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1. 发明申请

WO2012013451A1 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 审中-公开
标题翻译： LITHOGRAPHIC装置和装置制造方法
公开(公告)号：WO2012013451A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/EP2011/061206
申请日：2011-07-04
申请人： ASML NETHERLANDS B.V. , TU EINDHOVEN , SORAMA , AANGENENT, Wouter , VERMEULEN, Johannes , BEERENS, Ruud , SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines
发明人： AANGENENT, Wouter , VERMEULEN, Johannes , BEERENS, Ruud , SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines
IPC分类号： G03F7/20 , G01H3/00
CPC分类号： G03F7/70775 , G03F7/70866 , G03F7/709
摘要： A lithographic apparatus includes a support constructed to support a patterning device, the patterning device being capable of imparting a radiation beam with a pattern in its cross-section to form a patterned radiation beam; a substrate table constructed to hold a substrate; a projection system configured to project the patterned radiation beam onto a target portion of the substrate; a sensor array positioned and arranged to detect an acoustic wave from a movable part of the lithographic apparatus, a controller, the controller having a controller input connected to the sensor array so as to receive a sensor array output signal, and a controller output connected to at least one actuator arranged to act on the movable part, the controller being arranged to: calculate a movement of the movable part from the sensor array output signal, and drive via the controller output the at least one actuator in response to the calculated movement.
摘要翻译：光刻设备包括构造成支撑图案形成装置的支撑件，所述图案形成装置能够在其横截面中赋予具有图案的辐射束以形成图案化的辐射束; 构造成保持基板的基板台; 投影系统，被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述基板的目标部分上; 传感器阵列，其被布置成检测来自所述光刻设备的可移动部分的声波;控制器，所述控制器具有连接到所述传感器阵列的控制器输入，以便接收传感器阵列输出信号;以及控制器输出，连接到至少一个致动器被布置成作用在所述可移动部件上，所述控制器被布置成：根据所述传感器阵列输出信号计算所述可移动部件的运动，并且响应于所计算的运动，经由所述控制器驱动所述至少一个致动器。

2. 发明申请

WO2012013708A1 GENERATING A CONTROL SIGNAL BASED ON PROPAGATED DATA 审中-公开
标题翻译：基于传播数据生成控制信号
公开(公告)号：WO2012013708A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/EP2011/062915
申请日：2011-07-27
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN , SORAMA HOLDING B.V. , SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines , NIJMEIJER, Henk
发明人： SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines , NIJMEIJER, Henk
IPC分类号： G01H3/12
CPC分类号： G10K11/00 , G01H3/125
摘要： A system for generating a control signal comprises a data propagator (9) for propagating acoustic sensor array data relating to a set of acoustic measurements at a set of sensor positions covering an aperture towards a set of propagated positions to obtain propagated data relating to the set of propagated positions. A control signal generator (2) is arranged for generating a control signal based on the propagated data. The control signal generator (2) comprises a data analyzer (1) for analyzing the propagated data in a spatial frequency domain. The data propagator (9) is arranged for propagating the sensor array data in real-time and the control signal generator (2) is arranged for generating the control signal in real-time.
摘要翻译：一种用于产生控制信号的系统包括数据传播器（9），用于传播与在一组传播位置上覆盖孔径的一组传感器位置处的一组声学测量相关的声学传感器阵列数据，以获得与该组相关的传播数据的传播位置。控制信号发生器（2）被布置用于基于传播的数据产生控制信号。控制信号发生器（2）包括用于分析空间频域中的传播数据的数据分析器（1）。数据传播器（9）被布置成实时地传播传感器阵列数据，并且控制信号发生器（2）被安排用于实时生成控制信号。

3. 发明申请

WO2009130243A2 ACOUSTIC HOLOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：声学全息
公开(公告)号：WO2009130243A2
公开(公告)日：2009-10-29
申请号：PCT/EP2009/054818
申请日：2009-04-22
申请人： STICHTING VOOR DE TECHNISCHE WETENSCHAPPEN , TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN , SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines
发明人： SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines
IPC分类号： G01H3/12
CPC分类号： G01H3/125
摘要： A method of performing near- field acoustic holography comprises the following steps. Establishing (102) acoustic data representing a set of near-field acoustic holography measurements at a first set of positions. Extrapolating (204) acoustic data using a model-based extrapolation to obtain extrapolated acoustic data relating to a plurality of positions outside the aperture. Applying (108) a spatial frequency transform to the padded acoustic data to obtain data in a spatial frequency domain. Propagating (110) the Fourier transformed acoustic data. Applying (112) a regularization in a wavenumber domain. Performing (114) an inverse spatial frequency transform.
摘要翻译：执行近场声学全息术的方法包括以下步骤。建立（102）表示在第一组位置处的一组近场声学全息术测量结果的声学数据。使用基于模型的外推法外推（204）声学数据以获得与孔外的多个位置有关的外推的声学数据。向填充的声学数据应用（108）空间频率变换以获得空间频率域中的数据。传播（110）经傅里叶变换的声学数据。在波数域中应用（112）正则化。执行（114）逆空间频率变换。

4. 发明公开

EP2598850A1 GENERATING A CONTROL SIGNAL BASED ON PROPAGATED DATA 有权
标题翻译：基于传播数据生成控制信号
公开(公告)号：EP2598850A1
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：EP11738438.8
申请日：2011-07-27
申请人： Technische Universiteit Eindhoven , Sorama Holding B.V.
发明人： SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines , NIJMEIJER, Henk
IPC分类号： G01H3/12
摘要： A system for generating a control signal comprises a data propagator (9) for propagating acoustic sensor array data relating to a set of acoustic measurements at a set of sensor positions covering an aperture towards a set of propagated positions to obtain propagated data relating to the set of propagated positions. A control signal generator (2) is arranged for generating a control signal based on the propagated data. The control signal generator (2) comprises a data analyzer (1) for analyzing the propagated data in a spatial frequency domain. The data propagator (9) is arranged for propagating the sensor array data in real-time and the control signal generator (2) is arranged for generating the control signal in real-time.
摘要翻译：一种用于生成控制信号的系统，包括：数据传播器（9），用于传播与覆盖朝向一组传播位置的孔的一组传感器位置处的一组声传播有关的声传感器阵列数据，以获得与该组相关的传播数据传播阵地。控制信号发生器（2）被布置用于基于传播的数据生成控制信号。控制信号发生器（2）包括用于分析空间频率域中的传播数据的数据分析器（1）。数据传播器（9）用于实时传播传感器阵列数据，控制信号发生器（2）用于实时生成控制信号。

5. 发明授权

EP2598850B1 GENERATING A CONTROL SIGNAL BASED ON PROPAGATED DATA 有权
公开(公告)号：EP2598850B1
公开(公告)日：2020-04-15
申请号：EP11738438.8
申请日：2011-07-27
申请人： Technische Universiteit Eindhoven , Sorama Holding B.V.
发明人： SCHOLTE, Rick , LOPEZ ARTEAGA, Ines , NIJMEIJER, Henk
IPC分类号： G05B23/02

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