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    • 9. 发明专利
    • Anordnung zum Beschichten eines Substrats
    • DE102011088525A1
    • 2013-06-20
    • DE102011088525
    • 2011-12-14
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • BURGER KURTDORFMUELLER LUTZSCHNEIDER GUENTERWALTHER BENJAMINKNIPRATH ROLF
    • C23C14/54C23C14/24C23C16/448C23C16/52
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung (10) zum Beschichten eines Substrats (12) mit einem Beschichtungsmaterial, umfassend – eine Beschichtungskammer (18), in der ein Verdampfungsbehälter (16) zur Aufnahme von Beschichtungsmaterial und ein zu beschichtendes Substrat (12) anordbar sind, und die wenigstens zwei an jeweils gegenüberliegenden Seiten der Beschichtungskammer (18) derart angeordnete Strahlungsöffnungen (20, 22) aufweist, dass ein Lichtstrahl (24) durch die Strahlungsöffnungen (20, 22) einen Beschichtungskegel (14) zwischen Verdampfungsbehälter (16) und Substrat (12) durstrahlend ausbildbar ist, – wenigstens zwei Spiegelkammern (26, 28), die jeweils außerhalb der Beschichtungskammer (18) angeordnet sind und jeweils eine Öffnung (30, 32) aufweisen, die druckdicht gegenüber der äußeren Atmosphäre mit einer Strahlungsöffnung (26, 28) verbunden ist, wobei – in jeder der wenigstens zwei Spiegelkammern (26, 28) wenigstens ein Kammerspiegel (34, 36) derart ausgerichtet ist, dass der Lichtstrahl (24) zwischen den in unterschiedlichen Spiegelkammern (26, 28) angeordneten Kammerspiegeln (34, 36) einkoppelbar ist, wobei – wenigstens ein Kammerspiegel (34, 36) zum Einkoppeln und/oder Auskoppeln des Lichtstrahls (24) zwischen den Kammerspiegeln (34, 36) teildurchlässig ist; wobei – die Anordnung (10) ferner wenigstens eine Strahlungsquelle (38, 40, 42) zum Erzeugen eines zwischen den wenigstens zwei Kammerspiegeln (34, 36) einkoppelbaren Lichtstrahls (24), und – wenigstens einen Detektor (44, 46, 48) zum Detektieren eines aus den Kammerspiegeln (34, 36) ausgekoppelten Lichtstrahls (24) aufweist. Eine derartige Anordnung (10) erlaubt eine sehr genaue Ermittlung der Dampfdichte in der Beschichtungskammer (18) und damit eine sehr genaue Ermittlung der Beschichtungsrate. Dabei ist die Anordnung besonders langzeitstabil, was die Wartungsintervalle verlängern und dabei die Betriebskosten senken kann.