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1. 发明申请

WO02086464A2 GAS SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
标题翻译：气体传感器与方法研究
公开(公告)号：WO02086464A2
公开(公告)日：2002-10-31
申请号：PCT/DE0200797
申请日：2002-03-05
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , BAUER MICHAEL , GRUEN DETLEF , KRUMMEL CHRISTIAN , SCHILLING ULRICH , REIN ERWIN , SEITER MICHAEL , WEBER HERIBERT , PRUETZ ODD-AXEL
发明人： BAUER MICHAEL , GRUEN DETLEF , KRUMMEL CHRISTIAN , SCHILLING ULRICH , REIN ERWIN , SEITER MICHAEL , WEBER HERIBERT , PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： G01N27/12 , G01N21/00
CPC分类号： G01N27/125
摘要： The invention relates to a gas sensor comprising a membrane (18), a heating structure (10) that is arranged on the membrane (18), an evaluating structure (12) that is arranged on the membrane (18), and a sensitive layer (14) that is also arranged on the membrane (18). Said layer can be heated by the heating structure (10) and its electrical resistance can be evaluated by the evaluating structure (12). The sensitive layer (14) is applied in the form of drops (16), and the remaining structures (10, 12) are at least partially adapted to the shape of the sensitive layer (14). The invention also relates to a method for producing a gas sensor.
摘要翻译：本发明涉及一种具有振动板（18）的气体传感器，设置在所述隔膜（18）的加热结构（10），布置在所述隔膜（18）评估（12）和一个（18）上设置敏感层膜酮（14 ），其（的加热结构10）可以被加热和其电阻（评价结构12）的评价，其特征在于，敏感层（14）（如滴16）被施加，而另一个结构（10，12）的形状敏感的层（14）至少部分地调节。本发明还涉及一种用于制造气体传感器的方法。

2. 发明专利

DE102020202157A1 Mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung, Drehraten-Sensorarray und entsprechendes Herstellungsverfahren 未知
公开(公告)号：DE102020202157A1
公开(公告)日：2021-08-19
申请号：DE102020202157
申请日：2020-02-19
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： NEUL REINHARD , LASSL ANDREAS , KUHLMANN BURKHARD , DEGENFELD-SCHONBURG PETER , PRUETZ ODD-AXEL , KUHLMANN NILS FELIX , LIEWALD JAN-TIMO , BODE NIELS , KUEHNEL MATTHIAS
IPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5726 , G01C19/5747
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung, ein Drehraten-Sensorarray und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung umfasst eine rotatorisch um eine erste Achse (z) oszillierend durch eine Antriebseinrichtung (AT1, AT2) über eine Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) antreibbare erste Drehratensensoreinrichtung (100) zum Erfassen einer ersten äußeren Drehrate um eine zweite Achse (y) und einer zweiten äußeren Drehrate um eine dritte Achse (x), wobei die erste, zweite und dritte Achse (z, y, x) senkrecht zueinander angeordnet sind; und eine linear oszillierend entlang der zweiten Achse (y) durch die Antriebseinrichtung (AT1, AT2) über die Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200) zum Erfassen einer dritten äußeren Drehrate um die erste Achse (z). Die erste Drehratensensoreinrichtung (100) ist über die Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) mit der zweiten Drehratensensoreinrichtung (200) verbunden. Die Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) weist einen ersten Antriebsrahmen (RA1a, RA1b) und einen zweiten Antriebsrahmen (RA2a, RA2b) auf, welche durch die Antriebseinrichtung (AT1, AT2) gegenphasig entlang der dritten Achse (x) oszillierend antreibbar sind. Die linear antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200) weist eine Rahmeneinrichtung (R1a', R1b') mit einem ersten Teilrahmen (R1a') und einem zweiten Teilrahmen (R1b') auf.

