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    • 9. 发明专利
    • Schaltungsträger mit einem sinterverbundenen Halbleiterbaustein
    • DE102013226334B4
    • 2019-04-25
    • DE102013226334
    • 2013-12-18
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • ZOLLER HUBERTGOERLACH ALFREDKNUPFER THOMASKALICH THOMAS
    • H01L23/48
    • Schaltungsträger (1, 10) mit einem massiv ausgebildeten Halbeiterbaustein (2, 3), wobei der Halbleiterbaustein (2, 3) wenigstens einen einen Oberflächenbereich des Halbleiterbausteins bildenden elektrischen Anschluss (4, 5, 6, 16) aufweist, wobei der Anschluss (4, 5, 6, 16) mittels wenigstens eines gesinterten elektrischen Verbindungsmittels mit einem elektrischen Kontakt (7, 8, 20, 21) stoffschlüssig verbunden ist, wobei der Kontakt (7, 8, 20, 21) und der Halbleiterbaustein (2, 3) jeweils einen Fügepartner für das Verbindungsmittel bilden, wobei das Verbindungsmittel zwischen dem Anschluss (4, 5, 6, 16) und dem Kontakt (7, 8, 20, 21) durch wenigstens zwei in ihrer flachen Erstreckung einander kontaktierenden Sinterschichten (9, 11, 12, 13, 16, 19, 23, 24, 25) gebildet ist, wobei ein thermischer Ausdehnungskoeffizient wenigstens einer der Sinterschichten (9, 11, 12, 13, 16, 19, 23, 24, 25) zwischen dem Ausdehnungskoeffizienten des Fügepartners (7, 8, 2, 3, 20, 21) und dem Ausdehnungskoeffizienten der zu der Sinterschicht (9, 11, 12, 13, 16, 19, 23, 24, 25) benachbarten Sinterschicht (9, 11, 12, 13, 16, 19, 23, 24, 25) liegt, wobei wenigstens eine Sinterschicht (9, 11, 12, 13, 16, 19, 23, 24, 25) Füllpartikel (15) aufweist, welche ausgebildet sind, beim Versintern keine Legierung mit einem Sintermetall der Sinterschicht (9, 11, 12, 13, 16, 19, 23, 24, 25) auszubilden und in der gesinterten Schicht als Füllpartikel (15) erhalten zu bleiben, wobei ein Ausdehnungskoeffizient der Füllpartikel (15) sich von dem Ausdehnungskoeffizient des Sintermetalls unterscheidet, und wobei die Füllpartikel (15) durch ein Halbleitermaterial gebildet sind.
    • 10. 发明专利
    • Halbleiteranordnung mit einer PIN-Diode
    • DE102017212673A1
    • 2019-01-24
    • DE102017212673
    • 2017-07-24
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • GOERLACH ALFREDFEILER WOLFGANG
    • H01L29/868
    • Es wird eine Halbleiteranordnung mit einer PIN-Diode mit einer stark n-dotierten Schicht (1), einer auf der stark n-dotierten Schicht (1) angeordneten schwach n-dotierten Schicht (2) und einer auf der schwach n-dotierten Schicht (2) angeordneten p-dotierten Schicht (3) vorgeschlagen, wobei die p-dotierte Schicht (3) mit einer ersten Metallisierung (5) einen ohmschen Kontakt bildet und die stark n-dotierte Schicht (1) einen ohmschen Kontakt zu einer zweiten Metallisierung (7) bildet. Bei einem Betrieb in Vorwärtsrichtung erfolgt eine Hochinjektion bei der die schwach n-dotierte Schicht (2) mit Ladungsträgern überflutet wird. In der schwach n-dotierten Schicht (2) sind mindestens zwei Grabenstrukturen (4) eingebracht, wobei die Grabenstrukturen (4) auf einer mit der n-dotierten Oberfläche in Kontakt stehenden Oberfläche eine dielektrische Schicht (6) aufweisen. Die mit der dielektrischen Schicht (6) in Kontakt stehende Oberfläche (10) der schwach n-dotierten Schicht (2) weist eine erhöhte Oberflächenrekombinationsgeschwindigkeit für Ladungsträger auf.