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1. 发明申请

WO2012013686A1 ERMITTLUNG VON DEFOKUSSIERTEN REFLEXIONSKARTEN FÜR DIE ROBUSTE BESTIMMUNG VON "SHAPE FROM FOCUS" IN MIKROSKOPBILDERN 审中-公开
标题翻译：散焦反射卡片的用于显微镜图像的“形状分众”苦命确定的确定
公开(公告)号：WO2012013686A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/EP2011/062846
申请日：2011-07-26
申请人： ALICONA IMAGING GMBH , TECHNISCHE UNIVERSITAET GRAZ , PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan , LENZ, Martin , RÜTHER, Matthias , BISCHOF, Horst
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan , LENZ, Martin , RÜTHER, Matthias , BISCHOF, Horst
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： H04N13/207 , G01B11/2513 , G06T7/571 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152
摘要： Verfahren zum Ausgleichen von Beleuchtungsdefiziten bei mikroskopischem„Shape from Focus (SFF)", wobei zuerst die Reflexivität der Szene mittels eines Projektor-Kamera- Systems abgeschätzt wird, und dann mikroskopisches„Shape from Focus (SFF)" auf einen Stapel von Reflexionskarten anstatt auf die ursprünglichen Bilddaten angewandt wird.
摘要翻译：一种用于补偿“从聚焦（SFF）形状”在微观照明缺陷的方法，其特征在于，第一现场系统的反射率是由投影仪相机的装置，然后微观估计的“从聚焦（SFF）形状”的，而不是反射一叠卡片上原始图像数据被施加。

2. 发明申请

WO2008109908A1 VERFAHREN UND APPARAT ZUR OPTISCHEN MESSUNG DER TOPOGRAFIE EINER PROBE 审中-公开
标题翻译：方法和设备对样品的形貌进行光学测量
公开(公告)号：WO2008109908A1
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：PCT/AT2008/000092
申请日：2008-03-14
申请人： ALICONA IMAGING GMBH , PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： Ein Apparat (1) zur optischen Messung der Topografie einer Probe (2) umfasst eine Beleuchtungseinrichtung (3) zum Beleuchten einer zu messenden Probe, eine Optik (5) mit limitierter Schärfentiefe zum Auffangen von Darstellungen der Probe in Form des von der Probe abgestrahlten Lichts, einen an die Optik angeschlossenen Bildsensor (7) zum Aufnehmen von Bildern der von der Optik (5) aufgefangenen Darstellungen der Probe, eine Fokuspunkt- Verlagerungseinrichtung (10) zur Verlagerung des Fokuspunkts (F) der Optik (5) in Relation zur Probe (2) zwischen einzelnen Bildaufnahmen und eine Auswerteeinheit (9) zum Auswerten der vom Bildsensor aufgenommenen Bilder durch Kombinieren der Bilder zu einem 3 D Modell der Probe. Zur Verlagerung des Fokuspunkts (F) sind Brennweitenverstellmittel (12) vorgesehen. Vorzugsweise weist die Optik (5) zumindest eine Flüssiglinse (14) mit steuerbarer Brennweite (f) auf, die von den Brennweitenverstellmitteln (12) angesteuert wird.
摘要翻译：用于样品的形貌的光学测量的装置（1）（2）包括被测定用于照射样本的照明装置（3），（5），其具有字段的用于从所述样品中收集样品的表示在所发射的光的形式的有限深度的光学系统连接到光学图像传感器（7），用于拾取图像中的光学系统的计算机（5）样品的捕获表示，一个Fokuspunkt-位移装置（10），用于相对于光学（5）的焦点（F）的位移到样品（ 2）每个所捕获的图像和评估单元（9），用于由所述图像组合成样品的三维模型评估来自所述图像传感器的拍摄的图像之间。来移动焦点（F）被提供变焦装置（12）。优选地，光学系统（5）的至少一个液体透镜（14）具有可控焦点距离（f），该变焦装置（12）的被驱动。

