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    • 7. 发明专利
    • Halbleiterchip mit lötbarer Vorderseite und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips
    • DE102015221971A1
    • 2017-05-11
    • DE102015221971
    • 2015-11-09
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • GOERLACH ALFREDKALICH THOMAS
    • H01L23/488
    • Halbleiterchip (100) umfassend ein Halbleiterbauelement (101), das eine erste Haupterstreckungsrichtung (x) und eine zweite Haupterstreckungsrichtung (y) aufweist, wobei die erste Haupterstreckungsrichtung (x) und die zweite Haupterstreckungsrichtung (y) eine Haupterstreckungsebene bilden, wobei die Haupterstreckungsebene senkrecht zu einer Stapelrichtung (z) des Halbleiterchips (100) angeordnet ist, wobei unmittelbar auf dem Halbleiterbauelement (101) • ein erster metallischer Bereich (102), der lötfähig ist, • mindestens ein zweiter metallischer Bereich (103), der lötfähig ist und • ein dielektrischer Bereich (104) angeordnet sind, wobei der erste metallische Bereich (102) und der mindestens eine zweite metallische Bereich (103) durch den dielektrischen Bereich (104) galvanisch getrennt sind, wobei der mindestens eine zweite metallische Bereich (103) einen ersten Abstand (105) entlang der ersten Haupterstreckungsrichtung (x) zum ersten metallischen Bereich (102) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem ersten metallischen Bereich (102) ein erstes Lötmittel (107) angeordnet ist, das in einem ungelöteten Zustand eine vierte Schichtdicke aufweist, die mindestens ein Dreifaches des ersten Abstands (105) umfasst und ein dritter metallischer Bereich (108) auf dem ersten Lötmittel (107) angeordnet ist und der dritte metallische Bereich (108) einen dritten Abstand (109) entlang der ersten Haupterstreckungsrichtung (x) zum Rand des Halbleiterbauelements (101) aufweist, der mindestens dem Fünffachen der vierten Schichtdicke des ersten Lötmittels (107) im ungelöteten Zustand entspricht, wobei der erste metallische Bereich (102), der zweite metallische Bereich (103), der dritte metallische Bereich (108) und das erste Lötmittel (107) eine stoffschlüssige Verbindung aufweisen.
    • 8. 发明专利
    • Verbundkörper
    • DE102011088834A1
    • 2013-06-20
    • DE102011088834
    • 2011-12-16
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • HOHENBERGER BERNDFAISS MARKUSKALICH THOMAS
    • H01L29/38H01L29/04H01L29/06H01L29/12H01L29/739H01L29/861
    • Die Erfindung geht aus von einem Verbundkörper (10; 48), insbesondere zum Aufbau eines elektronischen Bauelements, der zumindest zwei stoffschlüssig miteinander verbundene Teilkörper (16, 18, 20, 22, 24, 26, 28; 52, 54, 56, 58, 60, 62, 64) mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungen umfasst, wobei ein Stoffschluss durch zumindest eine in einer Fügerichtung (12; 50) zwischen den Teilkörpern (16, 18, 20, 22, 24, 26, 28; 52, 54, 56, 58, 60, 62, 64) angeordnete Fügeschicht herbeigeführt ist. Es wird vorgeschlagen, dass der Verbundkörper (10; 48) zumindest ein in der Fügerichtung (12; 50) zwischen den Teilkörpern (16, 18, 20, 22, 24, 26, 28; 52, 54, 56, 58, 60, 62, 64) angeordnetes Ausgleichseinlegeelement (30, 32; 66, 68) zur Stabilisierung des Stoffschlusses zwischen den Teilkörpern (16, 18, 20, 22, 24, 26, 28; 52, 54, 56, 58, 60, 62, 64) mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungen umfasst, das im Wesentlichen aus einem Material besteht, das aus einer ersten Materialgruppe gewählt ist, die aus den Metallen Eisen, Molybdän, Tantal, Wolfram und einer Legierung mit beliebigen Legierungsanteilen der Metalle Eisen, Molybdän, Tantal und Wolfram gebildet ist.