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1. 发明专利

TWI607112B 控制循環電漿輔助製程的方法有权
简体标题：控制循环等离子辅助制程的方法
公开(公告)号：TWI607112B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW103105251
申请日：2014-02-18
申请人： ASM IP控股公司 , ASM IP HOLDING B. V.
发明人：大森拓 , OMORI, TAKU , 井上尚樹 , INOUE, NAOKI , 安達渉 , ADACHI, WATARU
IPC分类号： C23C16/52
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45536 , H01J37/32146 , H01J37/32935 , H01J37/32981 , H01J37/3299

2. 发明专利

TW201820158A 基質處理系統、儲存媒體以及資料處理方法审中-公开
简体标题：基质处理系统、存储媒体以及数据处理方法
公开(公告)号：TW201820158A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106132224
申请日：2017-09-20
申请人：荷蘭商ASM IP控股公司 , ASM IP HOLDING B. V.
发明人：大森拓 , OMORI, TAKU
IPC分类号： G06F13/38 , G06F9/44
摘要：一種基質處理系統，包括：創建日誌檔(log file)之模組控制器，在上述日誌檔，對應至操作資料取樣時序之資料計數被添加至以既定之取樣周期取樣之模組之操作資料；主要控制裝置，連接至模組控制器，從模組控制器接收日誌檔及指示收集包含在日誌檔之操作資料開始之開始時間，將資料計數轉換成從開始時間資訊算起之時間戳記，並創建包含時間戳記和操作資料之資料檔案；以及主機電腦，接收從主要控制裝置提供之資料檔案。
简体摘要：一种基质处理系统，包括：创建日志档(log file)之模块控制器，在上述日志档，对应至操作数据采样时序之数据计数被添加至以既定之采样周期采样之模块之操作数据；主要控制设备，连接至模块控制器，从模块控制器接收日志档及指示收集包含在日志档之操作数据开始之开始时间，将数据计数转换成从开始时间信息算起之时间戳记，并创建包含时间戳记和操作数据之数据文档；以及主机电脑，接收从主要控制设备提供之数据文档。

3. 发明专利

TW201447031A 控制循環電漿輔助製程的方法审中-公开
简体标题：控制循环等离子辅助制程的方法
公开(公告)号：TW201447031A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103105251
申请日：2014-02-18
申请人： ASM IP控股公司 , ASM IP HOLDING B. V.
发明人：大森拓 , OMORI, TAKU , 井上尚樹 , INOUE, NAOKI , 安達渉 , ADACHI, WATARU
IPC分类号： C23C16/52
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45536 , H01J37/32146 , H01J37/32935 , H01J37/32981 , H01J37/3299
摘要：本發明揭露一種在反應器中透過脈衝化RF功率處理基板的方法。該方法包括：在反應器中以脈衝方式應用RF功率處理一基板；監測來自該反應器代表RF功率之異常脈衝的資料，包括來自裝設在該反應器中一光感應器的資料；在已監測的該資料中計數RF功率之異常脈衝的數目；判定該RF功率之異常脈衝的數目是否為可接受的；及如果該RF功率之異常脈衝的數目被判定為不可接受時，啟始預先指定的一序列。
简体摘要：本发明揭露一种在反应器中透过脉冲化RF功率处理基板的方法。该方法包括：在反应器中以脉冲方式应用RF功率处理一基板；监测来自该反应器代表RF功率之异常脉冲的数据，包括来自装设在该反应器中一光感应器的数据；在已监测的该数据中计数RF功率之异常脉冲的数目；判定该RF功率之异常脉冲的数目是否为可接受的；及如果该RF功率之异常脉冲的数目被判定为不可接受时，启始预先指定的一串行。

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