3. 发明申请

WO2011076917A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR IDENTIFIZIERUNG EINES WAFERS 审中-公开
标题翻译：方法和装置用于识别WAFER
公开(公告)号：WO2011076917A1
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/EP2010/070638
申请日：2010-12-23
申请人： ALICONA IMAGING GMBH , PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
IPC分类号： H01L21/00 , H01L23/544
CPC分类号： H01L21/67294 , H01L23/544 , H01L2223/54433 , H01L2223/54453 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Bei einem Verfahren zur Identifizierung eines Wafers (5) erfolgt ein Erfassen eines Erkennungsmerkmals (EM) des Wafers (5), und ein Zuordnen des Erkennungsmerkmals (EM) zum Wafer (5), wobei das Erkennungsmerkmal (EM) ein optisch erfassbares Muster einer dreidimensionalen Struktur der Oberfläche (13) des Wafers (5) ist, wobei das Erkennungsmerkmal (EM) ein Reflexions- bzw. Streumuster von Licht (L) ist, das an einer im Zuge der Bearbeitung des Wafers (5) erzeugten Textur der Oberfläche (13) des Wafers reflektiert bzw. gestreut wird.
摘要翻译：在用于识别晶片的方法（5）检测进行鉴定特征的晶片（5）的（EM），并且识别（EM）到晶片相关联（5），其特征在于，所述识别（EM）的三维的光学可检测的图案在晶片的表面（13）的结构（5），其特征在于，所述识别（EM）是反射或光（L）的散射图案，表面的晶片（5）的处理过程中的一个产生的纹理（13 ）被反射或散射的晶片。

4. 发明申请

WO2019232563A1 VERFAHREN ZUR OPTISCHEN ERFASSUNG DER GEOMETRIE EINER EINSPRITZDÜSE EINES VERBRENNUNGSMOTORS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019232563A1
公开(公告)日：2019-12-12
申请号：PCT/AT2019/060184
申请日：2019-06-04
申请人： ALICONA IMAGING GMBH
发明人： DANZL, Reinhard , STEINER, Marc , LEHMANN, Stefan , HELMLI, Franz , PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
IPC分类号： G01B11/24 , F02M61/18 , F02M65/00 , G01B11/12
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur optischen Erfassung der Geometrie eines Werkstücks (1) mit einem Hohlraum (4) und zumindest einer Bohrung (7), gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: A) Einbringen einer Beleuchtungsquelle (12) in den Hohlraum (4); B) Beleuchten zumindest eines zu messenden Bereiches (13) der Oberfläche (5) der Bohrung (7) durch eine proximale Bohröffnung (7a) mittels der Beleuchtungsquelle; C) Anordnen einer Optik in einem Bereich (9) einer Außenfläche (3) des Werkstücks und einer distalen Bohröffnung (7b); D) Auffangen mehrerer Darstellungen des zu messenden Bereiches in Form des von der Oberfläche reflektierten und aus der distalen Bohröffnung austretenden Lichts (RL); E) Aufnehmen von Bildern der aufgefangenen Darstellungen der Oberfläche in einem Bildsensor, wobei zwischen dem Aufnehmen der Bilder der Fokuspunkt der Optik in Relation zu dem zu messenden Bereich der Oberfläche kontinuierlich verlagert wird; und F) Auswerten der vom Bildsensor aufgenommenen Bilder durch Kombinieren der Bilder zu einem 3D-Modell der Oberfläche.

