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1. 发明申请

WO2012020020A1 SHELL OF AN EUV COLLECTOR MIRROR FOR EUV LITHOGRAPHY 审中-公开
标题翻译： EUV收藏家镜子的EUV LITHOGRAPHY的壳
公开(公告)号：WO2012020020A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/EP2011/063700
申请日：2011-08-09
申请人： CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH , ANDERL, Willi , KIEREY, Holger , BAUER, Markus , KUGLER, Jens
发明人： ANDERL, Willi , KIEREY, Holger , BAUER, Markus , KUGLER, Jens
IPC分类号： G02B5/08 , G02B7/18 , G03F7/20 , G21K1/06
CPC分类号： G02B5/0891 , G02B5/0808 , G02B5/1861 , G02B7/1815 , G03F7/70891 , G21K1/067 , G21K2201/065 , G21K2201/067
摘要： An EUV collector mirror shell of an EUV collector for EUV lithography comprises a body (42) which has a light incidence-side front part (44), having a reflective optically active area (48), and a rear part (46), and which has a cavity (50) between the front part (44) and the rear part (46), the cavity (50) extending essentially along the entire optically active area (48), and the cavity (50) serving for receiving a cooling medium, the body (42) having, furthermore, at least one inlet (54) and at least one outlet (56) for the cooling medium. A plurality of flow-influencing elements (52) are arranged, distributed, in the cavity (50), which extend from the front part (44) to the rear part (46), connect the front part (44) to the rear part (46) and are formed in one piece with the front part (44) and with the rear part (46).
摘要翻译：用于EUV光刻的EUV集电极的EUV收集器镜壳包括具有光入射侧前部（44），具有反射光学有效区（48）和后部（46）的主体（42），以及其在前部（44）和后部（46）之间具有空腔（50），空腔（50）基本上沿整个光学有效区域（48）延伸，并且用于接收冷却此外，主体（42）还具有用于冷却介质的至少一个入口（54）和至少一个出口（56）。多个流量影响元件（52）分布在从前部（44）延伸到后部（46）的空腔（50）中，将前部（44）连接到后部（46）并且与前部（44）和后部（46）成一体地形成。

2. 发明申请

WO2014161824A1 POLARISATORANORDNUNG ZUM RÄUMLICHEN TRENNEN VON POLARISATIONSZUSTÄNDEN EINES LICHTSTRAHLENBÜNDELS 审中-公开
标题翻译：偏振片偏振态梁梁的空间分离
公开(公告)号：WO2014161824A1
公开(公告)日：2014-10-09
申请号：PCT/EP2014/056480
申请日：2014-03-31
申请人： CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH
发明人： BAUER, Markus , MUENZ, Holger
IPC分类号： G02B27/12 , G02B27/28 , G02B5/30
CPC分类号： G02B27/285 , F21V9/14 , G02B5/3066 , G02B5/3075 , G02B5/3091 , G02B27/12 , G02B27/126 , G02B27/283
摘要： Eine doppelbrechende Polarisatoranordnung zum räumlichen Trennen von Polarisationszuständen eines Lichtstrahlenbündel (22), insbesondere im Spektralbereich unterhalb 300 nm, weist zumindest zwei Prismen (132, 133, 134) auf, die ein lichteingangsseitiges erstes Prisma (132) und ein lichtausgangsseitiges weiteres Prisma (134) aufweisen, die entlang einer Lichteinfallshauptrichtung (18) angeordnet sind, wobei das erste Prisma (134) eine erste Lichteintrittsfläche (136) und eine erste Lichtaustrittsfläche (138) um das weitere Prisma (134) eine der ersten Lichtaustrittsfläche (138) zugewandte weitere Lichteintrittsfläche (140) und eine weitere Lichtaustrittsfläche (142) aufweist, wobei die Prismen (132, 133, 134) jeweils eine optische Kristallhauptachse aufweisen, die zur Lichteinfallshauptrichtung (18) im Wesentlichen senkrecht orientiert sind, wobei die Kristallhauptachsen zweier benachbarter Prismen (132, 133, 134) zueinander senkrecht orientiert sind, wobei eine Normale der weiteren Lichtaustrittsfläche (142) mit der Lichteinfallshauptrichtung (18) einen Winkel (a2 ≠ 0°) einschließt. Eine Normale der ersten Lichteintrittsfläche (136) schließt mit der Lichteinfallshauptnchtung (18) einen ersten Winkel (a1 ≠ 0°) ein, und die erste Lichteintrittsfläche (136) und die weitere Lichtaustrittsfläche (142) sind bezüglich einer zur Lichteinfallshauptrichtung senkrechten Ebene (147) gegensinnig zueinander geneigt.
摘要翻译：在光谱范围低于300nm空间上分离的光束（22）的偏振态的，特别是双折射偏振器布置中，具有至少两个棱镜（132，133，134），其上的光输入侧的第一棱镜（132）和光输出侧的另一个棱镜（134）具有，沿光入射的主方向（18），布置，其中所述第一棱镜（134）的第一光入射面（136）和第一光出射面（138）到另一个棱镜（134）的面向所述另一光入射面的第一光射出面（138）中的一个（ 140）和另外的光出射面（142），其中，所述棱镜（132，133，134），每个具有晶体光学主轴线，其（与光入射主方向18）基本上垂直地定向，其特征在于，两个相邻的棱晶（132，133的晶体主轴线， 134）的相互垂直的与正常的面向远较旧的光出射面（142）与所述光入射主方向（18）包围的角度（A2≠0°）。一个正常的第一光入射面（136）的关闭与Lichteinfallshauptnchtung（18）的第一角度（A1≠0°），并且第一光入射面（136）和所述另外的光出射面（142）相对于一个方向垂直于光主要方向平面（147）相对倾斜到彼此。

