten bestimmt und Werte der Mehrzahl von Messgrößen zu einem gemeinsamen Bestimmungszeitpunkt basierend auf der Bestimmung der Mehrzahl von Messgrößen abgeschätzt. Position und/oder Orientierung des Objekts (11) werden dann basierend auf den abgeschätzten Werten berechnet.
摘要翻译：有一种用于确定对象（11）的位置和/或取向中描述的方法和装置。为此，多个测量变量的值在时间上各自不同的点被确定和估计的所述多个测得的变量的值，以基于所述多个测量变量的的确定的共同确定时间点。所述对象（11）的位置和/或取向，然后基于所估计的值来计算。

4. 发明申请

WO2012028388A1 MESSEINHEIT, MESSSYSTEM UND VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINER RELATIVPOSITION UND RELATIVORIENTIERUNG 审中-公开
标题翻译：测量单元测量系统和一种用于确定位置和相对取向的相对
公开(公告)号：WO2012028388A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/EP2011/062787
申请日：2011-07-26
申请人： CARL ZEISS AG , SCHMIDT, Oliver , KOOS, Christian , SPRUCK, Bernd , HÖLLER, Frank
发明人： SCHMIDT, Oliver , KOOS, Christian , SPRUCK, Bernd , HÖLLER, Frank
IPC分类号： G01B11/00 , G01S17/06
CPC分类号： G01B11/14 , G01B11/005 , G01B11/26 , G01S17/875
摘要： Eine Messeinheit (1) ist zum Ermitteln einer relativen Position und relativen Orientierung zwischen der Messeinheit (1) und einer Anordnung (20) von mindestens drei optischen Elementen (21-23) eingerichtet. Die Messeinheit umfasst eine Längenmesseinrichtung, die Messstrahlen (16, 17) an mindestens drei voneinander beabstandeten Stellen (3-5) aussendet, und mindestens eine Strahllenkeinrichtung, die eingerichtet ist, um die Messstrahlen auf optische Elemente (21-23) der Anordnung (20) zu lenken. Die mindestens eine Strahllenkeinrichtung ist steuerbar, um wenigstens einen der Messstrahlen (16, 17) zeitsequentiell auf mehrere optische Elemente (21-23) der Anordnung (20) zu lenken, um zeitsequentiell mehrere Längenmessvorgänge derart durchzuführen, dass bei den mehreren Längenmessvorgängen jeder Messstrahl (16, 17) des wenigstens einen Messstrahls (16, 17) auf genau eines der optischen Elemente (21-23) trifft. Insgesamt werden so sechs Längen gemessen.
摘要翻译：测量单元（1），用于确定所述测量单元（1）和至少三个光学元件（21-23）的组件（20）之间的相对位置和相对方位布置。所述测量单元包括一个长度测量装置，在至少三个测量光束（16，17）间隔开的位置（3-5）发射和至少一个波束转向装置，其适于测量光束到光学元件（21-23）（组件20 ）指导。所述至少一个波束转向装置是可控的，以测量光束中的至少一个（16，17）上的多个光学元件（21-23）时间顺序以引导组件（20）顺序地执行多个时间长度测量操作，使得（在所述多个长度测量过程中，每个测量光束的所述至少一个测量光束（16，17），以恰好之一的16，17），所述光学元件（21-23）适用。总共六个长度被测量。

5. 发明申请

WO2012034774A1 MESSVORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN ERFASSEN VON EIGENSCHAFTEN EINER PROBE 审中-公开
标题翻译：测量装置用于样品的性能的光学检测
公开(公告)号：WO2012034774A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：PCT/EP2011/063314
申请日：2011-08-02
申请人： CARL ZEISS AG , WIDULLE, Frank , TOTZECK, Michael , KOOS, Christian
发明人： WIDULLE, Frank , TOTZECK, Michael , KOOS, Christian
IPC分类号： G01N21/21 , G01N21/41 , G01N21/47
CPC分类号： G01N21/4795 , G01N21/211 , G01N21/41
摘要： Beschrieben wird eine Meßvorrichtung zum optischen Erfassen von Eigenschaften einer Probe (P), umfassend einen FD-OCT (1), der einen Beleuchtungsstrahlengang zur Beleuchtung eines linienförmigen Bereiches der Probe (P), einen Detektionsstrahlengang zur Erfassung von Rückstrahlung von der Probe (P), eine Überlagerungseinrichtung (3) zur Überlagerung der erfaßten Rückstrahlung mit Referenzstrahlung und ein Spektrometer (5) aufweist, wobei die Rückstrahlung sich längs einer Linienrichtung linienförmig erstreckt, welche quer zur Ausbreitungsrichtung der Rückstrahlung liegt, und wobei die Linienform dem linienförmigen Probenbereich zugeordnet ist, und wobei das Spektrometer (5) die linienförmige Rückstrahlung quer zur Linienrichtung spektral auffächert und auf einen 2D-Detektor (8) leitet, der eine Matrix von Detektorpixeln (23) aufweist, wobei dem Detektor (8) ein Polarisationsfilter (7) vorgeordnet ist, der in einer Matrix angeordnete, polarisationsmanipulierende Elemente (32-35) aufweist, wobei die Matrix der polarisationsmanipulierenden Elemente (32-35) der Matrix der Detektorpixel (23) entspricht und wobei mehrere Arten von polarisationsmanipulierenden Elementen (32-35) vorgesehen sind, die sich hinsichtlich der von ihnen gefilterten Polarisationszustände unterscheiden und sich in der Matrix der polarisationsmanipulierenden Elemente (32-35) in einem bestimmten Muster wiederholen.
摘要翻译：描述了一种测量装置用于光学检测的样品（P）的特征，包括（1）具有用于照射所述样品（P），用于从样品中检测返回辐射的（P）的检测光束路径的线性区域的照明光束路径中的FD-OCT 具有叠加装置（3），用于与参考辐射和光谱仪检测到的返回辐射的叠加（5），其中，所述反向散射沿横向于反射的传播方向的直线方向上线性延伸，并且所述线的形状被指派给线状样品面积和其中，所述分光计（5）光谱扇出线状反射横向于线方向和二维检测器（8）通过，其包括检测器像素的矩阵（23），其中，所述检测器（8）一个偏振滤光器（7）布置的上游配置成矩阵状，偏振操纵元件（ 32-35），其中，所述偏振操纵元件（基质32-35）对应于检测器像素的矩阵（23），并且其中设置有多种类型的偏振操纵元件（32-35），其相对于不同于滤波从它们的偏振状态和重演以特定图案的偏振操纵元件（32-35）的基质中。