3. 发明专利

DE102011085023B4 Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines Bauelements 未知
公开(公告)号：DE102011085023B4
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：DE102011085023
申请日：2011-10-21
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , G01C19/56 , G01P15/00
摘要： Bauelement (1) aufweisend ein Substrat (2) und eine seismische Masse (3), wobei die seismische Masse (3) relativ zum Substrat (2) auslenkbar ausgebildet ist, wobei das Bauelement (1) einen Anschlag (5) zur Begrenzung einer maximalen Auslenkung der seismischen Masse (3) senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) aufweist und wobei die seismische Masse (3) senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) zwischen dem Substrat (2) und dem Anschlag (5) angeordnet ist, wobei das Bauelement (1) eine Elektrodenanordnung (4) aus Festelektroden (10) und entsprechenden Gegenelektroden (11) der seismischen Masse (3) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlag (5) die Elektrodenanordnung (4) senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) vollständig überdeckt und der Anschlag (5) ferner zur Unterdrückung von auf die seismische Masse (3) senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) wirkenden Levitationskräften konfiguriert ist.

4. 发明专利

DE102017216918A1 Mikromechanische Sensoranordnung 未知
公开(公告)号：DE102017216918A1
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：DE102017216918
申请日：2017-09-25
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： GECKELER CARSTEN , PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , G01C19/5733 , G01P15/125
摘要： Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung, umfassend eine erste Fingerstruktur und eine zweite Fingerstruktur, wobei die beiden Fingerstrukturen relativ zueinander auslenkbar sind und wobei die beiden Fingerstrukturen in einem Ruhezustand zumindest teilweise ineinander kämmend angeordnet sind, wobei zumindest ein Finger zumindest einer der beiden Fingerstrukturen an seinem der anderen Fingerstruktur zugewandten Ende eine konvexe Form aufweist.

5. 发明专利

DE102016213877A1 Mikromechanischer Drehratensensor und Betriebsverfahren desselben 未知
公开(公告)号：DE102016213877A1
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：DE102016213877
申请日：2016-07-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： NEUL REINHARD , OHMS TORSTEN , MAUL ROBERT , HATTASS MIRKO , HOEPPNER CHRISTIAN , PRUETZ ODD-AXEL , SCHMIDT BENJAMIN , SCHEBEN ROLF , HEUCK FRIEDJOF
IPC分类号： G01C19/5733 , B81B7/02
摘要： Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor (100) mit einem ersten Coriolis-Element (110), einem ersten Antriebsbalken (113), der entlang dem ersten Coriolis-Element (110) angeordnet und über eine erste Feder (114) an das erste Coriolis-Element (110) gekoppelt ist, sowie einem ersten Antriebselektrodenträger (136, 137), der sich vom ersten Antriebsbalken (113) in der zum ersten Coriolis-Element (120) entgegengesetzten Richtung erstreckt und eine Vielzahl von parallel zum ersten Antriebsbalken (113) verlaufenden ersten Antriebselektroden (138, 139) trägt. Unter einem weiteren Gesichtspunkt wird ein Verfahren zum Betreiben eines derartigen mikromechanischen Drehratensensors (100) bereitgestellt.

6. 发明专利

DE102013212059A1 Mikromechanischer Inertialsensor und Verfahren zum Betrieb eines Inertialsensors 未知
公开(公告)号：DE102013212059A1
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：DE102013212059
申请日：2013-06-25
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： B81B7/02 , G01C19/5733 , G01P15/00
摘要： Es wird ein mikromechanischer Inertialsensor, zur Detektion einer Translationsbewegung und/oder Rotationsbewegung des Inertialsensors, mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat, einer entlang einer zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen parallelen X-Richtung auslenkbaren seismischen Masse und einer Detektionseinheit vorgeschlagen, wobei die seismische Masse ein bewegungsfest mit der seismischen Masse verbundenes Elektrodenelement aufweist, wobei die Detektionseinheit ein bewegungsfest mit der Detektionseinheit verbundenes Gegenelektrodenelement aufweist, wobei das Elektrodenelement und das Gegenelektrodenelement entlang einer zur X-Richtung parallelen Projektionsrichtung überlappend angeordnet sind, wobei die Detektionseinheit zur kapazitiven Detektion einer Auslenkung der seismischen Masse in Abhängigkeit eines Abstands zwischen der Elektrode und der Gegenelektrode konfiguriert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinheit entlang der X-Richtung relativ zum Substrat auslenkbar ist, wobei die seismische Masse und die Detektionseinheit über eine Koppeleinheit miteinander mechanisch gekoppelt sind.