5. 发明申请

WO2015169620A1 BELEUCHTUNGSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：照明设备
公开(公告)号：WO2015169620A1
公开(公告)日：2015-11-12
申请号：PCT/EP2015/058887
申请日：2015-04-24
申请人： ALICONA IMAGING GMBH
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan , HELMLI, Franz , SAGHY, Attila
IPC分类号： G02B21/08
CPC分类号： G02B21/084 , G02B3/0056 , G02B3/08
摘要： Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung (10) für ein Mikroskop bzw. für ein optisches 3D-Oberflächenmessgerät (100), insbesondere nach dem Prinzip der Fokusvariation. Die Beleuchtungseinrichtung umfasst flächig angeordnete Lichtquellen (20) in Form von LED's sowie eine Beleuchtungsoptik (30, 40) zur Abbildung des Beleuchtungsspektrums auf ein zu untersuchendes Objekt (200). Die Beleuchtungsoptik umfasst eine Anordnung von mehreren Sammellinsen (30) sowie zumindest eine Fresnellinse (40), wobei die von den LED's (21) emittierten Lichtstrahlen zuerst auf die Sammellinsen (30) treffen und dann parallelgerichtet auf die Fresnellinse (40) treffen. Die Fresnellinse (40) ist in reflektierender Anordnung so orientiert, dass Linsenspitzen (42) einer Prismenstruktur (41) an einer von den Sammellinsen (30) abgewandten Lichtaustrittsseite (44) der Fresnellinse (40) angeordnet sind. Die Sammellinsen (30) sind von Kreisringsegmenten (35) gebildet, wobei benachbarte Kreisringsegmente (35) zumindest an einer Segmentseitenfläche (38) flächig aneinandergrenzen.
摘要翻译：本发明根据所述焦距变化的原理涉及一种用于显微镜或光学三维表面测量装置（100）的照明装置（10），尤其如此。所述照明装置包括在LED的形式表面设置的光源（20）和用于照明谱成像到物体的照明光学部件（30，40）要被检查（200）。照明光学系统包括多个会聚透镜（30）和至少一个菲涅耳透镜（40）的，其中由所述LED的（21）的光线发出的光首先遇到的聚光透镜（30），然后平行定向到菲涅耳透镜（40）相遇的阵列。菲涅耳透镜（40）是在反射组件被定向成使得在会聚透镜中的一个（30）的棱镜结构（41）的透镜（42）的从所述菲涅耳透镜（40）的光出射面（44）的面向远离尖布置。会聚透镜（30）由环段（35）形成，其中相邻的环段（35）至少在一侧表面区段（38）连续区域。

6. 发明申请

WO2014135436A1 VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINES WERKSTÜCKS 审中-公开
标题翻译：设备用于处理工件
公开(公告)号：WO2014135436A1
公开(公告)日：2014-09-12
申请号：PCT/EP2014/053824
申请日：2014-02-27
申请人： ALICONA IMAGING GMBH
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan , RALEIGH, Mark A.
IPC分类号： G05B19/404
CPC分类号： G05B19/404 , G05B2219/37027 , G05B2219/37198 , G05B2219/37574 , G05B2219/50006
摘要： Eine Vorrichtung (1, 14) zur Bearbeitung eines Werkstücks (3, 16), insbesondere einer Sondenkarte (16) mit Nadeln (17), umfasst einen Support (2) zur Positionierung des Werkstücks in einer Bearbeitungsposition, ein Werkzeug (5, 15) zur Bearbeitung des positionierten Werkstücks, sowie Führungsmittel (6, 8) und Antriebsmittel (4, 7, 9) zur Erzeugung einer relativen Bewegung zwischen dem Werkzeug (5, 15) und dem Support (2). Ein Messsensor (10) der Vorrichtung (1, 14) vermisst die Ist-Geometrie (IG) zumindest eines Abschnitts des Werkstücks (3, 16) dreidimensional und führt die ermittelte Ist- Geometrie (IG) des Werkstücks Regelungsmitteln (13) zu, die die Ist-Geometrie (IG) des Werkstücks mit einer Soll-Geometrie (SG) vergleichen und aus der Differenz ein Bewegungsmuster für das Werkzeug (5, 15) zur Durchführung eines Bearbeitungsvorgangs, z.B. zum Ausrichten der Nadeln (17), errechnen. Die Regelungsmittel (13) steuern die Antriebsmittel (4, 7, 9) gemäß dem errechneten Bewegungsmuster an und generieren so eine relative Bewegung zwischen dem Werkzeug (5, 15) und dem Support (2).
摘要翻译：一种用于加工工件（3，16），特别是探针卡（16）的针（17）的装置（1，14）包括用于在加工位置的工件定位的支撑（2），一个工具（5,15）用于加工定位在工件，以及导向装置（6,8）和驱动装置（4，7,9），用于产生所述工具（5，15）和所述支撑体之间的相对运动（2）。所述装置（1，14）的测量传感器（10）测量的实际几何形状（IG）的工件的至少一部分的（3，16）三维，并且将工件控制装置的所确定的实际几何结构（IG）（13），其工件的实际几何形状（IG）与期望的几何形状（SG）和从运动模式的差为所述工具（5，15）用于执行机加工操作，例如比较，用于对准所述针（17）进行计算。所述控制装置（13）控制所述驱动装置（4,7，9）根据计算出的移动图案，从而产生所述工具（5，15）和所述支撑件（2）之间的相对运动。

