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1. 发明专利

JP2008251983A Inspection device 审中-公开
标题翻译：检查装置
公开(公告)号：JP2008251983A
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：JP2007093980
申请日：2007-03-30
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： SHINDO KAZUSHIGE , ASANO KUNIKAZU , KOTAKE TOSHIYUKI , YAMADA TAKESHI
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device capable of inspecting the presence or the absence of excessive mounting of conductive balls on a substrate. SOLUTION: An inspection device 60 has an imaging unit 64 for acquiring first image data, showing a divided inspection region of a mounting surface of a substrate on which a plurality of conductive balls are mounted. There is a possibility that the first image data include a single ball image element corresponding to a single conductive ball and further, include a cluster image element that corresponds to a cluster compose of the adjacent plurality of conductive balls. The inspection device 60 further includes an image processing unit 67, including a shrinking function 67c of creating image data for determination in which at least a single ball image element included in the first image data is shrunk, and a determination unit 68 for deciding the presence or the absence of excessive mounting of the conductive balls in the divided inspection region. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够检查导电球在基板上是否存在过度安装的检查装置。解决方案：检查装置60具有用于获取第一图像数据的成像单元64，示出其上安装有多个导电球的基板的安装表面的划分的检查区域。存在第一图像数据包括与单个导电球相对应的单个球图像元素的可能性，并且还包括与相邻的多个导电球的组合相对应的聚簇图像元素。检查装置60还包括图像处理单元67，该图像处理单元67包括创建用于确定包括在第一图像数据中的至少一个球图像元素的确定的图像数据的收缩功能67c;以及用于确定存在的确定单元68 或者在分割的检查区域中不存在导电球的过度安装。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2007123441A Ball loading apparatus and ball loading method 审中-公开
标题翻译：球载装置和球装载方法
公开(公告)号：JP2007123441A
公开(公告)日：2007-05-17
申请号：JP2005311660
申请日：2005-10-26
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： YAMAZAKI SUSUMU , KOTAKE TOSHIYUKI , ISHII TOSHIHIRO
IPC分类号： H01L21/60 , H01L23/12
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ball loading apparatus capable of shortening the time needed to load one ball on a substrate, and of improving position accuracy of loading the ball.
SOLUTION: The ball loading apparatus 1 comprises a substrate support mechanism 62 movable horizontally for supporting a semiconductor wafer 9; a ball supply tray 21 capable of supporting a plurality of conductive balls B; a head 11 for placing, by sucking the conductive ball B from the ball supply tray 21, it on a loading surface 9a of the semiconductor wafer 9; a moving mechanism 19 for moving the head 11 vertically; and a moving mechanism 29 for moving a ball supply tray 21 horizontally between the head 11 and the substrate support mechanism 62.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够缩短在基板上装载一个球所需的时间以及提高加载球的位置精度的球装载装置。球装载装置1包括可水平移动以支撑半导体晶片9的基板支撑机构62; 能够支撑多个导电球B的球供给盘21; 用于将导电球B从球供给托盘21吸附在半导体晶片9的装载表面9a上的头部11; 用于垂直移动头部11的移动机构19; 以及移动机构29，用于使球供给托盘21在头部11和基底支撑机构62之间水平移动。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2010147369A Angle adjusting device and ball mounting device 有权
标题翻译：角度调节装置和球安装装置
公开(公告)号：JP2010147369A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：JP2008325150
申请日：2008-12-22
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： KOTAKE TOSHIYUKI , YAGIHASHI TAKASHI , TANIKAI TADASHI , YAMAGISHI AKITAKA
IPC分类号： H01L21/60 , H05K3/34
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an angle adjusting device configured such that the direction and amount of angle adjustment of an object to be adjusted are easily obtained. SOLUTION: The angle adjusting device 1 has a fixed portion 19, a holding portion 20 for holding an object to be adjusted, a spherical bearing portion 21 supporting the holding portion 20 in an oscillatory state on the fixed portion 19, and an adjusting screw 22 as an adjusting means of displacing the holding portion 20 on the spherical bearing portion 21 as a fulcrum in directions in which the holding portion 20 contacts and leaves the fixed portion 19. The adjusting means is arranged at two places, whose middle point is at an orthogonal intersection of two orthogonal directions, for respective directions on the straight line passing the centers of rotations of the adjusting screw 22 and spherical bearing portion 21. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种角度调节装置，其被配置为容易地获得待调节对象的角度调整的方向和量。解决方案：角度调节装置1具有固定部分19，用于保持待调节物体的保持部分20，在固定部分19上以振荡状态支撑保持部分20的球形轴承部分21，以及调节螺钉22作为将保持部20以保持部20接触并离开固定部19的方向作为支点作为支点移动的球形轴承部21上的保持部20的调整装置。调节装置配置在两个位置，对于通过调节螺钉22的旋转中心的直线上的各个方向和球面轴承部分21处于两个正交方向的正交交点。（C）2010，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2008042172A Apparatus and method for filling ball 有权
标题翻译：用于填充球的装置和方法
公开(公告)号：JP2008042172A