7. 发明专利

DE102013212056A1 Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors 未知
公开(公告)号：DE102013212056A1
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：DE102013212056
申请日：2013-06-25
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： G01C19/5733 , B81B7/02
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor zur Detektion einer Drehrate um eine zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen parallele Drehachse konfiguriert ist, wobei der Drehratensensor eine erste Schwingmasse und eine mit der ersten Schwingmasse mechanisch gekoppelte zweite Schwingmasse aufweist, wobei die erste Schwingmasse entlang einer zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen parallelen ersten Schwingungsebene auslenkbar ist, wobei sich die erste Schwingmasse in einer Ruhestellung im Wesentlichen parallel zur ersten Schwingungsebene flächig erstreckt, wobei die erste Schwingmasse aus der ersten Schwingungsebene heraus in eine erste Auslenkstellung auslenkbar ist, wobei die zweite Schwingmasse entlang einer zur ersten Schwingungsebene im Wesentlichen parallelen zweiten Schwingungsebene auslenkbar ist, wobei sich die zweite Schwingmasse in der Ruhestellung im Wesentlichen parallel zur zweiten Schwingungsebene flächig erstreckt, wobei die zweite Schwingmasse aus der zweiten Schwingungsebene heraus in eine zweite Auslenkstellung auslenkbar ist, wobei die erste Schwingmasse und die zweite Schwingmasse derart angeordnet sind, dass in der Ruhestellung ein erster Vorsprung der ersten Schwingmasse in eine zweite Ausnehmung der zweiten Schwingmasse hineinragt und/oder ein zweiter Vorsprung der zweiten Schwingmasse in eine erste Ausnehmung der ersten Schwingmasse hineinragt.

8. 发明专利

DE102020210142A1 Mikromechanischer Sensor mit Anschlagstruktur 未知
公开(公告)号：DE102020210142A1
公开(公告)日：2022-02-17
申请号：DE102020210142
申请日：2020-08-11
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： B81B3/00 , G01P15/08
摘要： Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor (100), mit einem Substrat (101), einer gegenüber dem Substrat (101) federnd auslenkbaren seismischen Masse (103) und einer am Substrat (101) ausgebildeten Anschlagstruktur (105) zum Begrenzen einer Auslenkung der seismischen Masse (103), wobei die Anschlagstruktur (105) umfasst:ein Wirkelement (107) mit einem Primäranschlag (109) mit einem ersten Ruheabstand (D1) zur seismischen Masse (103) und einem Sekundäranschlag (111, 113) mit einem zweiten Ruheabstand (D2) zur seismischen Masse, wobei über einen Anschlag der seismischen Masse (103) am Primäranschlag (109) das Wirkelement (107) in einen ersten Auslenkungszustand (A1) ausgelenkt ist, wobei über einen Anschlag der seismischen Masse (103) am Sekundäranschlag (111, 113) das Wirkelement (107) in einen zweiten Auslenkungszustand (A2) ausgelenkt ist, und wobei im zweiten Auslenkzustand (A2) eine Rückstellkraft des Wirkelements (107) gegenüber dem ersten Auslenkzustand (A1) erhöht ist.

9. 发明专利

DE102011006397B4 Mikromechanisches Bauelement mit einer Verhakungsstruktur 未知
公开(公告)号：DE102011006397B4
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：DE102011006397
申请日：2011-03-30
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PRUETZ ODD-AXEL
IPC分类号： B81B3/00 , G01C19/56 , G01P15/08
摘要： Mikromechanisches Bauelement (101, 102, 103, 104, 105), aufweisend ein Substrat (100), eine bewegliche Masse (120) und eine Federstruktur (130, 170, 171), über welche die bewegliche Masse (120) auslenkbar an dem Substrat (100) aufgehängt ist, gekennzeichnet durch eine Verhakungsstruktur (140, 150, 160) aus wenigstens zwei unabhängig von dem Substrat (100) elektrisch miteinander verbundenen Strukturelementen (141, 142, 151, 152, 161, 162, 163), welche ausgebildet sind, bei einer Auslenkung der beweglichen Masse (120) miteinander zu verhaken.

10. 发明专利

IT201700092522A1 ELEMENTO STRUTTURALE MICROMECCANICO 未知
公开(公告)号：IT201700092522A1
公开(公告)日：2019-02-09
申请号：IT201700092522
申请日：2017-08-09
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PRUETZ ODD-AXEL

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