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1. 发明专利

DD155180A1 未知
公开(公告)号：DD155180A1
公开(公告)日：1982-05-19
申请号：DD22601680
申请日：1980-12-12
申请人： CLAUSS MATTHIAS , TESCHNER GOETZ
发明人： CLAUSS MATTHIAS , TESCHNER GOETZ
IPC分类号： C23C13/10

2. 发明申请

WO2009040406A3 METHOD AND ARRANGEMENT FOR REDUNDANT ANODE SPUTTERING HAVING A DUAL ANODE ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用于冗余阳极溅射，双阳极结构
公开(公告)号：WO2009040406A3
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：PCT/EP2008062881
申请日：2008-09-25
申请人： ARDENNE ANLAGENTECH GMBH , TESCHNER GOETZ , MIRRING ENNO , STRUEMPFEL JOHANNES , HEISIG ANDREAS
发明人： TESCHNER GOETZ , MIRRING ENNO , STRUEMPFEL JOHANNES , HEISIG ANDREAS
IPC分类号： H01J37/34 , C23C14/56
CPC分类号： H01J37/34 , C23C14/3407 , C23C14/564 , H01J37/3438 , H01J37/3444
摘要： The invention relates to a method in which two anodes are operated alternately opposite each other as plasma discharge anodes and as cathodes for self-cleaning, and the cathodes of the plasma discharge are recurrently briefly reversed in polarity, and an arrangement comprising a cathode (3) and a first (1) and a second (2) anode supplied with voltage by means of an H-bridge circuit, with the object of increasing the efficiency of redundant anode sputtering having dual anodes, and increasing component reliability. The aim is achieved in that the DC current supply is designed as a pulse current supply (6), in that the pole reversal of the cathode voltage is effected by the pulse current supply, at least one anode being at positive potential at all times and the other anode being intermittently at negative potential during an etching time, and the H-bridge circuit being operationally connected to the pulse current supply, such that at least one anode is at positive potential at all times.
摘要翻译：本发明，其操作彼此交替作为等离子体放电的阳极，并作为自清洁，其中两个阳极对置的方法和等离子体放电的阴极反向重复短时间的阴极和包括阴极（3）的布置和第一（1）和第二阳极（2），这是由H桥电路的方式与电压涉及，其目的是改进所述冗余Anodensputterns的双阳极的影响，并增加了安全装置提供。这得以实现，所述直流电源形成为阴极电压的极反转从脉冲电源在蚀刻时间实现，在任何时间至少一个阳极在正电位，并在时间和其它阳极处于负电位的脉冲电源（6）位于和H桥电路，以便与操作连接脉冲电源即在任何时候在正电位的至少一个阳极连通。

3. 发明专利

DD150909A1 未知
公开(公告)号：DD150909A1
公开(公告)日：1981-09-23
申请号：DD22123380
申请日：1980-05-20
申请人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , HEMPEL WOLFGANG , KOSCH WOLFGANG , TESCHNER GOETZ , BARTHEL JUERGEN
发明人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , HEMPEL WOLFGANG , KOSCH WOLFGANG , TESCHNER GOETZ , BARTHEL JUERGEN
IPC分类号： C23C15/00

4. 发明专利

DD142966A1 未知
公开(公告)号：DD142966A1
公开(公告)日：1980-07-23
申请号：DD21269079
申请日：1979-05-07
申请人： VOIGT REINHARD , SCHREIBER HARTMUT , SCHADE KLAUS , TESCHNER GOETZ , WENDLER GUENTER
发明人： VOIGT REINHARD , SCHREIBER HARTMUT , SCHADE KLAUS , TESCHNER GOETZ , WENDLER GUENTER
IPC分类号： C23C14/02 , C23C15/00

5. 发明专利

CS237983B1 SPRINKLER WITH AUTOMATIC FEEDING MECHANISM 未知
公开(公告)号：CS237983B1
公开(公告)日：1985-11-13
申请号：CS753081
申请日：1981-10-14
申请人： KOSCH WOLFGANG , WECKEND SIEGFRIED , TESCHNER GOETZ , HEISIG ULLRICH
发明人： KOSCH WOLFGANG , WECKEND SIEGFRIED , TESCHNER GOETZ , HEISIG ULLRICH
IPC分类号： C23C14/50 , B05B13/02 , B05C5/02 , C23C14/34

6. 发明专利

DD127703B1 未知
公开(公告)号：DD127703B1
公开(公告)日：1980-11-26
申请号：DD19515776
申请日：1976-10-05
申请人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , SCHILLER SIEGFRIED , HEMPEL WOLFGANG , TESCHNER GOETZ
发明人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , SCHILLER SIEGFRIED , HEMPEL WOLFGANG , TESCHNER GOETZ

7. 发明专利

DD133336A1 未知
公开(公告)号：DD133336A1
公开(公告)日：1978-12-27
申请号：DD20172477
申请日：1977-10-27
申请人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , HEMPEL WOLFGANG , HUEBNER DIETRICH , REISSMUELLER LOTHAR , TESCHNER GOETZ , KUPHAL MANFRED
发明人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , HEMPEL WOLFGANG , HUEBNER DIETRICH , REISSMUELLER LOTHAR , TESCHNER GOETZ , KUPHAL MANFRED
IPC分类号： C23C15/00

8. 发明专利

DD156272A1 未知
公开(公告)号：DD156272A1
公开(公告)日：1982-08-11
申请号：DD22681081
申请日：1981-01-05
申请人： KOSCH WOLFGANG , WECKEND SIEGFRIED , TESCHNER GOETZ , HEISIG ULLRICH
发明人： KOSCH WOLFGANG , WECKEND SIEGFRIED , TESCHNER GOETZ , HEISIG ULLRICH
IPC分类号： C23C14/50 , B05B13/02 , B05C5/02 , C23C14/34 , C23C15/00

9. 发明专利

DD141170A1 未知
公开(公告)号：DD141170A1
公开(公告)日：1980-04-16
申请号：DD21099479
申请日：1979-02-13
申请人： HEISIG ULLRICH , GALLO WERNER , GOEDICKE KLAUS , LIEBERGELD HORST , TESCHNER GOETZ , KOSCH WOLFGANG
发明人： HEISIG ULLRICH , GALLO WERNER , GOEDICKE KLAUS , LIEBERGELD HORST , TESCHNER GOETZ , KOSCH WOLFGANG
IPC分类号： C23C15/00

10. 发明专利

DD127703A1 未知
公开(公告)号：DD127703A1
公开(公告)日：1977-10-12
申请号：DD19515776
申请日：1976-10-05
申请人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , SCHILLER SIEGFRIED , HEMPEL WOLFGANG , TESCHNER GOETZ
发明人： HEISIG ULLRICH , GOEDICKE KLAUS , SCHILLER SIEGFRIED , HEMPEL WOLFGANG , TESCHNER GOETZ
IPC分类号： C23C15/00

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