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：JP2007147953
申请日：2007-06-04
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： KAWAKAMI SHIGEAKI , ASANO KUNIKAZU , KOTAKE TOSHIYUKI
IPC分类号： H01L21/60
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus capable of reducing the time required to arrange conductive balls on one substrate. SOLUTION: The apparatus has two heads 21a and 21b for holding two independent groups of conductive balls and a head moving mechanism 30 for moving the two heads so that the two groups of conductive balls move on the surface of a mask 110 at two portions on the surface of the mask 110 comprising a plurality of openings for arranging the conductive balls on a substrate 100. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供能够减少在一个基板上布置导电球所需的时间的装置。解决方案：该装置具有两个用于保持两组独立的导电球的头21a和21b，以及用于移动两个头的头移动机构30，使得两组导电球在掩模110的表面上移动，两个掩模110的表面上的部分包括用于将导电球布置在基底100上的多个开口。（C）2008，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2017092342A 導電性ボールを搭載するシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2017092342A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015223074
申请日：2015-11-13
申请人：アスリートFa株式会社 , Athlete Fa Kk
发明人： KOTAKE TOSHIYUKI , TANIKAI TADASHI , TAKEDA YUYA
IPC分类号： H01L21/60 , H05K3/34
摘要：【課題】製品の品質がさらに安定し、効率のよいボール搭載システムを提供する。【解決手段】ワークに導電性ボールを搭載するシステムを提供する。このシステムは、ワークの電極上に、第1のマスク11を介してフラックスを塗布する塗布ユニット10と、ワークに第2のマスク21を介して導電性ボールを搭載するボール搭載ユニット20と、ワークの状態を観察して、搭載欠陥を修復するリペアユニット30と、第1のマスクとワークとの位置決めをする第1の移動ステージ41と、第2のマスクとワークとの位置決めをする第2の移動ステージ42と、ワークの修復位置の位置決めをする第3の移動ステージ43と、ワークを一時的に保持した状態で、第1の移動ステージから第2の移動ステージに受け渡す第1のバッファユニット50と、ワークを一時的に保持した状態で、第2の移動ステージから第3の移動ステージに受け渡す第2のバッファユニット60とを有する。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2011129806A Device and method for guiding ball, and device for mounting ball 有权
标题翻译：用于引导球的装置和方法以及用于安装球的装置
公开(公告)号：JP2011129806A
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：JP2009288943
申请日：2009-12-21
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： KOTAKE TOSHIYUKI , YAMAGUCHI HIDEKI , KAWAKAMI SHIGEAKI , KAWAKAMI TOMOKI
IPC分类号： H01L21/60 , H05K3/34
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for guiding a ball, which correctly shaking a ball into an opening arranged on a mask without damaging the ball by horizontally moving the ball while surrounding the ball on the mask by discharging gas. SOLUTION: The device for guiding a ball includes a ball guide head 12, a ball supply device 31, a gas supply device 32 and a drive mechanism. The ball guide head 12 is provided with a gas introduction opening 23 and a gas discharge opening, and grooves 27 for guiding the gas in a tangential line direction of an undersurface opening 43 is formed on the undersurface of the ball guide head 12. The gas discharged to the grooves 27 is blasted out to a hollow part 22 to move the balls having approached the undersurface opening with movement of the ball guide head to the inside from the tangential line direction of a ball surrounding region 43, prevents the balls located in the ball surrounding region from flowing out to the outside of the ball guide heat by passing through the bottom of the ball guide head, moves the balls on a mask by moving the ball guide head 12, and shakes the balls into an opening formed on the mask. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于引导球的装置，其将球正确地摇动到布置在面罩上的开口中，而不会通过水平移动球而损坏球，同时通过排放气体围绕在面罩上的球。解决方案：用于引导球的装置包括球导向头12，球供给装置31，气体供给装置32和驱动机构。球导向头12设置有气体导入口23和气体排出口，在球导向头12的下表面形成有用于在下表面开口43的切线方向引导气体的槽27.气体排出到凹槽27的部分被吹出到中空部分22，以便随着球导向头从球周围区域43的切线方向向内移动而移动接近下表面开口的球，防止位于球球周围区域通过穿过球导向头的底部而流出到球引导热的外部，通过移动球导向头12将球移动到面罩上，并将球摇动到形成在面罩上的开口中。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2019004114A ボール供給装置及びボール搭載装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019004114A
公开(公告)日：2019-01-10
申请号：JP2017119803
申请日：2017-06-19
申请人： ATHLETE FA KK
发明人： KOTAKE TOSHIYUKI , KOMATSU TAKAHIRO , NAGATA SEIJI
IPC分类号： H01L21/60
摘要：【課題】ボール搭載装置を停止させずにボール搭載装置へのボール供給が可能で、ボール表面に損傷を与えず、過不足なくボールを基板に搭載することが可能なボール供給装置及びボール搭載装置を提供すること。【解決手段】ボール供給装置10は、ボール搭載装置50から離れた位置に配置され、ボールタンク12と、ボール振込ヘッドユニット64A,64Bにボール11を供給するボール供給ノズル13と、ボールタンク12とボール供給ノズル13とを接続するボール移送用チューブ14と、圧縮気体によってボールタンク12からボール供給ノズル13にボール11を圧送し、圧送停止時にボール移送経路を常圧に高速で減圧する。ボール振込ヘッドユニット64A,64Bからのボール供給命令に基づき所定量のボール11を圧送するボール供給装置10、及びボール供給装置10からボールを供給されるボール搭載装置。【選択図】図3

8. 发明专利

JP2009170688A Stage and ball mounting device using it 有权
标题翻译：使用它的阶段和球安装设备
公开(公告)号：JP2009170688A
公开(公告)日：2009-07-30
申请号：JP2008007750
申请日：2008-01-17
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： KAWAKAMI SHIGEAKI , TANIKAI TADASHI , KOTAKE TOSHIYUKI , ASANO KUNIKAZU , YAZAWA ICHIRO
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stage capable of mounting and transferring a substrate and then overlaying a mask on the substrate in a good condition.
