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    • 2. 发明公开
    • PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CELLULE PHOTOVOLTAÏQUE
    • 程序的制造D'UNE CELLULEPHOTOVOLTAÏQUE
    • EP3213352A1
    • 2017-09-06
    • EP15784720.3
    • 2015-10-26
    • Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
    • LANTERNE, AdelineGALL, SamuelLE PERCHEC, JérômePIROT, Marc
    • H01L31/18H01L31/0236
    • H01L31/068H01L31/02363H01L31/1804H01L31/1864Y02E10/547Y02P70/521
    • The invention relates to a method for manufacturing a photovoltaic cell which includes, in series: from a semi-conductive substrate (1) made of crystalline silicon doped according to a first type of doping, and including a first surface (10) and a second surface (11) opposite said first surface (10), texturising (20) the surface of at least the first surface (10) of the substrate (1); forming, on the first texturised surface (10), a first semi-conductive zone (12) doped according to a second type of doping by implantation (21) of first doping elements made up of boron atoms in at least one portion of the substrate (1) and by activation (23) of said first doping elements via laser irradiation (4) of said first surface (10); thermal annealing (22) of the texturised substrate (1) prior to the laser irradiation of the first surface (10), said prior thermal annealing (22) being carried out at a temperature of 600ºC to 950°C, for a time longer than one minute.
    • 本发明涉及一种用于制造光伏电池的方法,该光伏电池的方法包括以下步骤:从由根据第一类掺杂掺杂的晶体硅制成的半导体衬底(1),并包括第一表面(10)和第二表面 与所述第一表面(10)相对的表面(11),纹理化(20)所述衬底(1)的至少所述第一表面(10)的表面; 在所述第一纹理化表面(10)上形成根据第二类型掺杂的第一半导体区(12),所述第一半导体区通过在所述衬底的至少一部分中注入由硼原子构成的第一掺杂元素(21) (1)并通过所述第一表面(10)的激光照射(4)激活(23)所述第一掺杂元素; 在激光照射第一表面(10)之前对纹理化基底(1)进行热退火(22),所述在先热退火(22)在600℃至950℃的温度下进行比 等一下。
    • 6. 发明申请
    • PROCEDE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR A METALLISATIONS AUTO-ALIGNEES.
    • 用于生产具有自动对准金属的半导体器件的方法
    • WO2004097945A1
    • 2004-11-11
    • PCT/FR2004/050173
    • 2004-04-27
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUERIBEYRON, Pierre-JeanPIROT, Marc
    • RIBEYRON, Pierre-JeanPIROT, Marc
    • H01L31/0224
    • H01L31/022433Y02E10/50
    • Il s'agit d'un procédé de réalisation d'un dispositif semi-conducteur comportant les étapes suivantes : - réalisation sur une première face principale d'un substrat semi-conducteur d'une région dopée d'un premier type de conductivité et d'au moins une fenêtre,- dépôt d'une première zone de métallisation sur la région dopée, - dépôt d'une couche diélectrique sur au moins la fenêtre et la première zone de métallisation, - gravure d'au moins une première ouverture dans la couche diélectrique au niveau de la fenêtre pour accueillir une région dopée d'un second type de conductivité tout en aménageant latéralement une portion non dopée du substrat semi-conducteur entre les régions dopées, - dopage du substrat conduisant a la région dopée du second type de conductivité, dépôt d'une seconde zone de métallisation. Application notamment aux cellules solaires en couche mince.
    • 本发明涉及一种用于制造半导体器件的方法,包括以下步骤:在掺杂有第一导电类型和至少一个窗口的区域中制造半导体衬底的第一主面,沉积第一金属化区域 在掺杂区域上,在至少窗口和第一金属化区域上沉积介电层,在窗口附近刻蚀电介质层中的至少一个第一开口,以便容纳第二类型的掺杂区域,同时横向 在所述掺杂区域之间提供所述半导体衬底的非掺杂部分,将所述衬底掺杂导致掺杂有所述第二类型导电性的区域以及沉积第二金属化区域。 以上特别适用于薄层太阳能电池。