6. 发明申请

WO2011029740A2 VORRICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUR POSITIONSBESTIMMUNG UND OBERFLÄCHENVERMESSUNG 审中-公开
标题翻译：用于位置确定和表面测量的装置和方法
公开(公告)号：WO2011029740A2
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：PCT/EP2010/062637
申请日：2010-08-30
申请人： CARL ZEISS AG , SPRUCK, Bernd , ALVAREZ DIEZ, Cristina , BRATTKE, Simon , WITTIG, Lars-Christian , RICHTER, Stefan , GEISSLER, Enrico , KOOS, Christian , SCHMIDT, Oliver , HOELLER, Frank
发明人： SPRUCK, Bernd , ALVAREZ DIEZ, Cristina , BRATTKE, Simon , WITTIG, Lars-Christian , RICHTER, Stefan , GEISSLER, Enrico , KOOS, Christian , SCHMIDT, Oliver , HOELLER, Frank
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/002 , G01B11/026 , G01S5/16 , G01S17/10
摘要： Bei einem Ausführungsbeispiel wird ein Verfahren zur Positionsbestimmung eines Objekts (25) in einem Raumbereich (28) bereitgestellt, bei welcher das Objekt (25) mit mindestens einem Lichtstrahl (22, 27) beleuchtet wird. Der Lichtstrahl (22, 27) erfasst dabei nicht den gesamten Raumbereich (28) und wird in Abhängigkeit von der Position des Objekts (25) in einen Teil des Raumbereichs gelenkt, in welchem sich das Objekt (25) befindet. Bei einem anderen Aspekt wird ein Verfahren zur Oberflächenvermessung bereitgestellt.
摘要翻译：
在示例性导航使用一种方法，用于确定在一个空间（28）导向的物体（25）的位置，例如设置在所述对象（25）与至少一个光束（22，27）被照亮。而整个空间区域（28）和在依赖BEAR在其中对象（25）位于所述空间区域的一部分指向所述对象（25）的位置而在未检测到光束（22，27）。另一方面，提供了一种表面测量方法。

7. 发明授权

EP2475953B1 VORRICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUR POSITIONSBESTIMMUNG UND OBERFLÄCHENVERMESSUNG 有权
标题翻译：装置和方法用于确定位置和表面测量
公开(公告)号：EP2475953B1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：EP10747056.9
申请日：2010-08-30
申请人： Carl Zeiss AG
发明人： SPRUCK, Bernd , ALVAREZ DIEZ, Cristina , BRATTKE, Simon , WITTIG, Lars-Christian , RICHTER, Stefan , GEISSLER, Enrico , KOOS, Christian , SCHMIDT, Oliver , HOELLER, Frank
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/002 , G01B11/026 , G01S5/16 , G01S17/10

8. 发明公开

EP2475953A2 VORRICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUR POSITIONSBESTIMMUNG UND OBERFLÄCHENVERMESSUNG 有权
标题翻译：装置和方法用于确定位置和表面测量
公开(公告)号：EP2475953A2
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：EP10747056.9
申请日：2010-08-30
申请人： Carl Zeiss AG
发明人： SPRUCK, Bernd , ALVAREZ DIEZ, Cristina , BRATTKE, Simon , WITTIG, Lars-Christian , RICHTER, Stefan , GEISSLER, Enrico , KOOS, Christian , SCHMIDT, Oliver , HOELLER, Frank
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/002 , G01B11/026 , G01S5/16 , G01S17/10
摘要： According to one embodiment of the invention, a method is provided for determining the position of an object (25) in a spatial area (28), wherein the object (25) is illuminated with at least one light beam (22, 27). The light beam (22, 27) does not cover the entire spatial area (28) and is directed dependent on the position of the object (25) into a part of the spatial area in which the object (25) is located. According to another aspect of the invention, a method for surface measurement is provided.

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