SOLUTION: This device includes: a substrate supporting table 42 having a substrate supporting surface 41 supporting a substrate; a first driving mechanism 44 vertically moving the substrate supporting table 42; a frame 52 which has an upper end surface 51 positioned at the periphery of the substrate supporting surface 41 and has a profile of rectangular form; and a second driving mechanism 54 vertically moving the frame 52. A thin plate-like mask is fixed above the place of moving end of a stage 10. A plurality of first suction holes 58, suction-adsorbing the mask when the frame 52 is moved upward with the second driving mechanism 54 under the mask and the upper end surface 51 is brought into contact with the mask, are provided along a pair of facing sides of the upper end surface 51 of the frame 52.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够安装和转移衬底，然后在良好状态下将掩模重叠在衬底上的阶段。解决方案：该装置包括：基板支撑台42，具有支撑基板的基板支撑表面41; 垂直移动基板支撑台42的第一驱动机构44; 框架52，其具有位于基板支撑表面41的周边的上端面51，并且具有矩形的轮廓; 以及垂直移动框架52的第二驱动机构54.薄板状掩模固定在台架10的移动端的位置上方。多个第一抽吸孔58，当框架52移动时吸附 - 掩模向上与掩模下方的第二驱动机构54和上端面51与掩模接触，沿着框架52的上端表面51的一对相对侧设置。版权所有（C））2009，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2008227118A Mounting device and its control method 有权
标题翻译：安装设备及其控制方法
公开(公告)号：JP2008227118A
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：JP2007062769
申请日：2007-03-13
申请人： Athlete Fa Kk , アスリートFa株式会社
发明人： NAGATA SEIJI , ASANO KUNIKAZU , KOTAKE TOSHIYUKI
IPC分类号： H01L21/60
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mounting device that highly accurately mounts balls onto a workpiece. SOLUTION: The mounting device has a base 2, a mask holder 22 for holding a mask 21 at a first position with respect to the base 2, a transfer stage 3 capable of moving a workpiece 90 to a prescribed position with respect to the base 2, first cameras 51a, 51b that detect a reference mark of the workpiece 90 in a state of being mounted on the transfer stage 3 so as to record the position of the workpiece 90 with respect to the transfer stage 3 as a workpiece reference position in a memory, a second camera 52 that acquires an image of each electrode, facing each minute opening, of the workpiece 90 via each minute opening of the mask 21 from above the mask 21 held by the mask holder 22, ball dispensers 23a, 23b for filling each ball Be into each minute opening of the mask 21 from above the mask 21 held by the mask holder 22, and a control unit capable of controlling a moving destination of the transfer stage 3. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种将球高精度地安装在工件上的安装装置。
解决方案：安装装置具有基座2，用于将掩模21相对于基座2保持在第一位置的掩模支架22，能够将工件90相对于基座2移动到规定位置的转印台3 基座2，第一相机51a，51b，其以安装在转印台3上的状态检测工件90的基准标记，以便将工件90相对于转印台3的位置记录为工件基准位于存储器中的第二相机52，通过由掩模保持器22保持的掩模21上的面罩21的上方，从掩模21的每个微小开口获取工件90面对每个微小开口的每个电极的图像的第二相机52， 23b用于将每个球填充到由掩模保持器22保持的掩模21上方的掩模21的每个分钟开口中，以及能够控制转印台3的移动目的地的控制单元。（C） 2008年，日本特许厅和INPIT

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