7. 发明公开

EP2598836A1 ERMITTLUNG VON DEFOKUSSIERTEN REFLEXIONSKARTEN FÜR DIE ROBUSTE BESTIMMUNG VON "SHAPE FROM FOCUS" IN MIKROSKOPBILDERN 有权转让
标题翻译： ERMITTLUNG VON DEFOKUSSIERTEN REFLEXIONSKARTENFÜRDIE ROBUSTE BESTIMMUNG VON“形状从焦点”在MIKROSKOPBILDERN
公开(公告)号：EP2598836A1
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：EP11735670.9
申请日：2011-07-26
申请人： Alicona Imaging GmbH , Technische Universität Graz
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan , LENZ, Martin , RÜTHER, Matthias , BISCHOF, Horst
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： H04N13/207 , G01B11/2513 , G06T7/571 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152
摘要： Method for compensating for illumination deficits in microscopic "Shape from Focus (SFF)", wherein first the reflectivity of the scene is estimated using a projector camera system, and then microscopic "Shape from Focus (SFF)" is applied to a stack of reflection maps rather than to the original image data.
摘要翻译：用于补偿微观“聚焦形状（SFF）”中的照明缺陷的方法，其中首先通过投影仪 - 照相机系统估计场景的反射率，然后将微观的“聚焦形状（SFF）”应用于反射率图而不是原始图像数据。

8. 发明授权

EP2598836B1 ERMITTLUNG VON DEFOKUSSIERTEN REFLEXIONSKARTEN FÜR DIE ROBUSTE BESTIMMUNG VON "SHAPE FROM FOCUS" IN MIKROSKOPBILDERN 有权转让
标题翻译：散焦反射卡片的用于显微镜图像的“形状分众”苦命确定的确定
公开(公告)号：EP2598836B1
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：EP11735670.9
申请日：2011-07-26
申请人： Alicona Imaging GmbH , Technische Universität Graz
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan , LENZ, Martin , RÜTHER, Matthias , BISCHOF, Horst
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： H04N13/207 , G01B11/2513 , G06T7/571 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152

9. 发明授权

EP2132524B1 VERFAHREN UND APPARAT ZUR OPTISCHEN MESSUNG DER TOPOGRAFIE EINER PROBE 有权转让
标题翻译：方法和设备对样品的形貌进行光学测量
公开(公告)号：EP2132524B1
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：EP08714289.9
申请日：2008-03-14
申请人： Alicona Imaging GmbH
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24

10. 发明公开

EP2132524A1 VERFAHREN UND APPARAT ZUR OPTISCHEN MESSUNG DER TOPOGRAFIE EINER PROBE 有权转让
标题翻译：方法和设备对样品的形貌进行光学测量
公开(公告)号：EP2132524A1
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：EP08714289.9
申请日：2008-03-14
申请人： Alicona Imaging GmbH
发明人： PRANTL, Manfred , SCHERER, Stefan
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： An apparatus (1) for the optical measurement of the topography of a sample (2) comprises an illumination device (3) for illuminating a sample that is to be measured, an optical system (5) with a limited depth of focus for taking photographs of representations of the sample in the form of the light emitted from the sample, an image sensor (7) connected to the optical system for taking photographs of representations of the sample captured by the optical system (5), a focal point displacement device (10) for displacing the focal point (F) of the optical system (5) in relation to the sample (2) between individual pictures taken, and an evaluating unit (9) for evaluating the pictures taken by the image sensor by the combination of the pictures into a 3-D model of the sample. Focal length adjusting means (12) are provided for shifting the focal point (F). Preferably, the optical system (5) has at least one liquid lens (14) with a controllable focal length (f) which can be triggered by the focal length adjusting means (12).

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