3. 发明申请

WO2014121844A1 BEAM REVERSER MODULE AND OPTICAL POWER AMPLIFIER HAVING SUCH A BEAM REVERSER MODULE 审中-公开
标题翻译：光束反射器模块和具有这种光束反射器模块的光功率放大器
公开(公告)号：WO2014121844A1
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：PCT/EP2013/052574
申请日：2013-02-08
申请人： CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH
发明人： SCHALL, Michael , KRAUS, Johannes , MUENZ, Holger , SCHUSTER, Ingrid , ANDERL, Willi , WEBER, Ulrich , BAUER, Markus , ERXMEYER, Jeffrey , LE MAIRE, Michel
IPC分类号： G02B5/12 , H01S3/034 , G02B5/04 , H01S3/081
CPC分类号： H01S3/0071 , G02B5/04 , G02B5/08 , G02B5/12 , G02B7/1815 , H01S3/005 , H01S3/10023 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2333
摘要： A beam reverser module for an optical power amplifier of a laser arrangement comprises at least one reflecting surface (86) for receiving an incoming laser beam (28a) propagating in a first direction and reflecting the incoming laser beam (28a) into a second direction different from the first direction, wherein the at least one reflecting surface is a highly reflecting surface (86) of at least one mirror.
摘要翻译：用于激光装置的光功率放大器的光束反射器模块包括至少一个反射表面（86），用于接收沿第一方向传播的输入激光束（28a），并将输入的激光束（28a）反射到不同的第二方向其中所述至少一个反射表面是至少一个反射镜的高反射表面（86）。

4. 发明申请

WO2012101080A3 OPTICAL ARRANGEMENT FOR AN EUV PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND METHOD FOR COOLING AN OPTICAL COMPONENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2012101080A3
公开(公告)日：2012-08-02
申请号：PCT/EP2012/050946
申请日：2012-01-23
申请人： CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH , ANDERL, Willi , KIEREY, Holger , BAUER, Markus , WALDIS, Severin , MAJOR, András G.
发明人： ANDERL, Willi , KIEREY, Holger , BAUER, Markus , WALDIS, Severin , MAJOR, András G.
IPC分类号： G03F7/20 , G21K1/06
摘要： An optical arrangement (80) for an EUV projection exposure apparatus comprises an optical component (82), which has a substrate (84) and a surface (86) on a side of the substrate (84) which surface is optically operative in the EUV spectral range, and a cooling device (90) for the optical component (82), said cooling device having a cooling medium (94). The substrate (84) comprises a material having at a temperature T s 50 W -1 K -1 and a coefficient of thermal expansion of -6 K -1 , and the cooling medium (94) has a temperature of s .

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