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    • 2. 发明申请
    • SYSTEM FOR SPUTTERING COMPOSITIONS ONTO A SUBSTRATE
    • 将组合物溅射到基材上的系统
    • WO1994019508A1
    • 1994-09-01
    • PCT/US1994001896
    • 1994-02-18
    • CONNER PERIPHERALS, INC.
    • CONNER PERIPHERALS, INC.HOLLARS, Dennis, R.BONIGUT, JosefWARD, Keith, A.
    • C23C14/34
    • H01L21/6715C23C14/352C23C14/505G11B5/851H01J37/32752H01J37/3405H01J37/3429
    • An apparatus for producing a composite film of several elements on a substrate (25) such as a magnetic disk for a disk drive. The apparatus includes a sputtering chamber (30) and at least a first and second sputtering magnetrons (621 - 624) associated with a first target comprising a first component and a second target comprising a second component. A rotating chuck (50) is positioned in the chamber opposite the targets and a substrate (25) is mounted thereon and rotated so that target elements are simultaneously sputtered achieving a multi-component film coating on the surface of the substrate (25) with an even film gradient. In one embodiment, four targets each target comprising one of an element or composition of elements to be sputtered, are mounted abutting four magnetron assemblies (621 - 624).
    • 一种用于在诸如磁盘驱动器的磁盘的基板(25)上制造多个元件的复合膜的设备。 所述装置包括溅射室(30)和至少第一和第二溅射磁控管(621- 624),所述第一和第二溅射磁控管(621- 624)与包括第一部件的第一靶相连,并且包括第二部件的第二靶。 旋转卡盘(50)定位在与靶相对的腔室中,并且衬底(25)安装在其上并旋转,使得目标元件被同时溅射,从而在衬底(25)的表面上实现多组分膜涂层,其中 甚至电影梯度。 在一个实施例中,每个靶包括包括要溅射的元件的元件或组合物中的一个的四个靶被安装成邻接四个磁控管组件(621-624)。
    • 3. 发明公开
    • MAGNETIC RECORDING MEDIA EMPLOYING SOFT MAGNETIC MATERIAL
    • 采用软磁材料的磁记录介质
    • EP0619776A1
    • 1994-10-19
    • EP93900873.0
    • 1992-12-07
    • CONNER PERIPHERALS, INC.
    • REED, William, B.HOLLARS, Dennis, R.ZUBECK, Robert, B.LEE, Hyung, J.REYNEN, Frank, R.WARD, Keith, A.KLATT, Maureen, D.POPE, Nancy A.HARTMAN, Albert, L., W.
    • C23C14C22C19G11B5H01F1H01F10
    • G11B5/72G11B5/66G11B5/8408
    • On décrit un support d'enregistrement magnétique comportant une couche mince de matériau non magnétique (22) séparant une couche magnétique douce (18) et une couche d'enregistrement magnétique relativement plus épaisse (16). Le support d'enregistrement magnétique peut comporter des matériaux d'enregistrement magnétiques conventionnels associés à la couche mince non magnétique (22) en silicium, chrome ou carbone. Le support d'enregistrement magnétique peut être préparé par pulvérisation cathodique ou autres procédés de dépôt en phase vapeur. Un procédé de préparation d'un support d'enregistrement magnétique, selon la présente invention, propose de déposer la couche (16) d'enregistrement magnétique soit directement sur un substrat (12), soit, éventuellement, sur une couche de nucléation (16). La couche non magnétique mince (22) sépare la couche d'enregistrement magnétique (16) de la couche magnétique douce (18). Le dépôt est réalisé dans des conditions qui maintiennent l'intégrité de la couche d'enregistrement magnétique.
    • 公开了一种具有分离软磁层(18)和相对较厚的磁记录层(16)的非磁性材料薄层(22)的磁记录介质。 磁记录介质可以包括与硅,铬或碳的非磁性薄膜(22)相关联的常规磁记录材料。 磁记录介质可以通过溅射或其他气相沉积方法来制备。 根据本发明制备磁记录介质的方法提出将磁记录层(16)直接沉积在基底(12)上或者任选地沉积在成核层(16)上。 )。 薄的非磁性层(22)将磁记录层(16)与软磁层(18)分开。 在维持磁记录层的完整性的条件下进行沉积。